Industrial Instruments General Catalogue 2014 FR by Nikon

Catalogue Général Produits Industriels

2014.8

INDEX

Stéréomicroscopes Optiques parallèles – SMZ25 / SMZ18 / SMZ1270 / SMZ1270i / SMZ800N Optiques Greenough – SMZ745 / SMZ745T / SMZ660 / SMZ445 / SMZ460 / SMZ-2 / SM-5

Microscopes industriels Microscopes droits Microscopes métallurgiques inversés Microscopes polarisants Microscopes Zoom multi tâches

– LV150N / LV150NA / LV100ND / LV100DA-U / L300N / L300ND / L200N / L200ND – MA200 / MA100 / MA100L – LV100NPOL / Ci POL – AZ100 / AZ100M

4-5 6

Caméras numériques pour microscopes Caméras microscopes Têtes de caméra numériques

– DS-Ri2 – DS-Vi1 / DS-Fi2

Unités de commande indépendantes – DS-L3 Unités de commande à contrôle sur PC – DS-U3

Microscopes numériques / Profileurs surface 3D sans contact grande résolution Microscopes numériques – ShuttlePix P-400Rv

Profileurs de surface 3D – BW-D500 Series / BW-S500 Series

Objectifs Objectifs – CFI60-2 / CFI60 / CF&IC

Objectifs proches infrarouge – NIR / NIR-C

Pour incorporation dans microscopes / Chargeurs de Wafers Unités de mise au point modulaires – IM-4 / LV-IM / LV-FM / LV-FMA Unité dynamique Auto-Focus – LV-DAF

Microscopes compacts réfléchis – CM Series Chargeurs de Wafers – NWL200 Series

Systèmes de mesure par vidéo à CN Systèmes de mesure par vidéo à CN Systèmes de mesure confocaux par vidéo à CN

– NEXIV VMA / VMR / VMZ-R / VMZ-H Series – NEXIV VMZ-K Series

Microscopes de mesure – MM-200 / MM-400 / MM-800

Projecteurs de profil / Système de traitement des données Processeur de données Logiciel de métrologie

– DP-E1 – U-DP

Autocollimateurs / DIGIMICRO Autocollimateurs – 6B-LED / 6D-LED

DIGIMICRO – MF-1001 / MF-501 / MH-15M

Optique plane / Optique parallèle/ Echelle standard 300mm

10-11 12

Microscopes de mesure

Projecteurs de profil – V-12B / V-20B / V-24B Logiciel de traitement des données – E-MAX

13 14 15

SMZ Series

Stéréomicroscopes

La gamme SMZ propose des appareils avec une performance optique remarquable, un système extensible flexible et une excellente opérabilité.

Optiques parallèles

SMZ1270 SMZ1270i

SMZ25

SMZ18

25 : 1

18 : 1

12.7 : 1

8:1

Plage de zoom

0.63–15.75×

0.75–13.5×

0.63–8×

1–8×

Grossissement total*1

3.15–945×

3.75–810×

3.15–480×

5–480×

60mm

70mm

78mm

Rapport de zoom

Combinaison standard*2)

D.T.*3

(6.3–157.5×)

(7.5–135×)

SMZ800N

(6.3–80×)

(10–80×)

Caméra : Disponible /

: Non disponible

Optiques Greenough

SMZ745 SMZ745T

SMZ660

SMZ445 SMZ460

SMZ-2

7.5 : 1

6.3 : 1

4.4 : 1 4.3 : 1

5:1

Plage de zoom

0.67–5×

0.8–5×

0.8 – 3.5×

Grossissement total*1

Rapport de zoom

3.35–300× (6.7–50×)

4–300×

Combinaison standard*2)

D.T.*3

115mm

Caméra

(SMZ745T only)

(8–50×)

0.7 – 3×

SM-5

0.8–4×

4–70× 3.5–60×

4–120×

10–60×

100mm

77.5mm

100mm

(8–35×)

(7–30×)

(8–40×)

(20×)

: Disponible /

: Non disponible

*1: Selon la combinaison Oculaire/Objectif. *2: Combinaison Oculaire 10× et Objectif10×. *3: Objectif 1× ou sans Objectif auxiliaire.

Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.

Microscopes industriels Les microscopes industriels de Nikon utilisent les systèmes optiques CFI 60 -2, très appréciés pour leur combinaison unique d'une grande ouverture numérique (NA) et d'une grande distance de travail (D.T.)

