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I. Pressure curing oven 소개 1.
개요
2.
장비 소개 - FA시리즈/ GA 시리즈/ HA 시리즈
3.
공정 Process
4.
Pressure curing oven(가압오븐) 특징
5.
Pressure curing oven(가압오븐) 장점
6.
Pressure curing oven(가압오븐) 공정 변수
7.
인증
2
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1. 개 요
Pressure curing oven(가압오븐)
Pressure Curing Oven 일정 압력과 온도를 주는 공정을 진행하는 설비로 적층 성형 공정에 적용합니다.
１ 압력/온도에 의한 기포 제거 2 온도에 의한 경화 작업
3 압력에 의한 접착력 강화
FA 시리즈
GA 시리즈
HA 시리즈
필름 접합
유리 접합
반도체 패킹 공정
3
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2. 장비 소개 - FA 시리즈 [기술 개요] 1) FA 시리즈
Pressure curing oven(가압오븐)
필름접합용 가압오븐
Vessel 내에서 일정 온도의 동기가 제품에 가압됨
PET or PC Film
보호 필름
Layer Glass or Film
LCD Glass
PET or PC Film
보호 필름
접착 완료
기포 제거
Layer Glass or Film
LCD Glass
4
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2. 장비 소개 - FA 시리즈 [기술 개요] 1) FA 시리즈
Pressure curing oven(가압오븐)
필름접합용 가압오븐
필름접합
Bubble 존재 보호필름 제거 후
기포제거
x 25
x 25
공정 전
공정 후
5
x 25
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2. 장비 소개 - FA 시리즈 1) FA 시리즈
Pressure curing oven(가압오븐)
FA 3 / FA 5 / FA 6 / FA 9 / FA 12
Chamber Clutch Door 압력 게이지 (Seal/inlet/chamber)
Touch Screen
Heater
6
모터 및 순환 팬
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2. 장비 소개 – GA시리즈 [기술 개요] 2) GA 시리즈
유리접합용 가압오븐
7
Pressure curing oven(가압오븐)
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2. 장비 소개 – GA시리즈 2) GA 시리즈
Pressure curing oven(가압오븐)
GA6 / GA9 / GA12 / GA15 / GA20
Clutch Door Chamber
Controller
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2. 장비 소개 – HA시리즈 3) HA 시리즈
Pressure curing oven(가압오븐)
반도체 패키징 공정용 가압 오븐
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2. 장비 소개 – HA시리즈 3) HA 시리즈
Pressure curing oven(가압오븐)
HA-6322 / HA-6622 / HA-7622 / HA-7822 / HA-8422
Chamber Clutch Door
Touch Panel (제어시스템)
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2. 장비 소개 – PA 시리즈 [기술 개요] 4) PA 시리즈
반도체 패키징 공정용 가압 오븐
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Pressure curing oven(가압오븐)
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3. 공정 Process
1
Pressure curing oven(가압오븐)
2
Cover를 열고 성형할 제품 준비
3
Cover 닫음
Autoclave 내부로
제품을 장입
및 Clamp 닫음
8
7
4
각종 안전장치 및 밸브 확인
5
6 운전 버튼 ON
Cover 개방하여
Autoclave
Autoclave 내부 승온,
제품 반출
내부 감압
가압 및 일정시간 유지
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4. Pressure curing oven(가압오븐) 특징
등방향 가압
１
Pressure curing oven(가압오븐)
사용이 쉽고, 한번에 많은 양의 제품을 처리할 수 있다
[균질성 향상]
2
접착 강도 증가
항온가압
[시인성 향상]
오토클레이브
균일한 온도분포와 모든 면에 일정한 압력으로 힘이 가해진다
3
4
모서리 부분 접착 강화 및 내부 미세기포 발생 억제 및 제거된다
Panel 접착력 강도 증가 및 시인성이 향상되어진다.
