Nikon Metrology Messlösungen by Nikon

NIKON METROLOGY MESSLÖSUNGEN KOORDINATENMESSGERÄTE KMG-LASERSCANNEN HANDGEFÜHRTES LASERSCANNEN MESSSOFTWARE MESSTECHNIK FÜR GROSSVOLUMIGE TEILE ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME VIDEOMESSSYSTEME MESSMIKROSKOPE INDUSTRIEMIKROSKOPE MESSTECHNISCHE DIENSTLEISTUNGEN

NIKON METROLOGY MESSLÖSUNGEN

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

MESSINSTRUMENTE

Multisensorfähige Messsoftware Camio Messsoftware CMM-Manager Portal-KMGs Brücken-KMGs Horizontalarm-KMGs KMG-basierte Scanner HN-C3030 Zahnradmessung MCAx – Mobiler KMG-Messarm Handgeführte ModelMaker Scanner Lageunabhängiger K-Scan MMDx Scanner

iNEXIV VMA Multi-Sensor-Messsystem NEXIV VMZ Videomesssysteme NEXIV VMR Videomesssysteme Messmikroskope der MM Baureihe Profilprojektoren Digimicro Digitalzähler Autokollimatoren

PRODUKTIONSINTEGRIERTE MESSTECHNIK / ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK Prüfung großvolumiger Objekte mit Laser Radar Laser Radar für automatisierte Qualitätskontrollen in der Fertigungslinie iGPS – Indoor Global Positioning System

MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN Stereomikroskope Industrielle Messmikroskope der IM Baureihe Weißlichtinterferometer-Mikroskopsysteme der BW-Baureihe NeoScope – das leistungsstarke Table Top SEM Digitales Mikroskop ShuttlePix P-400Rv Bildverarbeitungssoftware

RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME Röntgenquellen Industrielle CT-Systeme der Baureihe XT H Das Metrology CT der MCT Serie Röntgenprüfung für Elektronikkomponenten mit der Baureihe XT V

NIKON METROLOGY I VISION BEYOND PRECISION 2

KUNDENDIENST UND SUPPORT

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

ALTERA

InSight L100

LK H-R

LK V-R

LC15Dx

XC65Dx-LS

HN-C3030

MMDx

MCAx

MULTI-SENSOR-MESSSOFTWARE KOORDINATENMESSGERÄTE 3D-LASERSCANNER ADAPTIERT AUF KOORDINATENMESSGERÄTE GELENKMESSARME HANDGEFÜHRTES LASERSCANNEN

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK Die Multisensortechnologie von Nikon Metrology bietet Herstellern eine größere Messflexibilität und einen besseren Überblick über die Produktkonformität. Gleichzeitig wird dabei der Messdurchsatz des Koordinatenmesssystems erhöht. Die Kompatibilität zwischen den verschiedenen Koordinatenmessgeräten, Sensortechnologien und Produktionswerken stellt einen besonderen Vorteil dar, der die Langlebigkeit Ihrer Investition in Software und Messprogrammen sichert.

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

FÜR JEDE AUFGABE DAS RICHTIGE MESSSYSTEM

Laserscanner

Messtaster

Extrem schnelle Messung mit interaktiver 3D-Visualisierung der Abweichungen vom Sollwert. Die berührungslose Technik ergänzt die schon vorhandenen Messsysteme.

Flexible Lösung mit einer großen Auswahl an Zubehör für allgemeine Prüfungen

InSight L100 Der ultimative KMG-Laserscanner der Produktivität und Präzision auf sich vereint Anwendungsbereiche • Messen von Formen und Flächen • Prüfung von Merkmalen • Flächenrückführung (RE)

LC60Dx Universeller Linienscanner Anwendungsbereiche • Allgemeine Prüfung • Flächenrückführung (RE)

LC15Dx Hochgenauer/hochauflösender Linienscanner Anwendungsbereiche • Präzisionsteile • Kleine Geometrien • Komplizierte Details

XC65Dx(-LS) Hochproduktiver Cross Scanner Anwendungsbereiche • Prüfung von Blechmerkmalen • Komplexe Oberflächen • Version mit langem Objektabstand für schwer zugängliche Bereiche

TP20, TP200 Standardmesstaster Anwendungsbereiche • Prüfung von Merkmalen • Formmessung (TP200) • Interne Geometrie

Scannender Messtaster Indexierbarer Tastkopf für die sehr schnelle Merkmalsmessung und Scannen von Profilen mit Tastereinsatzlängen von bis zu 400 mm und Tastereinsätzen mit Offset-Korrektur für schwer zugängliche Merkmale.

SP25M Scannender Messtaster, auch geeignet für die Verwendung langer Tastereinsätze Anwendungsbereiche • Scannen von Merkmalen • Scannen von Formen • Interne Geometrie

5-Achsen-Messsysteme Die 5-Achsen-Technologie arbeitet mit synchronisierten Bewegungen von Koordinatenmessgerät und Kopfachsen, um die dynamischen Fehler der Maschine bei extrem hohen Scangeschwindigkeiten zu minimieren.

REVO-2, PH20 Anwendungsbereiche • Prismatische Werkstücke • Prüfung von Turbinenschaufeln

Hochpräziser Scanning-Kopf Hochpräziser starrer Scanning-Kopf SP80 für Tastereinsätze bis zu 800 mm. Einsatzgebiet: Antriebssysteme (Motorblock) und große Präzisionsfertigungsteile.

Alle Tastkopf- und Tasterkonfigurationen sind in den Produktdatenblättern aufgeführt.

Multisensorfähige Messsoftware Camio

BESSERE EINBLICKE UND HÖHERE PRODUKTIVITÄT CAMIO zeichnet sich durch eine echte Multisensorfähigkeit aus. Abhängig von der Aufgabe wird die jeweils beste Sensortechnologie gewählt. Durch die Kombination aus schaltenden Messtastern, taktil scannenden Sensoren und das 3D-Laserscannern im selben Messprogramm erhält man schnell genaue Messergebnisse. Nikon Metrology Multisensorlösungen bieten Herstellern eine größere Messflexibilität und einen besseren Überblick über die Produktkonformität. Gleichzeitig steigern sie den Messdurchsatz.

Merkmale

Vorteile

• Einfache CAD-basierte Programmierumgebung mit nur wenigen Mausklicks • Offene Prüfpläne direkt von den CAD Daten, inkl. Import der Bauteilachse und Form- und Lagetoleranzdaten. • Schneller Programmierprozess für mehrere Merkmale verschiedenen Typs (z.B. Punkte, Kreise etc.) in einem einzigen Prüfzyklus. • Strukturierte und verständliche Tastsystemverwaltung. • Vollständige Maschinensimulation und Kollisionserkennung vor Ausführung des Messprogramms • Anpassbare Berichterstellung mit verschiedenen Ausgabemöglichkeiten, inkl. vollständiger Farbgrafiken, ASCII Text, Excel oder internetkompatibler Formate. • Unterstützung der aktuellsten CAD Datei-Versionen • Vollständig DMIS, I++ konform

• Besserer Überblick und reduzierte Gesamtzykluszeit durch automatische Selektion des optimalen Sensors für die jeweilige Messaufgabe • Einfache Erstellung von Messprogrammen auf Basis des CAD Modells • Offline-Erprobung von Programmen mit Kollisionserkennung und Messsimulation • Analyse der Produktkonformität durch grafische CAD Vergleiche für Merkmale und Oberflächen • Beschleunigung des Entscheidungsprozesses durch schnelle Messberichterstellung • Produktivitätssteigerung durch die Automatisierung des Prüfprozesses

Produktives Scannen

CAMIO ist zu 100% konform zum Industriestandard für Prüfprogramme „Dimensional Measuring Interface Standard“ (DMIS). Der Einsatz dieser Software bietet wesentliche Vorteile, auch langfristig betrachtet, sodass sich die Investition in die KMGSoftware und die Programmierung der Messprogramme lohnt.

Mit CAMIO wird das Scannen geometrischer Merkmale und komplexer Oberflächen zum Kinderspiel. Scanpfade, die der Oberflächenform folgen, werden automatisch erzeugt. Gleichzeitig lässt sich die Werkstückabdeckung mithilfe simulierter Punktewolken überprüfen. Scanpfade können interaktiv optimiert werden, sodass auch Bereiche einbezogen werden, die vorher nicht dargestellt wurden.