Microscopes droits (modèles généraux)

LV150N LV150NA LV150NL*

LV100ND LV100DA-U Chaque modèle propose différentes méthodes d'observation avec un éclairage Réflexion/Transmission.

Sélection du support et des unités d'éclairage en fonction des méthodes d'observation et de l'utilisation. LV150N

BF Méthode d'observation

DIC

POL

LV100ND

2-Beam

EPI

DIC

POL

Ph-C 2-Beam

EPI : Disponible /

: Non disponible

DIA : Disponible /

Eclairage

• Episcopique

• Episcopique / Diascopique

Platine

• Platine 3×2 (course 75×50mm) • Platine 6×6 (course 150×150mm)

• Platine 3×2 (course 75×50mm) • Platine 6×4 (course 150×100mm)

*Voir la brochure "LV-N Series" pour les autres plateaux compatibles.

: Non disponible

*Voir la brochure "LV-N Series" pour les autres plateaux compatibles.

BF: Fond clair DF: Fond noir DIC: Contraste par Interférence Différentielle FL: Fluorescence POL: Polarisation 2-beam: Interférométrie à 2 faisceaux Ph-C: Phase-Contraste

*Seuls les BF, DIC, et S-POL sont disponibles pour le LV150NL

Microscopes droits (modèles à grandes platines)

L300N L300ND

L200N L200ND

Disponible avec une platine d'une course de 350x300mm. Pour l'observation de wafer de Ø300mm

Disponible avec une platine d'une course de 200x200mm. Pour l'observation de wafer de Ø200mm

BF Méthode d'observation

L300ND

DIC

S-POL

DIC

DIA

*L300ND uniquement

: Disponible /

: Non disponible

*L200ND uniquement

: Disponible /

: Non disponible

Eclairage

• L300N : Episcopique • L300ND : Episcopique / Diascopique

• L200N : Episcopique • L200ND : Episcopique / Diascopique

Platine

• Platine 14×12 (course 350×300mm)

• Platine 8×8 (course 200×200mm)

Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.

BF: Fond clair DF: Fond noir DIC: Contraste par Interférence Différentielle S-POL: Polarisation simple FL: Fluorescence

S-POL

EPI

EPI DIA

L200ND

ECLIPSE Series Microscopes Inversés Métallurgiques

MA200

MA100 MA100L

Avec son boitier robuste, le MA200 est plus stable, plus durable et a un plus faible encombrement au sol que les modèles conventionnels.

Méthode d'observation

EPI

Les MA100 et MA100L sont des microscopes inversés compacts, conçus pour les observations à fond clair et à polarisation simple.

DIC

Platine

EPI

DIA

DIC

S-POL

: Disponible / : Disponible /

Eclairage

S-POL

MA100L

: Non disponible

• Episcopique / Diascopique

• Episcopique

• Platine mécanique MA2-SR (course 50×50mm)

• Platine rectangulaire MA-SR 3 plaques (course50×50mm) • Platine plan MA-SP • Platine mécanique amovible Ti-SM CH (course 126×80mm)

BF: Fond clair DF: Fond noir DIC: Contraste par Interférence Différentielle S-POL: Polarisation simple FL: Fluorescence

Microscopes polarisants

Microscopes Zoom multi-tâches

LV100NPOL Ci POL

AZ100 AZ100M

Microscopes polarisants de grande qualité, avec une superbe performance optique, s'adaptant à de nombreux types d'observations.

Les Multizoom AZ100 et AZ100M combinent les avantages des microscopes stéréoscopiques et métallographiques. LV100NPOL

BF Méthode d'observation

AZ100

POL

EPI

DIA

DIA : Disponible /

: Non disponible

DIC

: Disponible /

S-POL

: Non disponible

Eclairage

• Episcopique/ Diascopique

Platine

• LV100NPOL : Platine rotative de grande précision pour observation polarisantes • Ci POL : Platine rotative avec serrage du plateau

• Platine 6×6 (course 150×150mm) pour épiscopique • Platine 6×4 (course 150×100mm) pour diascopique

BF: Fond clair DF: Fond noir DIC: Contraste par Interférence Différentielle S-POL: Polarisation simple FL: Fluorescence

Digital Sight Series

Caméras numériques pour microscopes

Le nouveau modèle indépendant Stand-Alone peut acquérir des images à haute définition sans unité de commande, tandis que le System Type permet d'assembler librement des têtes de caméras et des contrôleurs.

