半导体应用 创新
先进工艺技术
德国新格拉斯科技集团 – 应用于半导体行业的纳米镀层 近年来，德国新格拉斯科技集团为研究机构供应了多台设备用于半导体主要制造商的研发，从而累积了大量经验和并 获得了极高的声誉。集团作为先进薄膜沉积设备领域的著名生产商，是业界值得信赖的合作伙伴，并将持续巩固其在 半导体薄膜沉积技术方面的领先地位。 德国新格拉斯科技集团旗下的TIMARIS和ROTARIS真空镀层设备基于阴极溅射（物理气相沉积, 缩写PVD）原理运行。 客户能够将设备用于多个产品领域。集团的PVD工具为各种应用提供完整的处理模块组合。由不同材料组成的功能 层可选择各种不同的厚度，约0.2纳米厚的极薄层被应用于纳米技术领域。 应用范围包括传感器技术，例如用于医学技术和汽车工业、微机电系统（MEMS）、EUV技术、磁阻式随机存取记 忆体（MRAM）和“物联网”应用。MRAM芯片为非挥发性的，也就是说，它可以在断电的情况下保存信息。凭借 即时迅速的MRAM芯片，计算机一旦开启就能立即运行，移动设备尤其是笔记本、移动电话、平板电脑、整理器都 将从这项新技术中得益。此外还可以制造小型重要零件或芯片实验室，其中芯片实验室能够在塑料卡大小的塑料基 板上加入宏观实验室的全部功能。借此可以快速进行化学合成和分析诊断（例如癌症）。传感器还可以应用于汽车 车辆技术。
总部 SINGULUS TECHNOLOGIES AG 德国新格拉斯科技集团 Hanauer Landstrasse 103 D - 63796 Kahl, Germany Tel. +49 6188 440-0 Fax +49 6188 440-110 sales@singulus.de www.singulus.de 中国 SINGULUS TECHNOLOGIES CHINA 德国新格拉斯科技集团中国公司 中国上海市静安区江场路1400号汇智园 满星空间B412-413室 邮编200072 Room B412-413, No. 1400 Jiangchang Road, Jingan District, Shanghai, China Zip Code: 200072 Tel. +86 13916990710 Contact: Greens Pan Tel. +86 13822138376 greens.pan@singulus.com.cn Contact: Michael Han Tel. +86 13917382315 michael.han@singulus.de
薄膜沉积
表面工程
热处理
湿法化学
德国新格拉斯科技集团 – 技术创新 德国新格拉斯科技集团在合理利用资源的基础上制造高效的生产设备， 旨在巩固并进一步拓宽其现有的核心竞争力。 集团核心竞争力包括真空涂层技术、表面工艺、湿法化学处理和热加工技术， 为全球太阳能、半导体、医学技术、消费品和光盘行业提供生产设备。 集团将其掌握的自动化和工艺技术运用到所有设备、工艺和应用领域。
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真空沉积技术实现现代移动应用