Volle Konformität zum DMIS-Standard

CAD-basierte Merkmalsprüfung Über verständliche Icons lässt sich das Prüfprogramm einfach im CAMIO Programmeditor verfolgen. Die Bearbeitung des Prüfprogramms erfolgt durch Ändern der Programmsequenz per Doppelklick oder Drag-and-Drop.

Vollständig grafische Darstellung des geplanten Scanpfads

CAMIO Programmeditor

Mehrere Kreise auf einer Ebene werden mit einem Klick ausgewählt.

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

Messsoftware CMM-Manager

UMFASSENDE FUNKTIONEN FÜR MANUELLE, CNC- UND PORTABLE KOORDINATENMESSGERÄTE CMM-Manager, die Messsoftware für ausschließlich taktile Messaufgaben, ist Windows-basiert und bietet ein optimales PreisLeistungs-Verhältnis. Die Software kann nahezu überall betrieben werden: ob auf manuellen, CNC gesteuerten und portablen KMGs. Bediener bewerkstelligen Messaufgaben schneller, indem sie die Serienprüfung automatisieren oder lediglich einige Messpunkte vor Ort aufnehmen. Diese aufgabenorientierte, selbsterklärende Software liefert schnelle Messergebnisse. Außerdem bietet sie u.a. Im CAD System folgende Funktionen: Click & Measure, Kollisionsbetrachtung, virtuelle Simulation, Echtzeitermittlung sowie RPS Ausrichtung. Durch die grafische Windows 7 Benutzeroberfläche – intuitive Icons, neue Multifunktionsleiste und grafische Tipps zur Werkzeugverwendung – ist CMM-Manager bedienerfreundlicher denn je.

Merkmale • CAD-basiertes grafisches Programmieren • Automatische Kollisionserkennung • Clevere Ausrichtungsfunktionen • Automatische Tastererkennung • Leapfrog-Bewegungen zur Erweiterung des Messvolumens für portable Messungen • Best Fit-Analyse für verbesserte Inspektionsgenauigkeit • Webfähige Grafikberichterstellung per Drag & Drop

Vorteile • Schnelle und genaue Messergebnisse stehen im Mittelpunkt • Bedienerfreundliche, jedoch sehr umfassende Messsoftware • Ein einziges Softwareprogramm für CNC-, manuelle und portable Messungen

Retrofit-Möglichkeiten • CNC oder manuelle KMG: Nikon Metrology, Shefﬁeld, Mitutoyo, Brown & Sharpe, DEA, Zeiss, Starrett, Numerex, Helmel, Wenzel, Renishaw • Umrüstungen portabler KMGs: MCA (I, II, x), optische KMG der K-Serie, Faro, Romer/CimCore, Sheffield, Brown & Sharpe, Mitutoyo, Renishaw • NEXIV Videomesssysteme

Bedienerfreundliche Software zur Messung komplexer Teile

Schnelle Interpretation der Daten durch farblich hervorgehobene Geometrieabweichungen

CMM Manager ist nun auch für die iNEXIV Videomesssysteme erhältlich

ALTERA Portalmessmaschinen kleiner bis mittlerer Größe

ALTERA MULTI-SENSOR-KMGs Nikon Metrologys Angebot der ALTERA KMG-Serie für höchste Qualitätsansprüche erfüllt die unterschiedlichen Anforderungen in der Fertigung von heute und auch in der Zukunft. Die unübertroffene Keramikkonstruktion, das optimale Verhältnis zwischen Steifigkeit und Gewicht und die höhere Temperaturbeständigkeit sorgen für eine konstante Messleistung in jeder Fertigungsumgebung. Die neue ALTERA Serie mit optimiertem Design und modernsten Komponenten bietet hohe Leistungsfähigkeit, Zuverlässigkeit und niedrige Betriebskosten.

ALTERA 20.12.10

Merkmale

Vorteile

• Flexible Multisensor-Plattform: Schaltende Messtaster, analoges Scannen und Laserscannen • Hochleistungsfähiger Messtisch (Tragfähigkeit)

• Erstklassige Leistung • Hohe Geschwindigkeiten/Beschleunigungen für kurze Zykluszeiten • Hervorragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit • Komplettlösung für taktile, scannende und digitale Messungen

Anwendungsbereiche • Fertig- und Pressteile • Formteile aus Kunststoff • Guss- und Schmiedeteile • Schaltende Kontakt- und berührungslose Messung • Digitalisierung, Scannen und Reverse Engineering

ALTERA 7.5.5

ALTERA 20.12.10

ALTERA 25.20.15

Technische Daten

Dauerhafte Genauigkeit

Präzise Bewegungen

• Volumetrische Genauigkeit - ab 1,8 µm + L/400 (ALTERA) - ab 1,5 µm + L/375 (ALTERA+) • Wiederholpräzision - ab 1,8 µm (ALTERA) - ab 1,5 µm (ALTERA+) • Geschwindigkeit - bis 762 mm/s2 (ALTERA) - bis 833 mm/s² (ALTERA+) • Beschleunigung - bis zu 2.303 mm/s2 (ALTERA) - bis zu 2.514 mm/s2 (ALTERA+)

Die hochstabile Keramikkonstruktion der Portalund Pinolenkomponenten sowie hochauflösende optische 0,05 µm Linearmaßstäbe sichern eine volumetrische Genauigkeit von 1,5 μm + L/375

Tisch mit Schwalbenschwanzführung und einzigartigen vorgespannten umlaufenden Luftlagern mit Mehrkanal-Einzeldüsen für präzise kontrollierte Bewegungen bei hohen Geschwindigkeiten

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

ALTERA+ Hochgenaue Portalmessmaschine

HOCHLEISTUNGSFÄHIGE PORTALBAUWEISE MIT KERAMIKTECHNOLOGIE Multisensor-Koordinatenmesssgeräte der ALTERA+ Serie sind hochpräzise, sehr produktiv und werden für einfache bis komplexe Prüfverfahren eingesetzt. Sie werden nach strengsten Standards für höchste Genauigkeitsniveaus produziert und eignen sich ideal für die Funktions- oder Leistungsprüfung kritischer Komponenten, die mit engsten Toleranzen gefertigt wurden.

ALTERA+ 10.10.8

ALTERA 7.5.5

ALTERA+ 1 8.7.6

10.10.8

10.12.10 15.15.10 20.15.12 20.15.15 25.20.15

8.7.6

10.10.8

10.7.6

12.10.8

15.12.10 20.15.10 25.15.12 25.15.15 30.20.15

10.7.6

15.10.8

20.12.10 25.15.10 30.15.12 30.15.15 35.20.15

15.7.6

20.10.8

25.12.10 30.15.10 35.15.12 35.15.15 40.20.15

25.10.8

30.12.10 35.15.10 40.15.12 40.15.15 45.20.15

30.10.8

15.7.6

35.12.10 40.15.10 45.15.12 45.15.15 50.20.15 40.12.10 45.15.10

50.15.15 60.20.15 65.20.15

20.10.8

Einmalige Genauigkeitsgarantie Nikon Metrology ist der einzige Hersteller, der sich mit einer 10-jährigen Garantie für die Genauigkeit seiner Koordinatenmessgeräte verbürgt.

Eine vollständige Spezifikation finden Sie in den Produktdatenblättern.

Schwingungsdämpfung Pneumatische, selbstnivellierende Schwingungsdämpfer hoher Qualität für eine optimale Leistung in einer Umgebung, in der niederfrequente Vibrationen vorherrschen

Bereit für den Einsatz in der Industrieumgebung Die ALTERA-Baureihe für den Einsatz in rauen Fertigungsumgebungen verfügt über eine temperaturunempfindliche Keramikkonstruktion, die vor Verschmutzung durch Staub oder Öl schützt

LK V-SL Portalmessmaschine für das Hochgeschwindigkeitsscannen

BESTE LEISTUNG BEIM SCANNEN UND MESSEN Die LK V-SL zeichnet sich durch ihr revolutionäres Design aus und bietet derzeit die besten Leistungswerte beim Scannen und Messen auf dem Markt. Mit ihrer besonderen Eignung für die Anforderungen in Anwendungen der Automobilbranche und der Luft- und Raumfahrt ist die LK V-SL ist ein einzigartiges und unvergleichbares Multisensor-KMG. Die HA (High Accuracy) Option ermöglicht den Einsatz dieses Systems im Messraum und Genauigkeiten im Submikronbereich für Anwendungen, die höchste Präzision erfordern.