Caméra microscope

DS-Ri2 Capable de restituer des images brutes, cette caméra numérique pour microscope propose une grande résolution, une bonne reproduction des couleurs et un excellent taux d'acquisition.

16.25

megapixels

Tête de caméra couleurs grande vitesse

Tête de caméra couleurs haute définition

DS-Vi1

DS-Fi2

2.0

Haute

Couleur résolution

Taux d'acquisition

System Type (Têtes de caméra)

Modèle Stand-Alone

megapixels

45ips (1636×1088) 4908×3264

Résolution

5.0

Couleurs

27ips (800×600 / 1600×1200

Haute

megapixels

)

Couleurs résolution

21ips (1280×960 / 2560×1920

*Pour les autres caméras, voir le catalogue "Digital Sight series" .

System Type (Unités de commande) Unité indépendante

Unité contrôlée par PC

DS-L3

DS-U3

Equipée avec un grand écran tactile et riche en fonctionnalités, la DS-L3 est facile à utiliser et permet d'acquérir rapidement des images sans passer par un PC ou un moniteur.

De l'affichage et de l'acquisition des images à l'analyse et au traitement avancés des images, la DS-U3 permet de commander toutes les fonctions à partir d'un PC et peut être utilisée pour de très nombreuses applications.

Mode scène Les icônes permettent de régler facilement les paramètres optimaux d'imagerie pour chaque type d'échantillon et de méthode d'observation.

Logiciel de traitement d'image"NIS-Elements" Wafers/CI Métal, Céramique/Plastique Circuit imprimé

Assemblage d'images Assemble des images acquises avec différents champs de vision, pour créer une seule image.

Ecran plat

De nombreux outils De nombreuses fonctions d'édition sont disponibles et peuvent être enregistrées sur les images. Il est facile d'extraire les données des mesures, si besoin.

EDF (Profondeur de Champ Etendue) Crée une image toutes-focales à partir d'images à différentes focales.

Mesure (distance entre 2 points)

Fonctions de mesure

Comparaison de la position et de la taille

Dessin

Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.

)

ShuttlePix P-400Rv

Microscope Numérique

Ce microscope numérique, unique en son genre, peut être soit portatif pour s'adapter aux dimensions d'un échantillon ou peut se fixer sur une base pour prendre des images à fort grossissement et réaliser différentes mesures.

Support motorisé de mise au point + Ecran tactile Grâce au fonctionnement intuitif des icônes tactiles, ou grâce au stylet, il est maintenant possible de capturer des images avec précision et de faire des mesures simples.

Images EDF en un seul contact Il est facile d'acquérir des images en sélectionnant les positions initiale et finale sur un échantillon.

Kit portatif

Support unique Cet ensemble tout-en-un propose une tête de caméra zoom sur pile et un support compact à simple réflexion. Chacun d'entre eux peut être emmené n'importe où pour capturer des images à haute résolution.

Tous les utilisateurs pourront manipuler facilement cette tête de caméra à la fois légère et ergonomique.

Profileurs de surface 3D sans contact, à très grande résolution verticale

BW-D500 Series/ BW-S500 Series

La technologie de mesure par interférométrie optique de type scanning, brevetée par Nikon, permet d'atteindre une résolution en hauteur de 1pm. Les applications proposées par Nikon sont nombreuses : surfaces lustrées comme les wafers de silicone et surfaces en verre ou métalliques. Modèle grande vitesse² BW-D500 Series

Modèle haute résolution en pixels BW-S500 Series

Résolution en hauteur (algorithme)

1pm σ: 8nm (8µm mesure de la hauteur d'échelon)

Répétabilité Résolution Durée de la mesure de hauteur

510×510

2,046×2,046

1,022×1,022

4s (scan 10µm)

38 s (scan 10µm)

16 s (scan 10µm)

Champ de Vision

< 2015×2015µm*

< 4458×4448µm*

B W- S 5 07

* La plage peut être étendue en changeant la lentille relais ou par assemblage.

Sur face polie en céramique

Sur face gravée en métal

Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.