온도설정∙유지 [접착력 향상]
5
일반 Press 방식 보다 정밀하고 안정된 운전 방법으로 고품질의 제품을 얻을 수 있다.
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5. Pressure curing oven(가압오븐) 장점
Pressure curing oven(가압오븐)
1) 메인 O - ring １ O-Ring 수명 연장 2
온도에 맞는 재질 선정
3
이물의 발생이 없다
O - Ring
장비 가동 전
장비 가동 후
메인 오링 위치
메인 오링 위치
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5. Pressure curing oven(가압오븐) 장점
Pressure curing oven(가압오븐)
2) 내부 흐름 １ 온도 편차 : Uniformity : ±3℃ 이내 2
온도제어 : Convection Type 순환방식
3
공간활용 : 불필요한 공간을 사용하여 냉각장치 사용
냉각장치
M/D
순환 팬
히터
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5. Pressure curing oven(가압오븐) 장점
Pressure curing oven(가압오븐)
3) Booster (부스터) １
사이즈가 작다
2
금액이 저렴하다
3
유지보수가 용이하다
컴프레셔
사이즈가 크다
사용시
금액이 비싸다
단점
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유지보수가 어렵다
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5. Pressure curing oven(가압오븐) 장점
Pressure curing oven(가압오븐)
외산부스터 비교표
1
HII(x2기) 설비 유량 계산 SCF(탱크용량)
7740liter
SCFM(분당탱크유량)
15.58min
16mm 로 공급시 HII(x2) 효율 : 1.369배
496.79l/m
Ф160와 같은 구동수(60회)로의 효율 : 1.79배
평균 유량
2
Ф160 설비 유량 계산 SCF(탱크용량)
7740liter
SCFM(분당탱크유량)
15.33min
평균 유량
3
504.89l/m
종류
10 bar
15 bar
20 bar
효율
HII(x2)
5.58
10.25
15.83
1.00
160
4.67
9.5
15.33
1.03
200
4
8.08
13.3
1.19
Ф200 설비 유량 계산 SCF(탱크용량) SCFM(분당탱크유량) 평균 유량
7740liter 13.3min 581.95l/m
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5. Pressure curing oven(가압오븐) 장점
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Pressure curing oven(가압오븐)
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5. Pressure curing oven(가압오븐) 장점
Pressure curing oven(가압오븐)
4) 안전장치
NO
S/W 안전장치
H / W 안전장치
비고
1st
0.3 bar Vent
Set Value 보다 0.3 bar 이상 되면 감압밸브 OPEN (압력유지 겸용)
2nd
0.5 bar Vent
Set Value 보다 0.5 bar 이상 되면 감압밸브 OPEN (압력유지 겸용)
1차 보조감압밸브 동작 오류시 2차 감압밸브 셋팅 값 오버시 동작
3rd
21 bar
21 bar 도달 시 시스템 알람
모든 동작 STOP
4th
21 bar
21 bar 도달 시 시스템 알람
5th
22 bar
안전밸브
안전밸브로 배기
1차 밸브
6th
22 bar
안전밸브
안전밸브로 배기
2차 밸브
Pressure Switch
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3번 프로그램 미동작시 동작
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6. Pressure curing oven(가압오븐) 공정 변수
압력 정확성
Pressure curing oven(가압오븐)
온도 균일성
자동 조절밸브 설치
내부 순환팬 설치로 온도 편차 최소화
생산량 결정 제품크기 고려/ 내부 공간 설정 압력,온도 유지시간 결정
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7. 인증 / 수상 / 특허
Pressure curing oven(가압오븐)
ASME 인증
ISO9001/ ISO14001
S
U
SEL 인증
U2
안전인증
수상
S
가압오븐 관련 보유 특허
KCS
기술자료 임치증
안전인증 우수사례 최우수상
산업기계 안전대상 장려상
[특허 제 10-1344950호] 모터일체형 공랭식 마그네틱드라이브를 포함하는 오토클레이브 21
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