LK V 20.12.10 SL

Anwendungsbereiche • Analoges, digitales oder laserbasiertes Scannen • Antriebs- und Getriebeteile im Automobilsektor • Turbinenschaufeln, Triebwerke und Komponenten für den Flugzeugbau • Allgemeine Feinmechanik • Medizinische Instrumente

Merkmale

Vorteile

• Messtisch aus Granit mit Keramikführungen in Y & Z • Erhöhte X-Achsen-Führung bietet eine ultraschnelle Dynamik • Linearmaßstab mit 0,1 μm Auflösung • Multisensorfähigkeit • Pneumatische Schwingungsdämpfung • Standardmäßige Temperaturkompensation

• Bessere Scanleistung für höhere Genauigkeit und höheren Durchsatz • Höhere Steifigkeit und Stabilität der Konstruktion • Geeignet für den Einsatz in der Fertigungsumgebung oder im Messraum

Keramikführungen für erstklassige Ergebnisse

Technische Daten • Volumetrische Genauigkeit - ab 1,1 µm + L/400 (LK V-SL) - ab 0,7 µm + L/600 (LK V-SL HA) • Wiederholpräzision - ab 0,7 µm (LK V-SL) - ab 0,5 µm (LK V-SL HA) • Geschwindigkeit - bis zu 850 mm/s (LK V-SL) - bis zu 317 mm/s (LK V-SL HA) • Beschleunigung - bis zu 1.407 mm/s2 (LK V-SL) - bis zu 566 mm/s2 (LK V-SL HA)

Spannungsfreie Keramikführungen bieten eine hohe Stabilität und dauerhafte Verlässlichkeit der Messgenauigkeit auf hohem Niveau. Darüber hinaus vermindert sich der Wartungsaufwand, sodass Sie Zeit und Geld sparen.

LK V-SL und LK V-SL HA - Hochgenaues KMG in Portalbauweise Größen1 8.7.6

10.10.8

10.7.6

15.10.8

20.12.10

15.7.6 1

(diverse andere Größen auf Anfrage)

Tastkopf

Messtaster

PH10MQ PLUS

TP200

REVO-2

SP25M LC/L/XC Laserscanner Baureihe

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

ALTO KMG

OPTIMALES PREIS-LEISTUNGS-VERHÄLTNIS ALTO ist die ideale Messlösung für Hersteller, die ein wirtschaftliches KMG mit einer bedienerfreundlichen Software für unterschiedlichste Messaufgaben benötigen. Von der Erstmusterprüfung bis hin zur Endabnahme, Kalibrierung von Spannmitteln und Fehlersuche ist ALTO das perfekte Werkzeug für die Qualitätskontrolle im Prüflabor und in der Fertigung. Das raumsparende, luftlagergeführte Messsystem in Halbportal-/ Aluminiumbauweise, das mit modernster Elektronik und intelligentester KMG-Software ausgestattet ist, bietet eine herausragende Leistung.

Merkmale

Vorteile • Qualität zum erschwinglichen Preis • Bedienerfreundliche Software • Herausragende Leistung • CNC oder manuelle Variante • Kleine Aufstellfläche (5.4.4 or 6.5.4)

Intelligente software In nur wenigen Stunden erfahren die Bediener unter Verwendung der CMM-Manager Software alles, was sie über das System wissen müssen. Intelligente Softwarefunktionen, wie Schnellstartmessung und OneClick-Bedienerführung, unterstützen den Bediener im Messprozess und steigern die Produktivität des KMGs. Grafische Berichte ermöglichen eine sofortige präzise Analyse der Messdaten und können einfach über die webfähige Berichtsfunktion mit anderen geteilt werden.

• Träger aus Aluminiumlegierung und mikrobearbeitete Pinole, die zusätzliche Präzision gewährleistet • Wartungsfreundliche Luftlager mit erhöhtem Abstand für dauerhafte Stabilität • Reibantriebe ohne Hysterese sorgen für reibungsfreie Bewegungen auf allen Achsen • Hochgenaue optische 0,1 µm Linearmaßstäbe • Auch in manueller Variante erhältlich, mit der Möglichkeit, zu einem späteren Zeitpunkt auf die CNC-Variante nachzurüsten (direkt beim Kunden)

ALTO Messtaster/Tastköpfe • MH20i – Manuell indexierbarer Tastkopf mit integriertem Messtaster • RTP20 – Kostengünstiger Tastkopf mit integriertem Messtaster, der die Funktionalität eines motorischen Dreh-/Schwenkkopfes bietet • PH10 PLUS – Motorischer Dreh-/Schwenkkopf mit Multisensor-Unterstützung nach Industriestandard • PH20 – Motorischer Tastkopf mit neuester 5-Achsentechnologie und integriertem Messtaster

LK V Portalmessmaschinen mit Granitschienen und Koordinatenmessgeräte in Brückenbauweise

DIE NEUE GENERATION GROSSVOLUMIGER KMGS Nikon Metrology bietet sehr vielseitige und zuverlässige Portal-KMGs, da, wo wirklich Größe gefragt ist. Neben der hohen Genauigkeit in Verbindung mit maximalem Messvolumen unterstützen diese großvolumigen PortalKMGs unterschiedlichste Tasterlösungen, einschließlich digitalen, schaltenden Messtastern, analogen Tastern und Laseroptionen. Nikon Metrology bietet außerdem kundenspezifische KMG-Projekte, die auf die genauen Bedürfnisse des Kunden zugeschnitten sind. Die LK PortalKMGs bestehen aus sehr temperaturstabilen Werkstoffen, die eine optimale Genauigkeit sicherstellen.

LK V 50.40.12 R

Merkmale • Hochleistungsfähige Luftlager • Besonderes Merkmal der LK KMGs sind die Granitschienen mit Keramikführungen in Y und Z • Unterstützung von taktilen Tastereinsätzen, analogem und Laserscannen

Vorteile • Keramik bietet eine 300 % höhere Steifigkeit als Aluminium und garantiert selbst bei großen Messgeräten die erforderliche Premiumgenauigkeit. • Die Führungsbahnen können ebenerdig oder erhöht installiert werden, passend für alle Umgebungen und Varianten des Werkstückhandlings • Doppelte Antriebe für ein reibungsfreies Gleiten • Auf Wunsch erhältlich mit gesondertem Messtisch

LK V-R Portalmessmaschine mit Granitschienen

Anwendungsbereiche • Automobile und Nutzfahrzeuge • Luft- und Raumfahrtkomponenten • Antriebsteile für Schiffe und Schienenfahrzeuge • Telekommunikations- und Satellitenausrüstung

LK V R und LK V R SL - Portalmessmaschinen mit Granitschienen (Versionen mit verkürzten Standfüßen erhältlich)

Technische Daten • Volumetrische Genauigkeit - ab 4,5 µm + L/200 (LK V-R) - ab 3,5 µm + L/250 (LK V-G(P)) • Wiederholpräzision - ab 4,5 µm (LK V-R) - ab 3,5 µm + L/250 (LK V-G(P)) • Geschwindigkeit - bis zu 533 mm/s (LK V-R) - bis zu 467 mm/s (LK V-G(P)) • Beschleunigung - bis zu 631 mm/s2 (LK V-R) - bis zu 581 mm/s2 (LK V-G(P)) 12

Größen1

Tastkopf

Messtaster

Schienenlängen von 3 m bis über 10 m+

PH10MQ PLUS

TP20

Portalgrößen von 2 m bis 4 m

TP200

Pinolenlängen von 1,2 m bis 3 m

SP25M

(Version mit verkürzten Standfüßen aus Stahl oder erhöhtem Betonfundament)

LC/L/XC Laserscanner Baureihe

LK V-G(P) - Portalmessmaschinen mit verschiedenen Genauigkeitsversionen Größen1

Tastkopf

Messtaster

Schienenlängen von 2 m bis 10 m+

PH10MQ PLUS

TP20

Portalgrößen von 4 m bis 7 m

TP200

Pinolenlängen von 3 m bis 4 m

SP25M

(erhältlich mit Standfüßen aus Stahl oder erhöhtem Betonfundament)

LC/L/XC Laserscanner Baureihe

(diverse andere Größen auf Anfrage)