Lentille

Ve r r e

Papier satiné

Objectifs

CFI60-2 / CFI60 / CF&IC

Les systèmes optiques CFI 60 -2/CFI60 /CF&IC de Nikon sont très appréciés pour leur concept unique, à savoir la combinaison d'une grande ouverture numérique (NA) et d'une grande distance de travail (D.T.) Ces objectifs ont évolué pour offrir ce qui se fait de mieux en termes de distance de travail, de correction des aberrations chromatiques et de masse optimisée.

BF: Fond clair DF: fond noir POL: Polarisation S-POL: Polarisation simple DIC: Contraste à Interférence Différentielle UV-FL: UV Fluorescence FL: EPI Fluorescence

Modèle T Plan EPI Plan (Semi-apochromatique)

Grossissement

TU Plan Fluor EPI Fluor Plan Universel (Semi-apochromatique)

TU Plan Apo EPI Apo Plan Universel (Apochromatque) TU Plan Fluor EPI P Fluor Plan Universel Polarisant (Semi-apochromatique)

TU Plan EPI ELWD Plan Super grande distance de travail (Semi-apochromatique)

T Plan EPI SLWD Plan Super grande distance de travail (Semi-apochromatique)

TU Plan Fluor BD Fluor Plan Universel (Semi-apochromatique)

TU Plan Apo BD Apo Plan Universel (Apochromatique) TU Plan BD ELWD Plan Universel Grande distance de travail (Semi-apochromatique)

L Plan EPI (Achromatique) LU Plan Apo EPI / Apo Plan Universel (Apochromatique) LU Plan Apo BD Apo Plan Universel (Apochromatique) L Plan EPI CR Plan Inspection des substrats LCD (Achromatique) *Offres valables jusqu'à épuisement du stock

CF IC EPI Plan Plan (achromatique)

CF IC EPI Plan Apo Plan Apo (Apochromatique) CF IC EPI Plan ELWD Plan Grande distance de travail (Achromatique) CF IC EPI Plan SLWD Plan Super grande distance de travail (Achromatique)

CF IC EPI Plan TI DIC Plan CF IC EPI Plan DI DIC Plan

1× 2.5× 5× 10× 20× 50× 100× 50× 100× 150× 5× 10× 20× 50× 100× 20× 50× 100× 10× 20× 50× 100× 5× 10× 20× 50× 100× 50× 100× 150× 20× 50× 100× 40× 150× 100× 150× 20× 50× 100× 100× 2.5× 5× 10× 20× 50× 100× 50× 100× 150× 20× 50× 100× 10× 20× 50× 100× 2.5× 5× 10× 20× 50× 100×

0.03 0.075 0.15 0.3 0.45 0.8 0.9 0.8 0.9 0.9 0.15 0.3 0.45 0.8 0.9 0.4 0.6 0.8 0.2 0.3 0.4 0.6 0.15 0.3 0.45 0.8 0.9 0.8 0.9 0.9 0.4 0.6 0.8 0.65 0.95 0.9 0.9 0.45 0.7 0.85 0.85 0.075 0.13 0.3 0.46 0.8 0.95 0.95 0.95 0.95 0.4 0.55 0.8 0.21 0.35 0.45 0.73 0.075 0.13 0.3 0.4 0.55 0.7

D.T. (mm)

3.8 6.5 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 2.0 2.0 1.5 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 19.0 11.0 4.5 37.0 30.0 22.0 10.0 18.0 15.0 4.5 1.0 1.0 2.0 2.0 1.5 19.0 11.0 4.5 1.0 0.3 0.51 0.42 10.9–10.0 3.9–3.0 1.2–0.85 1.3–0.95 8.8 22.5 16.5 3.1 0.54 0.3 0.4 0.3 0.2 11 8.7 2 20.3 20.5 13.8 4.7 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0

: Disponible /

POL

S-POL

DIC

UV-FL

A A A A A A A A A A A A A B B B

A A A A A A A A B B B A A A

: Non disponible

*A: Position prisme sur A / B: Pösition prisme sur B

NIR / NIR-C

Objectifs proches infrarouge

Les objectifs atteignent une grande transmission supérieure ou égale à 90%, dans une plage visible de 1064 nm. Précision d'usinage nettement améliorée pour les petites tailles à faible puissance. Conviennent pour les semi-conducteurs et les LCD par réparation laser. Modèle NIR,*1 Plan proche infrarouge NIR-C,*1

Plan proche infrarouge (plage de correction d'épaisseur du verre 0.3–1.1mm)