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

LK H Horizontalarm-KMG

PRODUKTIVITÄT KOMBINIERT MIT HOHER GENAUIGKEIT Die umfassende Palette der Horizontalarm-KMGs von Nikon Metrology bietet beispiellose Ergebnisse im Hinblick auf Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Die Keramikführungen und Luftlagerung, die für die Konstruktion von KMGs der Baureihe LK H eingesetzt werden, bieten Stabilität bei hohen Geschwindigkeiten und Beschleunigungen. LK Horizontalarm-KMGs ermöglichen einen einzigartigen Zugang auf das Messvolumen und sind in Unterboden- oder bodenebener Version oder als Teil vollautomatisierter Messzellen lieferbar. LK H-R Horizontalarm-KMG auf Grantischienen mit begehbaren Abdeckungen der Premiumklasse

Merkmale • KMGs in zahlreichen Konfigurationen: Messtisch, Schiene, Doppelständer etc. • Unterstützung von Laserscannern und taktilen Messsystemen • Kann bei Bedarf mit einer gegossenen Messplatte geliefert werden

LK H T - hochgenaues, tischmontiertes Horizontalarm-KMG

LK H-T kombiniert mit einem Rundtisch

• Hohe Geschwindigkeiten/Beschleunigungen für kurze Zykluszeiten • Hervorragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit • Flexible Multisensor-Plattform: Schaltende Taster, analoges Scannen, Laserscannen

Anwendungsbereiche • Prüfung von kompletten Karosserien und Karosserieblechen in der Automobilindustrie • Prüfung großvolumiger Teile wie Gießwerkzeuge, Gehäuse, Gussformen etc. • Prozessintegrierte Messung • Schaltende Kontakt- und berührungslose Messung • Digitalisierung, Scannen und Reverse Engineering

Vorteile

LK H R - hochgenaues, tischmontiertes Horizontalarm-KMG (Einzel- oder Doppelarmausführung) Größen1

Tastkopf

Messtaster

Schienenlängen von 4 m bis 10 m+

PH10MQ PLUS

TP7M

Pinolenlängen von 0,4 m bis 1,6 m

TP20

Technische Daten

Ständerhöhen von 2 m bis 3 m

TP200B

• Volumetrische Genauigkeit - ab 1,9 µm + L/250 (LK H-T) - ab 10 µm + L/200 (LK H-R) • Wiederholpräzision - ab 1,9 µm (LK H-T) - 6,0 µm (LK H-R) • Geschwindigkeit - bis zu 850 mm/s (LK H-T) - bis zu 667 mm/s (LK H-R) • Beschleunigung - bis zu 3.008 mm/s2 (LK H-T) - bis zu 2.106 mm/s2 (LK H-R)

(verfügbar mit begehbaren Abdeckungen oder Faltenbälgen für die Schienen)

SP25M LC/L/XC Laserscanner Baureihe

LK H T - hochgenaues, tischmontiertes Horizontalarm-KMG Größen1

Tastkopf

Messtaster

Schienenlängen von 1 m bis 5 m+

PH10MQ PLUS

TP20

Pinolenlängen von 0,4 m bis 1,6 m

TP200B

Ständerhöhen von 0,6 m bis 2 m

SP25M LC/L/XC Laserscanner Baureihe

(diverse andere Größen auf Anfrage) 13

Digitale KMG-Laserscanner

DIGITALE LASERSCANNER STEIGERN DIE MESSLEISTUNG InSight L100 – D er ultimative KMG-Laserscanner der Produktivität und Präzision auf sich vereint Der InSight L100 KMG-Laserscanner bietet die bestmögliche Kombination aus Geschwindigkeit, Präzision und Bedienerfreundlichkeit. Der Insight L100 eignet sich sowohl für Oberflächen- als auch Merkmalsmessungen. Er liefert schnell präzise Daten und aufschlussreiche Messberichte zum Teilevergleich mit dem CAD-Modell – selbst bei Oberflächen, die spiegeln oder aus unterschiedlichen Werkstoffen bestehen. Der InSight L100 eignet sich ideal für die Prüfung großvolumiger Komponenten, bei denen die Produktivität vorrangig ist, ohne jedoch Zugeständnisse an die Genauigkeit machen zu müssen. Der InSight L100 ist mit einem hochwertigen Nikon-Objektiv ausgestattet, das speziell für das Laserscannen optimiert wurde. Zusammen mit der hochauflösenden Digitalkamera wird eine Punktauflösung von 42 µm und die beste Datenqualität des Marktes erreicht. Damit ist die Erfassung kleinster Strukturen und die Messung schärferer Kanten möglich.

LC60Dx – Universell einsetzbarer digitaler Scanner Der LC60Dx ist ein universell einsetzbarer Scanner, der sowohl an stationären Koordinatenmessgeräten als auch an portablen Geräten adaptiert wird. Der LC60Dx wird zur Digitalisierung von Freiformflächen mit schwer zu scannenden Oberflächen eingesetzt. Wie alle anderen digitalen Scanner von Nikon ist der LC60Dx mit der leistungsstarken ESP-Technik (verbesserte Sensorperformance) ausgestattet. Sie regelt in Echtzeit die Laserintensität für jeden aufgenommenen Punkt und ermöglicht eine fortlaufende Anpassung an wechselnde Oberflächenmaterialien.

Vorteile von KMG-basierten laserscannern • Bessere Informationen zu 3D-Abweichungen - Messberichte über Oberflächen-/Profil-/Merkmalsvergleiche des Teils gegen CAD in Farbe bieten ausführliche Informationen zur Produktkonformität auf einen Blick - Entscheidungen und Korrekturmaßnahmen können somit schneller getroffen werden - Das Ergebnis sind weniger und schnellere Entwurfsüberarbeitungen und kürzere Vorlaufzeiten - Ausfallzeiten in der Produktion werden dank einer schnelleren Fehlersuche minimiert

• Steigern Sie die Leistungsfähigkeit Ihres vorhandenen KMGs - Rüsten Sie Ihr vorhandenes System auf ein vielseitiges MultisensorKMG für berührungslose und taktile Messanwendungen nach 14

- Rüsten Sie die Steuerung und Software von vorhandenen KMGs nach Sie erhalten Nachrüstsätze für die meisten führenden KMG-Marken

• Gesteigerter Messdurchsatz - Laserscanner erfassen mehr Informationen in kürzerer Zeit - Schnellere Merkmalsmessung aufgrund weniger KMG-Bewegungen - Einfache CAD-basierte Offline-Programmierung spart Zeit bei der Vorbereitung und Änderung von Messprogrammen

• Messen Sie kleine und weiche Teile - Messen Sie empfindliche Oberflächen, die nicht berührt werden sollten - Keine Verformung von weichen Materialien wie Schaumstoffen, Gummi, Membranen usw. - Scannen Sie beliebige Werkstoffe – Dunkle oder glänzende Teilen bedürfen keiner besonderen Vorbehandlung

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

VOLLE 3D-ERFASSUNG KOMPLEXER ELEMENTE UND OBERFLÄCHEN LC15Dx – Holt den Genauigkeitsvorsprung taktiler Messsysteme ein Der vollständig digital arbeitende Nikon LC15Dx Scanner ermöglicht die 3D-Digitalisierung im Genauigkeitsbereich taktiler Messsysteme. Gleichzeitig bietet er den Vorteil, ein Vielfaches an Messpunkten erfassen zu können. Dank des hochwertigen Nikon-Objektivs erzielt der LC15Dx eine Messgenauigkeit von 1,9 µm und eine Genauigkeit von 3,9 µm in mit EN/10360-2 und -5 vergleichbaren Mehrfachtaster-Tests. Mit seinem kleineren Sichtfeld eignet er sich ideal für die Digitalisierung kleiner oder detaillierter Objekte mit höherer Punktdichte und engeren Toleranzen.

XC65Dx(-LS) Cross Scanner – für die produktive Merkmalsprüfung Durch die kreuzförmige Integration von drei Lasern erfasst der XC65Dx mit einem einzigen Scan die kompletten 3D-Details von Merkmalen, Kanten, Taschen, Rippen und Freiformflächen. Der Cross Scanner digitalisiert komplexe Elemente von drei Seiten und erfasst so die komplette 3D-Geometrie der Merkmale. Auf diese Weise werden Positionen und Abmessungen genau extrahiert. Der XC65Dx-LS hat einen größeren Arbeitsabstand für die optimale Aufnahme von tief liegenden Taschen und Langlöchern sowie anderen schwer zugänglichen Merkmalen. Der Cross Scanner eignet sich zur Prüfung von Rohkarossen mit 2D- oder 3D-Merkmalen, Gussteilen (Motorblöcke), komplexen Kunststoffformen usw.

Technische Daten Sichtfeld Antastabweichung (MPE )

Daterfassungrate(Punkte/s ca.) Erweiterte Sensorleistung 1

InSight L100

LC15Dx

LC60Dx

XC65Dx

XC65Dx-LS

Ca. 100 x 60 mm

18 x 15 mm

60 x 60 mm

65 x 65 mm (3x)

6,5 µm

1,9 µm

9 µm

12 µm

15 µm

200.000

70.000

77.000

3 x 25.000

ESP4

ESP3

Nikon Metrology Test vergleichbar mit EN/ISO 10360-2

HN-C3030 Zahnradmessung

EXTREM SCHNELLE BERÜHRUNGSLOSE MESSTECHNIK Das HN-C3030 ist ein berührungsloses 3D-Messsystem, ausgestattet mit einem extrem schnellen und präzisen Laserscanner. Eine automatische 5-Achsensteuerung ermöglicht das Scannen von komplex geformten Teilen unter Verwendung optimaler Scanningwinkel. Das HN-C3030 eignet sich besonders für die Messung verschiedener Zahnradtypen, Turbinenschaufeln und anderer komplexer Formen. Es verbindet Geschwindigkeit mit Präzision und ermöglicht somit schnellere Vorlaufzeiten im Vergleich zur herkömmlichen taktilen Maßkontrolle.

Vorteile

Anwendungsbereiche: • Hypoidkegelräder, Spiralkegelräder, Schrägstirnzahnräder, Geradstirnräder, Innenzahnräder, Nabenprofile • Turboladerflügel, Impeller • Öldichtungen, Wälzfräser • etc.

• 3D-Scans mit hoher Punktedichte liefern bessere Informationen über komplex geformte Flächen (Vergleich des Teils gegen CAD, Welligkeit) • Laserscanner liefern höhere Messgeschwindigkeiten und Auflösungen als taktile Messsysteme • Bei berührungslosen Messungen erübrigt sich die Tastkugelkompensation • Erkennung von Oberflächendefekten, die taktile Messsysteme nicht erfassen können • Messung von kleinsten Teilen oder Merkmalen, die für taktile Messsysteme nicht zugänglich sind

Merkmale • Hochgenaue berührungslose Messung mit 5 µm (ES, MPE) • Hoher Messdurchsatz von 120.000 Punkten/s • Optimale Messposition dank 5-Achsensteuerung • Bis zu 300 mm x 300 mm große Objekte bis zu 30 kg Gewicht • Einsatz in der Fertigungsumgebung (optional) • Große Auswahl an Anwendungssoftware

–20˚

+135˚ Die 5-Achsensteuerung ermöglicht das Scannen aus dem jeweils besten Winkel

Laserscannen eines Hypoidkegelrads

Sämtliche Zahnflächen eines PKW-Kegelrads können in nur fünf Minuten vollständig gemessen werden

MULTI-SENSOR-MESSTECHNIK

MCAx mit MMDx/MMCx ModelMaker Laserscannern

MOBILE MESSLÖSUNGEN DER PREMIUMKLASSE FÜR INTUITIVES SCANNEN Der manuelle Koordinatenmessarm MCAx ist ein präzises, zuverlässiges, bedienerfreundliches und mobiles Messsystem, das in einer 7-Achsen-Version angeboten wird. Er ist die perfekte Ergänzung zu den digitalen handgeführten Laserscannern ModelMaker MMDx/MMCx. Er eignet sich ideal für mobile 3D-Messungen und Reverse Engineering-Anwendungen. Die MMDx Kameratechnik ist ein weiterer Meilenstein im 3D-Laserscannen. Das Resultat sind hohe Wechselfrequenzen und eine große Streifenbreite von bis zu 200 für ein äußerst produktives Scannen. Darüber hinaus passt der ModelMaker die Laserintensität automatisch so an, dass nahezu alle glänzenden oder verschiedenfarbigen Oberflächen ohne besondere Vorbereitung digitalisiert werden können.

Anwendungsbereiche

Koordinatenmessarm MCAx Merkmale

• Vollständige Prüfung des Teils gegen CAD • Prüfung geometrischer Elemente • Spalt- & Bündigkeitsmessung • Flächenrückführung (RE) • Fehlersuche direkt vor Ort • Input für schnelle Prototypenerstellung

• Für vielfältige Messaufgaben • Intuitive Software zum Scannen und Messen • Verfügbar in Längen zwischen 2 m und 4,5 m • Hochentwickelte Konstruktion: für die Luft- und Raumfahrt entwickelte Carbonfaser – robust, sehr leicht, mit lebenslanger Garantie • Unbegrenzte Rotation aller Hauptachsen für einen uneingeschränkten Einsatz.

Laserscannern ModelMaker Merkmale • Mehrere Streifenbreiten zwischen 50 und 200 mm erhältlich • Genauigkeit von bis zu 10 µm • Verbesserte Sensorleistung für das Scannen von Oberflächen mit unterschiedlichen Strukturen und Reflexionsgraden • Einsatzfertiges Scannen mit Direktanbindung an den PC • Focus Software für das handgeführte 3D-Laserscannen

Vorteile • Kosten- und Zeitersparnis dank hoher Genauigkeit und schnellem Datendurchsatz • Schnelle und einfache Einrichtung ohne Vorheizzeit • Optimierte Ergonomie und Bedienbarkeit des Scanners für ermüdungsfreies Arbeiten

Der MMDx Scanner ist mit Streifenbreiten von 50/100/200 mm erhältlich. Der MMCx bietet eine Streifenbreite von 80/160 mm.

K-Scan MMDx

LAGEUNABHÄNGIGES SCANNEN IN EINEM GROSSEN MESSVOLUMEN Der K-Scan MMDx für lageunabhängiges Scannen ist ein handgeführter Laserscanner für portable Messanwendungen in großen Arbeitsbereichen. Für das mühelose Scannen werden alle mechanischen Schranken durch die kontinuierliche und präzise Tasterortung des optischen KMGs sowie mithilfe von 20, im Laserscanner integrierten, Infrarot-LEDs beseitigt. Die präzise Leistung und überragende Ergonomie machen den K-Scan MMDx zu einer bedienerfreundlichen handgeführten Scanlösung. Der K-Scan MMDx ist das ideale Messmittel für die genaue Prüfung des Teils gegen CAD und die produktive Flächenrückführung großvolumiger Bauteile. Dank der dynamischen Referenzierung erhalten Sie konstante Messergebnisse, selbst wenn die Kamera oder das Messobjekt während des Scannens bewegt werden.

Merkmale • Messvolumen von 17 m3, erweiterbar durch das Hinzufügen weiterer Kameras • Streifenbreite zwischen 100 und 200 mm (abhängig vom gewählten Scannertyp) • Tasterdesign in Carbonfaser-Bauweise • Dynamische Referenzierung für die Messung instabiler oder beweglicher Werkstücke • SpaceProbe-Option für taktile Messungen

Vorteile • Ortsungebundenes Messen • Problemlose Handhabung dank Tasterortung und ergonomischem Design • Hoher Scandurchsatz und überragende Genauigkeit • Installation mehrerer Kameras zur Vergrößerung des Arbeitsvolumens und Erfassung kompletter Fahrzeuge oder LKWs

Anwendungsbereiche • Komplette Oberflächen- und Merkmalsprüfung großvolumiger Teile • Spalt- & Bündigkeitsmessung • Fehlersuche direkt vor Ort • Lösung von Montageproblemen

Verwandte Produkte • Optisches KMG der K-Serie • SpaceProbe • Focus Software zur Verarbeitung von Punktewolken 18

PRODUKTIONSINTEGRIERTE MESSTECHNIK / ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK D (C igit A al D e D W at e en lt ) Digitale Übertragung

Computergestützte

Konstruktion

Produktion

Montage

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Nikon Metrology unterstützt die Kunden beim Einsatz von messtechnisch gesteuerten Fertigungsprozessen. Ist Messtechnik in der Produktion integriert, werden genaue Geometriedaten gesammelt, um die Präzision und Geschwindigkeit der Konstruktions-, Fertigungs- und Zusammenbauprozesse kontinuierlich zu steigern.