Grossissement

20× 50× 20× 50×

0.40 0.42 0.40 0.42

D.T. (mm) 25.0 20.0 24.0 *2 19.0 *2

Longueur d'onde (n.m) 1,064/532 1,064/532 1,064/532 1,064/532

Distance parfocale (mm) 95 95 95 *3 95 *3

*1: Nous contacter pour la transmission en dehors de la plage de vision et 1064nm. *2: La D.T. est mesurée à partir de la surface de l'objet avec une épaisseur de verre couvrante de 1.1mm. *3: A cause d'un changement de position parfocale, en cas d'utilisation avec un objectif à moindre couverture, la distance parfocale est corrigée par des bagues et des rondelles correctrices.

Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.

Pour intégration dans les microscopes Unités de mise au point modulaires

IM-4, LV-IM/LV-IMA, LV-FM/LV-FMA Prêtes à être incorporées dans des systèmes, ces unités de mise au point permettent de monter un éclairage universel et un porte-objectif motorisé. Type Course verticale

IM-4

LV-IM/LV-IMA

LV-FM/LV-FMA

Manuel 30mm

Manuel / Motorisé 30/20mm

LV-FMA

LV-IMA

Unité Auto-Focus dynamique

LV-DAF L'Auto-focus hybride offre une large plage de mise au point et une capacité de repérage rapide. Large palette de méthodes d'observation, comprenant : fond clair, fond noir et DIC. Il est possible d'observer des échantillons réfléchissants et transparents. Système de détection Source de lumière AF Temps focal Observation

Système de projection découpé/ Système de détection par contraste LED Proche infrarouge (λ=770nm) Inf. à 0.7 sec (Objectif: 20×, Distance à partir de la position focale: 200μm) Fond clair, Fond noir, Polarisant DIC

Microscopes compacts réfléchis

CM Series Microscopes ultra-compacts réfléchis conçus pour être intégrés dans les lignes de production et l'observation sur des moniteurs.

CM-5A

Objectifs compatibles Système optique d'éclairage

CM-20A/CM-20L

CM-30A/CM-30L

Monture C (Monture ENG possible en option)

Monture caméra Grossissement bague allonge

CM-10A/CM-10L

1× 0.5× 1× Gamme A : Objectifs CF IC EPI Plan / Gamme L : Objectifs CFI60 -2/ CFI60 EPI Plan Eclairage Koehler(éclairage télécentrique de grande qualité)

Surfaces de montage

NWL200 Series

Chargeurs de wafers La technologie brevetée de Nikon permet d'assurer un chargement fiable des wafers ultra fins de 100μm. Les chargeurs NWL 200 series permettent des chargements fiables et conviennent à l'inspection des semi-conducteurs nouvelle-génération.

Diamètres

Wafers

Epaisseur (standard)

Epaisseur (en option)

ø200mm / ø150mm / ø125mm 300um 300–100µm

Inspection macro des surfaces et des faces arrière

Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.

NEXIV Series

Systèmes de mesure par vidéo à CN

Une large palette de courses de platine et de grossissements est disponible, pour satisfaire les exigences des clients.

Corps principal (Type / Course du plateau) Type Large Champ de Vision

Type standard

Type Grande précision

VMA

VMR / VMZ-R

VMR-H

Modèles

VMA-4540 Series VMA-2520 Series

Modèles

iNEXIV VMA-4540

VMR: VMR-1515/VMR-3020/VMR-6555/VMR-10080/VMR-12072 VMZ-R: VMZ-R3020/VMZ-R4540/VMZ-R6555

NEXIV VMZ-R3020

Type

NEXIV VMZ-R4540

Large Champ de Vision

Course XY (mm)

250×200

450×400

150×150

300×200

200 15

200 20

150 20

200 20

Modèle

VMR-H3030

NEXIV VMR-H3030

Grande précision Standard 450×400 650×550 1000×800 1200×720 300×300

Tête large Champ de Vision Tête standard Tête fort grossissement Course Axe Z (mm) Poids maximum des pièces (kg) Erreur maxi autorisée (μm) EUX, MPE: Erreur maxi autorisée surZ (μm) EUZ, MPE:*1

2+8L/1000 3+L/50

200 40

200 50

150 40

150 30

2+6L/1000 1.5+4L/1000 1.2+4L/1000 1.2+4L/1000 1.2+4L/1000 2+4L/1000 2.2+4L/1000 0.6+2L/1000 3+L/100 1.5+L/150 1.2+5L/1000 1.2+5L/1000 1.2+5L/1000 1.5+L/150 1.5+L/150 0.9+L/150

L = Longueur en mm *1: avec Laser AF ou palpeur à contact

Têtes de zoom Type A

Type 1–4

Travail aisé grâce au large champ de vision et à la grande distance de travail. Possibilité de fixer les accessoires Laser AF et palpeur à contact. * Le palpeur à contact est en option uniquement sur les VMA.

Champ de Vision L(mm)× P(mm) Tête large Champ de Vision

Tête standard

Type 1 Type 2

Type 3

grossissement

9.33 7.01

7.8 5.8

Type A

Tête fort

13.3 10.0

Type TZ

Equipé de couronnes lumineuses réglables en hauteur, en bas et obliques. Le Laser AF TTL (Through The Lens) est un outil standard capable de scanner des surfaces à 1000 points/seconde. 4.7 3.5

2.6 2.33 1.9 1.75

Equipé d'un super grand rapport de zoom 1-120x à 8 étages. Convient pour la mesure de petites cibles, jusqu'à quelques micromètres.

1.33 1.165 0.622 0.582 0.311 0.291 0.155 0.146 0.070 0.073 0.039 1.00 0.875 0.467 0.437 0.233 0.218 0.117 0.109 0.068 0.055 0.029

W.D. 73.5mm 50mm

Type 4

30mm

Type TZ

9.8mm

Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.

NEXIV Confocal Mesure simultanée de la hauteur sur de grandes zones avec des optiques confocales et mesure en 2D avec un zoom fond clair 15×.

Corps principal (Type/Course plateau)

VMZ-K3040

VMZ-K6555

300×400 1.5× / 3× / 7.5× 15× / 30× 150 20 1.5+2.5L / 1000 1+L / 1000

Course XY (mm) Grossissement (Type S) Grossissement (Type H) Course Axe Z (mm) Poids maximum des pièces (kg) Erreur maxi autoriséeU1X, U1Y (μm) Erreur maxi autorisée sur Z (μm)

650×550 1.5× / 3× / 7.5× 15× / 30× 150 30 1.5+2.5L / 1000 1+L / 1000

Têtes de zoom Champ de Vision

L(mm)× P(mm)

Type S

1.5×

3×

7.5×

Type H

15×

30×

8 6

4 3

2.0 1.5

1.6 1.2

1.26 0.95

1.00 0.75

0.8 0.6

0.63 0.47

0.53 0.40

0.4 0.3

0.30 0.23

0.27 0.20

0.20 0.15

0.11 0.08

0.100 0.05 0.074 0.04

D.T. 24mm 24mm 5mm 20mm 5mm

Optiques confocales

Optiques fond clair

Les images à fond clair et 3D sont disponibles

Le NEXIV confocal comprend des optiques confocales pour réaliser des évaluations rapides et précises de géométries fines tri-dimensionnelles. Les optiques confocales sont conçues pour les hauteurs des grands champs de vision. Fond clair

Contour

Vue en 3D

Echantillon très contrasté et à plusieur niveaux (PCB)

Echantillon fin et transparent (Film à surface métallique/ Résist. semi-conducteur

L'observation sur fond clair est parfois difficile à cause des lignes floues le long de la structure de l'échantillon. Avec des optiques confocales, on peut facilement observer et mesurer ces lignes.

Avec des optiques confocales, il est facile de détecter les surfaces supérieures du film transparent mince et de la surface métallique.

Images à fond clair

Image SEM

Film Metal Surface

Image à fond clair Difficile de détecter les films à couches minces

Image confocale

Image confocale Les couches supérieures et inférieures sont détectées avec précision

Détection du haut

Détection du bas

Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.

Microscopes de mesure Conçus pour être à la fois précis et facile d'utilisation, de nombreux produits sont disponibles dans la gamme MM.

50×50mm / Dimensions de platine/ Capacité de chargement

Modèle compact

Modèle de base

Modèle grande platine

MM-200

MM-400

MM-800

5kg

100×100mm / 15kg 150×100mm / 15kg 200×150mm / 20kg 250×150mm / 20kg 300×200mm / 20kg

110mm

Hauteur maxi de la pièce Tête optique X-Y-Z

150mm

200mm

Monoculaire Binoculaire 2-axes 3-axes

* 1×/3×/5×/10×

Dispositif à transfert de charge CCD Grossissement objet

1×/3×/5×/10×/20×/50×/100×

*Uniquement pour les têtes vidéo simples

Type MM

: Non disponible

Type universel

On peut atteindre une grande précision de mesure avec la technologie optique de Nikon et les nouvelles platines récemment développées.