LASER RADAR ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK iGPS

Laser Radar MV331/351

AUTOMATISIERTE, BERÜHRUNGSLOSE PRÜFUNG GROSSER OBJEKTE Laser Radar ist ein vielseitiges Messsystem, das berührungslose Messungen mit tatsächlich nur einem Systembediener ermöglicht. Durch die Möglichkeit der CNC-Programmierung ist es auch im vollständig mannlosen Betrieb einsetzbar. Laser Radar arbeitet mit einer patentierten Technologie, die nur das Rücksignal des milliardsten Teils des reflektierten Laserstrahls benötigt und eine direkte Flächen- und Merkmalerfassung bei bei hohen Datenraten ermöglicht. Kurz gesagt, das Laser Radar kommt ohne den aufwändigen Einsatz von optischen Targets, Retroreflektoren (SMR – Spherically mounted Retroreflectors) oder Handtastern aus. Messzeiten und Bedienungskosten werden daher erheblich reduziert. Das erklärt, warum Laser Radar in der Lage ist, dunkle diffuse und hochglänzende Werkstoffe und Oberflächenfinishs unter schwierigsten Einfallswinkeln zu messen.

Anwendungsbereiche

Merkmale

• Inspektion von Flugzeugrümpfen, Tragflächen, Verbindungen zwischen Tragfläche/Flugzeugkörper, Fahrwerksklappen und Düsentriebwerken • Spalt- & Bündigkeitsprüfung an Düsentriebwerkverkleidungen • Automatisierte Messung von Nietlochpositionen • Formen-, Erstmuster- und Serienprüfung von Verbundteilen • Prüfung von großvolumigen Fertigteilen direkt am Messsystem • Maßhaltigkeitsprüfung an Schmiede- und Pressteilen, bevor das Fräsverfahren startet • Messen von Turbinenschaufeln und Solarzellen • Hardware-Kontrolle an Raumteleskopen, Parabolantennen und erhitzten Oberflächen

• Messbereich für MV351 max. 50 m, MV330 max. 30 m • Mit bis zu 2.000 Punkten pro Sekunde schnelle Datenerfassung im Vision Scan Prüfmodus • Genauigkeit ab 24 µm (2 m Abstand) • Leistungsstarke Funktionen für die Bohrloch- und Kantenmessung • Erweitertes Sichtfeld durch den Einsatz von Spiegelm • Alle Messdaten werden automatisch auf ein einziges angrenzendes Koordinatensystem bezogen • Unterstützung verschiedenster Softwareprogramme für großvolumige Messanwendungen

Vorteile • Höhere Produktivität durch schnelle Messzeiten und niedrige Bedienerkosten • Berührungslose Messung: ideal für weiche, empfindliche oder unzugängliche Prüfobjekte • Sinkende Kosten und Wegfall von Bedienfehlern durch Automatisierung • Zuverlässige Entfernungsmessungen an Verbundwerkstoffen • Nahtlose Integration in den Messprozess

Das Laser Radar wird zunehmend im Markt für Erneuerbare Energien eingesetzt, da es in der Lage ist, große und empfindliche Strukturen, wie beispielsweise Solarzellen und Windturbinenschaufeln, zu messen.

PRODUKTIONSINTEGRIERTE MESSTECHNIK / ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK

KMG FÜR DIE KAROSSERIEMESSUNG IN DER FERTIGUNGSUMGEBUNG Das auf Industrierobotern installierte Laser Radar ist ein innovativer Ansatz der Karosseriemessung. Dieses für die Fertigungsumgebung entwickelte System ermöglicht präzise Maßhaltigkeitsmessungen innerhalb des Fahrzeugkoordinatensystems und einen direkten Vergleich mit dem CAD-Modell, ohne eine Referenz zu benötigen. Anders als ein HorizonalarmKMG führt es Hochgeschwindigkeitsmessungen durch, die auf einen kurzen Produktionszyklus abgestimmt sind. Gleichzeitig ist dies eine flexible Lösung, die sich problemlos an Änderungen im Modelldesign und in der Fertigungsplanung anpasst.

Das auf einem Roboter installierte Laser Radar misst Fahrzeuge automatisch

Merkmale • Flexible, automatisierte Inspektion • Absolute Messungen im Fahrzeugkoordinatensystem • <0,1 mm Genauigkeit über das gesamte Fahrzeugvolumen • Ein großer Arbeitsabstand beugt Kollisionen vor • Vollständig (offline) programmierbar • Erhältlich als eigenständige oder roboterintegrierte Lösung für den Einsatz im Messraum, außerhalb oder innerhalb in der Fertigungslinie. • Kompatibel mit Industrierobotern führender Hersteller

Merkmale wie Lochbohrungen, Langlöcher, Bolzen etc. werden automatisch mit einer Scangeschwindigkeit von 2.000 Punkten/s gemessen

Laser Radar-Einheiten werden auf sechsarmigen Roboterarmen installiert, die sich an beiden Seiten der Fertigungslinie befinden.

FLEXIBLE PRÜFUNG, PRODUKTIVE ERGEBNISSE Adaptive Robotersteuerung Die adaptive Robotersteuerung aktiviert eine geschlossene messtechnisch gesteuerte Schleife von Rückmeldungen, mit der die Präzision von Industrierobotern deutlich erhöht wird. Unabhängig davon, ob die Roboter für die Bearbeitung, Prüfung, den Auftrag von Schweißraupen oder die Handhabung von Objekten eingesetzt werden, werden die Roboteraufgaben mit einer Absolutgenauigkeit von 0,1 mm ausgeführt und Qualitätseinbußen, wie sie beispielsweise durch Spiel, mechanische Biegsamkeit, Nachschwingen oder Temperatureffekte entstehen können, treten nicht auf.

Anwendungsbereiche

Vorteile

• Präzise Bohrungen und Nietungen an Flügeln und Rumpfflächen, wo die Bewegung des Teils überwacht wird • Roboterbearbeitung (Bohren/Gussputzen/Fräsen), wo die Bewegung des Werkzeugs überwacht wird • Hochpräzise Platzierung von Objekten oder Werkzeugen • Genaue Materialablage (Dichtmasse, Tapelegen etc.)

• Unabhängige Messkette für Industrieroboteranwendungen • Hohes Niveau absoluter Robotergenauigkeit • Portable und skalierbare Lösung • Nur ein Bruchteil des Investitionsaufwands für die Ausrüstung mit einem neuen Produkt vergleichbarer Genauigkeit

K-Robot K-Robot ist eine flexible, produktive und präzise Messlösung für die Inline-Prüfung mithilfe eines Industrieroboters. Das optische KMG ortet dynamisch die Position des ModelMaker-Laserscanners von K-Robot, während der Roboter eine automatisierte Scanaufgabe ausführt. Eine hohe Scangenauigkeit ist garantiert, da regelmäßige Roboterkalibrierungen und Einflüsse, wie Aufwärmzeiten, Spiel und Schwankungen, aufgrund der bewährten Messkomponenten von K-Robot entfallen.

Anwendungsbereiche

Vorteile

• Merkmals- und Flächenmessungen • Spalt & Bündigkeitsprüfungen • Blechteile und Rohkarossen sowie Schmiede- oder Pressteile • Partielle Messungen in der Fertigungslinie im gesamten Produktionsbereich • Komplette Prüfung von Produktionsmustern außerhalb der Fertigungslinie

• Echte, absolute Messgenauigkeit • Eliminiert die Effekte der Roboteraufwärmungen, des -spiels und des Driftes • Interface zu Robotern verschiedener Hersteller, verschiedener Größen und Genauigkeitsklassen erhältlich • Hohe Scangenauigkeit und hoher Messdurchsatz • Offfline Teaching und Programmierung

PRODUKTIONSINTEGRIERTE MESSTECHNIK / ROBOTERBASIERTE MESSTECHNIK

iGPS – Indoor Global Positioning System

DAS MODULARE MESS- UND POSITIONIERSYSTEM FÜR DEN FABRIKWEITEN EINSATZ iGPS ist ein modulares Messsystem, das ganze Produktionshallen in präzise messfähige Bereiche verwandelt. Im Werk selbst kann gleichzeitig eine unbegrenzte Anzahl handgeführter Messtaster oder Ortungssensoren betrieben werden. Im puncto Skalierbarkeit, Robustheit und die Nutzung durch mehrere Anwender gleichzeitig bietet iGPS einzigartige Funktionen, durch die sich Ihre Investition schnell auszahlt. Sie erhalten darüber hinaus eine Lösung, die gleichzeitig mit dem Ausbau der Fertigungskapazitäten wächst.