: Disponible /

Cette gamme est compatible avec la mesure dimensionnelle et différentes méthodes d'observation.

Nouvelle platine grande précision

Aide à la mise au point (FA)

Le levier de sélection Rapide/Fin et les boutons RESET et ENVOI sont situés près des boutons des axes X et Y.

L'objectif Split-Prism FA, développé récemment, produit des motifs très pointus permettant de faire des mises au point précises pour les mesures sur Z. Les motifs FA sont clairement visibles car ils sont découpés dans le sens vertical

Boutons axe X

Mise au point en avant

Boutons axe Y

Pour plus de détails, consultez nos brochures individuelles.

Bonne mise au point

Lentille

Mise au point en arrière

Projecteurs de profil Les projecteurs de profil Nikon appliquent les principes optiques à l'inspection des pièces manufacturées en projetant des silhouettes agrandies sur un écran.

50×50mm /

Modèle de bureau

Modèle écran large

V-12B

V-20B

V-24B

5kg

100×100mm / 15kg

Dimensions 150×100mm / 15kg de la platine/ Capacité de 200×150mm / 20kg chargement 250×150mm / 20kg 225×100mm / 30kg

100mm*2

Hauteur maxi de la pièce Ecran Image Lentille

Grossissement

de projection CdV (avec lentille10×)*1

305mm Redressée

5×/10×/20×/25×/50×/100×/200× 30.5mm

150mm 500mm Inversée 5×/10×/20×/50×/100× 50mm

Rapporteur numérique

250mm 600mm Inversée 5×/10×/20×/50×/100× 60mm (Externe)

Compteur numérique *1: Champ de Vision réel = Diamètre effectif de l'écran / Grossissement lentille *2: La hauteur maxi de l'échantillon est de 70mm avec un plateau de 200×150mm.

: Disponible /

: Non disponible

Systèmes de traitement des données pour les microscopes de mesure et les projecteurs de profil Logiciel de traitement des données

Processeur de données

Logiciel de métrologie

E-MAX

DP-E1

U-DP

Apporte à l'utilisateur différentes mesures avancées et des fonctions de traitement. La détection automatique des bords avec un traitement inférieur au pixel permet de réaliser des mesures plus répétitives et plus précises.

Connexion sur projecteur de profil, Fonctions du traitement des données uniquement

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Utilisé avec un microscope de mesure/ un projecteur de profil, il calcule et traite rapidement les données de mesure. Le fonctionnement orienté-entité du DPE1 permet à l'utilisateur de réaliser ses mesures avec des dessins, en fournissant un environnement de mesure optimal.

Connexion sur projecteur de profil, Il faut un compteur de retrofit et des unités DP.

Il est très facile de brancher le logiciel de dimensionnement géométrique à navigation sur l'Ethernet ou un réseau Wifi. La navigation interactive autorise un fonctionnement immédiat, tandis que la configuration de l'écran donne facilement la confirmation des résultats de mesure.

[Environnement de travail] OS: Windows ®XP, Windows ®7 Mémoire nécessaire : 2GB (mini.) Navigateurs recommandés: Windows® Internet Explorer Ver6.0.2.9 ou plus récents

Autocollimateurs Les autocollimateurs sont des appareils de métrologie faciles à utiliser et précis pour mesurer les angles, le parallélisme, la perpendicularité, la rectitude des composants précis, des glissières de machines, mais aussi pour d'autres applications.

Type à fond clair

Type à fond noir

6B-LED

6D-LED

0 20

1div = 1min

20 10 30

30 0

0 20

1div = 1min 0

Utilise les optiques de marque Nikon pour éclairer les détails de la surface.

20 10 30

Le meilleur choix pour mesurer les petits miroirs plans.

6B-LED: Fond clair, 6D-LED: Fond noir Réglage dans le champ de vision et lecture sur micromètre 30 minutes d'arc (sur l'axe vertical et sur l'axe horizontal en même temps) 0.5 seconde d'arc

Méthode d'observation Système d'affichage Plage de mesure Plage minimale

Miroir plan C

Eclairage à LED AC-L1

Les deux côtés sont parfaitement parallèles, ce qui permet de l'utiliser comme surface non réfléchissante. Egalement utile pour mesurer des angles très petits, là où il faut un miroir plus petit.

Unité d'éclairage LED pour installation sur l'unité d'éclairage de l'autocollimateur 6B/6D.

*Le boitier en bois est fourni.

Diamètre extérieur Epaisseur Parallélisme

30mm 12mm 2 secondes d'arc

Source de courant

2x piles AA , adaptateur CA

DIGIMICRO Grâce à des systèmes de mesure de la longueur, numériques et photoélectriques, le DIGIMICRO permet de mesurer, sans défaut, les dimensions, l'épaisseur et la profondeur. Unité principale Plage de mesure Précision (à 20°C) Force de mesure

MF-1001 0–100mm 3μm Vers le bas de 1.225 à 1.813N (variable autour de 0.441N), latérale de 0.637 à1.225N

Température de fonctionnement

Unité principale MF-1001 + Compteur MFC-101 + Support MS-21

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Unité principale MF-501 + Compteur MFC-101 + Support MS-11C

MF-501 0–50mm 1μm

MH-15M 0–15mm 0.7μm

Vers le bas de 1.127 à 1.617N (variable autour de 0.294N), latérale de 0.637 à 1.225N

Vers le haut 0.245N, vers le bas 0.637N, latérale 0.441

de 0 à 40˚C

*Avec relâchement à la remontée

Optique plane / Optique parallèle / Echelle standard 300mm Optique plane

Optique parallèle

On utilise une optique plane pour vérifier le niveau de planéité d'une surface avec finition miroir. On peut mesurer le niveau de planéité en observant les franges d'interférométrie, en plaçant l'optique plane en contact avec la pièce. b a

Diamètre Epaisseur Planéité

Verre (ø60mm) 15mm 0.1μm

Les deux plans de l'optique parallèle sont finis avec précision, au niveau de la planéité et du parallélisme. On utilse cette optique pour mesurer les niveaux de planéité et de parallélisme d'une pièce en observant les franges d'interférométrie, en plaçant l'optique parallèle en contact avec la pièce. Diamètre

Verre (ø130mm) 27mm 0.1μm

Epaisseur Planéité Parallélisme

30mm 12mm / 12.12mm / 12.25mm / 12.37mm inférieure à 0.1μm inférieur à 0.2μm

*Des optiques planes et parallèles plus précises sont disponibles, selon la

Echelle standard 300mm

commande du client.

Echelles de précision de déplacement des platines jusqu'à 300mm. Les motifs de capteur, avec intervalles de 10 mm, ainsi que les calibrations, sont fournis. Fabriquées en verre à faible dilatation thermique. *Moins de 1µm en comparaison avec les valeurs de compensation.

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• Monitor images are simulated. Company names and product names in this brochure are their registered trademarks or trademarks.

management systems

Microscope Solutions Business Unit Industrial Metrology Business Unit

Nikon Metrology NV

Nikon Corporation

Geldenaaksebaan 329 B-3001 Leuven, Belgium tel. +32 16 74 01 00 fax: +32 16 74 01 03 Sales.NM@nikon.com

Shin-Yurakucho Bldg., 12-1, Yurakucho 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 Japan tel. +81-3-3216-2384 fax: +81-3-3216-2388 www.nikon-instruments.jp/eng/

Nikon Metrology Europe NV tel. +32 16 74 01 01 Sales.Europe.NM@nikon.com

Nikon Metrology, Inc. tel. +1 810 2204360 Sales.US.NM@nikon.com

Nikon Metrology GmbH tel. +49 6023 91733-0 Sales.Germany.NM@nikon.com

Nikon Metrology UK Ltd. tel. +44 1332 811349 Sales.UK.NM@nikon.com

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Le fabricant se réserve le droit de modifier les caractéristiques de ses appareils, sans préavis et sans obligation de sa part. Juin 2014 ©2014 NIKON CORPORATION N.B. L'exportation des produits* présentés dans ce catalogue est soumise à la législation japonaise sur les relations extérieures et à la législation sur le commerce extérieur. Une procédure d'exportation conforme sera exigée en cas d'importation en provenance du Japon. *Produits: Le matériel et ses informations techniques (logiciels compris).