Anwendungsbereiche

Merkmale

• Großvolumige Positionierung und Ortung für den Einsatz in der Luft- und Raumfahrt, im Schiffs- und Schienenfahrzeugbau etc. • Zusammenfügen und Montage von Teilen • Dynamische Ortung von Teilen, Werkzeugen, Roboterpositionen, automatisch gesteuerten Fahrzeugen sowie Schiffsmodellen in Wassertanks • Handgeführtes System für großvolumige Messungen in der Automobilindustrie (Entwicklung, Labor oder Fertigung), in der Luft- und Raumfahrtindustrie und anderen verarbeitenden Industrien, wie z. B.Gussteil- und Turbinenschaufelproduktion. • Automatische Aufzeichnung handgeführter zerstörungsfreier Messungen mit Positionsdaten

• Vergrößerung des Messvolumens durch Ausbau des Sendernetzes (iGPS) • Kontinuierliche Statusüberwachung und Senderredundanz • Möglichkeit unbegrenzter Anzahl von Bedienern und Anwendungen im iGPS-fähigen Messvolumen • Mehrere Messmittel können mit iGPS-Empfängern für eine genaue Positionierung bestückt werden

i5 integrierter Sensor

Metrology server

Handheld iProbe (6DOF)

Carbon scale bar

Vorteile • Unterstützung für fabrikweiten Einsatz (iGPS) • Einfaches Messen der dynamischen Position von handgeführten Tastern, Gelenkmessarmen, Laser Radar und anderen Messmitteln • Einheitliche Genauigkeit im gesamten Arbeitsbereich • Skalierbare, genaue und robuste Lösung • Gleichzeitiger Einsatz einer unbegrenzten Anzahl von handgeführten Tastern und Ortungssensoren • Punktlokalisierungs-Genauigkeit bis zu 200 µm

Metrology grade transmitter

iMCA

iSpace unterstützt den gleichzeitigen Einsatz einer unbegrenzten Anzahl von handgeführten Tastern und Ortungssensoren

Mit dem iProbe kann sich der Bediener frei im Raum bewegen und alle Messungen ungehindert im einem großen Messvolumen durchführen

RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME

Untersuchen Sie komplexe Elektronik- oder Industriebauteile, indem Sie buchstäblich einen Blick in das Innenleben werfen. Nutzen Sie die CTFunktion, um innere oder äußere Strukturen in einem durchgängigen Prozess zerstörungsfrei zu untersuchen

RÖNTGENQUELLEN XT H 160 / 225 / 225 ST INDUSTRIELLES CT-SCANNEN XT H 320 INDUSTRIELLES CT-SCANNEN XT H 450 HOCHLEISTUNGSFÄHIGE CT MCT225 für MESSTECHNISCHE CT-Anwendungen XT V 130C / XT V 160 RÖNTGENPRÜFSYSTEM FÜR ELEKTRONIKKOMPONENTEN XT V 160 NF NANOFOKUS-RÖNTGENSYSTEM 24

RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME

RÖNTGENQUELLEN Planung und Konstruktion im eigenen Hause Die von Nikon Metrology entwickelten Röntgenröhren sind das Herzstück der Röntgen- und CT-Technologie. Schon ab 1987 wurden sie im eigenen Hause entwickelt und hergestellt – das bedeutet ein Know-how von mehr als 25 Jahren. Bei allen Röntgensystemen kommt eine offene Röntgenröhre zum Einsatz (Open-Tube-Technologie), die sehr wirtschaftlich im Betrieb ist. Nikon Metrology bietet Röntgenröhren in verschiedenen Leistungsvarianten von niedrig (160 kV), mittel (225 kV) bis hoch (450 kV) an, die allesamt Auflösungen im Mikrometerbereich bieten.

180 kV Transmissionstarget-Röhre Die Transmissionstarget-Röhre kann bei Prüfobjekten eingesetzt werden, die kleiner als 10 mm sind, wie kleinen Gesteins- oder Knochenproben. Sie erreicht eine Leistung von bis zu 180 kV bei einer kleinsten Brennfleckgröße von 1 µm für die hochauflösende CT-Darstellung.

225 kV Mikrofokus-Röntgenröhre mit extrem kleiner Brennfleckgröße und rotierenden Targets Mit 225 kV Leistung und einer Minimum-Brennfleckgröße von 3 µm bildet die 225 kV Mikrofokus-Röntgenröhre das Herzstück der Nikon XT H 225 Serie. Sie bietet genügend Flexibilität für die Handhabung unterschiedlichster Probengrößen und Materialdichten. Nikon Metrology ist das einzige Unternehmen, das eine 225 kV- MikrofokusRöntgenröhre mit rotierendem Target herstellt. Bei Verwendung eines rotierenden Targets trifft der Elektronenstrahl auf eine bewegliche statt auf eine statische Fläche, sodass eine insgesamt effektivere Kühlung erreicht wird. Auf diese Weise können Objekte schneller oder dichtere Objekte mit höherer Genauigkeit gemessen werden als jene, die mit einer herkömmlichen statischen 225 kV-Röhre gemessen werden.

Statische 450 kV Röhre für hohe Bildbrillanz Die 450 kV Mikrofokus-Röntgenröhre zählt zu den marktführenden Röntgenquellen der Industrie, wenn es um die Prüfung von filigranen Gussteilen mit einer hohen Dichte geht. Die 450 kV Röhre für hochbrillante Bilder liefert eine Dauerleistung von 450 W – ohne Einschränkung der Messzeit. Gleichzeitig bietet sie eine kleine Brennfleckgröße für schnellere CT-Aufnahmen. In derselben Aufnahmezeit wie die standardmäßige 450 kV Röhre erfasst sie Daten bis zu fünf Mal schneller bzw. mit höherer Genauigkeit.

320 kV Mikrofokus-Röntgenröhre Die 320 kV Röhre ist eine einzigartige Mikrofokus-Röntgenröhre, die sich für Prüfobjekte, die zu groß oder zu dicht für 225 kV Röhren sind, eignet und gleichzeitig eine kleine Brennfleckgröße bietet. Diese ideale Lösung für die Prüfung von Steinkernen und kleinen Gussformen ist optional für das XT H 320 in Kabinenausführung erhältlich.

750 kV Mikrofokus-Röntgenröhre für hohe Bildbrillanz Die weltweit erste 750 kV Mikrofokus-Röntgenröhre prüft zerstörungsfrei große oder dichte Objekte wie z. B. Motorblöcke, Turbinenschaufeln sowie große Verbundwerkstoffe mit beispielloser Genauigkeit. Es ist die einzige 750 kV Mikrofokus-Röntgenquelle auf dem Markt, die eine derart überlegene Auflösung und Genauigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Minifokus-Röntgenquellen bietet.

XT H 160 / 225 / 225 ST

ERLEBEN SIE DIE WELT DER RÖNTGEN-COMPUTERTOMOGRAFIE Die detailgetreue Erfassung und Messung von innenliegenden Bauteilen und Montagebauteilen ist oft ein entscheidender Faktor bei der Qualitätskontrolle, Fehleranalyse und der Materialforschung. Das Basismodell XT H 160 und das vielseitige XT H 225 System bieten eine MikrofokusRöntgenröhre, ein großes Messvolumen und eine hohe Bildauflösung. Das XT H 225 ST ist eine erweiterte Variante, die für größere oder schwerere Prüfobjekte geeignet ist. Das System bietet eine Auswahl untereinander austauschbarer Röhren, wie die 180 kV Transmissionstarget-Röhre und die 225 kV Röhre mit rotierendem Target. Es deckt ein breites Spektrum an Anwendungen ab, einschließlich der Prüfung von Kunststoffteilen, kleinen Gussteilen und komplexen Mechanismen sowie Materialforschung und Prüfobjekte aus der Natur.

Merkmale

Vorteile

• Auswahl verschiedener Mikrofokus-Röntgenröhren aus dem Hause Nikon Metrology - 160 kV Reflexionstarget (XT H 160) - 180 kV Transmissionstarget - 225 kV Reflexionstarget - Optional Röhre mit rotierendem Target (nur in „ST“-Version verfügbar) • Auswahl zwischen Varian oder Perkin Elmer Flachdetektoren • Röntgenvisualisierung in Echtzeit, schnelle CT-Rekonstruktion • CT Messvolumen bis X: 450 mm, Y: 350 mm, Z: 750 mm (ST Version) • Vollständig programmierbarer 5-Achsen-Teilemanipulator • Kundenspezifische Makros zur Automatisierung der Messabläufe • Kleine Aufstellfläche und Transportrollen für einfache Handhabung

• Flexibilität kombiniert in einem einzigen System: Röntgen für die schnelle visuelle Prüfung, CT für tiefergehende Analysen • Schnelle Datenaufnahme und Bilder hoher Qualität • Schnelle Bedienung durch interaktive Joystick-Steuerung • Hochauflösende, digitale Bildgebung und -verarbeitung • Vollschutzsystem, das keine speziellen Schutzvorkehrungen oder Strahlenschutzplaketten erfordert • Nahtlose Integration mit nachgelagerten industriellen Bearbeitungsverfahren

Computertomografie Zur Erstellung eines dreidimensionalen CT-Volumens wird nacheinander eine Reihe von 2D-Röntgenbildern von dem Objekt aufgenommen, das um 360 Grad gedreht wird. Diese Bilder werden dann rekonstruiert, um eine dreidimensionale Darstellung des Objekts zu generieren. Neben den Informationen zu den Außenflächen enthält das rekonstruierte Volumenmodell alle Daten zu innenliegenden Flächen und Strukturen – sowie Informationen zur Materialstruktur.. Das CT-Modell kann an jedem Punkt, durch alle Ebenen hinweg, angesteuert werden. Daher können selbst innenliegende Messungen problemlos durchgeführt werden. Gleichzeitig können strukturelle Materialfehler und Montagefehler lokalisiert werden, die normalerweise nicht mit den traditionellen zerstörungsfreien Messverfahren sichtbar gemacht werden können.

RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME

XT H 320

DER ERSTE SCHRITT IN RICHTUNG HOCHLEISTUNGS-MIKROFOKUS Das XT H 320 ist ein System in großer Kabinenausführung für das Röntgen, CT-Scannen und die Vermessung großvolumiger Bauteile. Es ist mit einer 320 kV Mikrofokus-Röntgenröhre ausgestattet, die bis zu 320 W Röntgenleistung bietet. Unter Verwendung eines hochauflösenden Flachdetektors werden hochwertige Bilder des Prüfobjektes erstellt. Die Steuerung des Systems erfolgt durch Inspect-X, ein Programm, das die Erfassung von CT-Daten und die Einrichtung von Messungen zu einer einfachen Angelegenheit macht. Das Programm kann Volumendaten an eine Viewer-Software nach Industriestandard ausgeben.

Verblüffende Bilder

320 kV Mikrofokus-Röntgenröhre

Unterschiedliche Materialien oder Objekte mit geringerer Röntgenschwächung werden aufgrund der höheren dynamischen Bandbreite dieses Detektortyps besser mit Perkin ElmerFlachdetektoren vermessen. Bei CT-Aufnahmen werden hochauflösende Voxel-Daten erfasst, wenn hochauflösende Flachdetektoren mit flächenmäßig hoher Pixelanzahl eingesetzt werden. ST/LC Schutzkabinen sind mit Perkin-Detektoren eines höheren Auflösungsvermögens von 2000 x 2000 Pixeln konfigurierbar, die äußerst detailgetreue Bilder liefern.

Die meisten Systemanbieter bieten lediglich MikrofokusRöntgenröhren mit einer Leistung von maximal 225 kV an, während die leistungsstärkeren Röntgenröhren ihres Angebots mit Minifokus ausgestattet sind. Größere Objekte erfordern häufig eine intensivere Durchdringung. Aus diesem Grund bietet Nikon Metrology die einzigartige 320 kV Mikrofokus-Röntgenröhre an. Da die Brennfleckgröße dieser Röntgenröhren im Vergleich zu Minifokusröhren um einige Größenordnungen kleiner ist, profitieren die Endbenutzer von einer höheren Auflösung und vielfältigeren Möglichkeiten für die Teilemessung.

Mit Nikon Metrology CT-Systemen können Sie • komplexe innenliegende Strukturen überprüfen • eingeschlossene Bauteile isolieren und prüfen • Maße nachmessen, ohne das Objekt zerteilen zu müssen • interne Lunker/Volumina automatisch auffinden und messen • innen- und außenliegende Flächen einfach sichtbar machen • die gesamte Prüfzeit verkürzen • die Anzahl der Wiederholungen zur Feinabstimmung der (Vor-) Produktionsparameter verringern

Schneckenfossile

Dosierspender

Schenkelknochen

Auswertung der Wandstärke auf Antriebsrad

XT H 450

LEISTUNGSSTARKE 450 KV MIKROFOKUS CT Das Nikon Metrology XT H 450 setzt einen neuen Maßstab für die Messung von Turbinenschaufeln und die zerstörungsfreie Prüfung (NDT) von kleinen bis mittelgroßen Gussteilen. Kernstück dieser leistungsstarken Anlage ist die 450 kV MikrofokusRöntgenquelle, die für eine hohe Auflösung und Genauigkeit sorgt. Der gekrümmte Zeilendetektor optimiert die Erfassung der Röntgenstrahlen, indem er das Messen der Streuungen, die normalerweise die 2D-Radiografien von Turbinenschaufeln und sonstigen Metallteilen stören, drastisch reduziert.

Merkmale

Anwendungsbereiche • Detailanalyse der Wandstärke und inneren Struktur von Turbinenschaufeln • Automatisierte Freigabe-/Ausschussprüfung von Turbinenschaufeln • Prüfung hochdichter Teile (z.B. von Metall und Gussteilen) mit Genauigkeitsanforderungen im Mikrometerbereich

• Einzigartige 450 kV Mikrofokusquelle • Röntgenquelle für hohe Bildbrillanz (optional) • Wahlweise verschiedene Bildgebungsverfahren - Digitaler Perkin Elmer-Flachbilddetektor (XT H 450 3D) - Gekrümmter Zeilendetektor CLDA (XT 450 2D) - Kombination aus Flachbilddetektor und CLDA • Messvolumen von bis zu 600 mm Durchmesser und 600 mm Höhe • Vollständig programmierbarer 5-Achsen-Plattenmanipulator mit Präzisionskugelumlaufspindeln und Linearführungen • Spezielle Anwendung für die automatische Freigabe-/ Ausschussprüfung von Turbinenschaufeln

Schnellerer Messdurchsatz bzw. hohe Datenqualität durch die Röntgenquelle für hohe Bildbrillanz

Die 450 kV hochauflösende Bildquelle bietet die Röntgenbild und CT Schnitte einer Turbigleichen Vorteile wie eine Quelle mit rotierendem nenschaufel, aufgenommen mithilfe eines Target: schnellere Datenaufnahme oder höhere gekrümmten Zeilendetektors (CLDA) Datenqualität bei gleichbleibender Leistung

Röntgenbild eines Kettensägenmotors

Röntgenbild eines Motorblocks

Die neue, optional erhältliche 450 kV Röntgenquelle für hohe Bildbrillanz liefert außerordentliche Ergebnisse. Bei einer vorgegebenen Brennfleckgröße und Leistung können Daten mit drei- bis fünffacher Geschwindigkeit aufgenommen werden: Ein höherer Messdurchsatz wird erzielt. Alternativ kann eine höhere Auflösung bei einer vorgegebenen Leistung und Messzeit erreicht werden. Das Ergebnis ist eine ausgezeichnete Datenqualität. Die Röntgenquelle für hohe Bildbrillanz versorgt das System mit einer kontinuierlichen Leistung von 450 W ohne zeitliche Messeinschränkung.

CT Volumenmodell eines Motorblocks

RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME

MCT225 für messtechnische CT-Anwendungen

ABSOLUTE GENAUIGKEIT FÜR INNENLIEGENDE MESSUNGEN Das MCT225 ermöglicht die effiziente Messung von innen- und außenliegenden Geometrien in einem einzigen zerstörungsfreien Prüfverfahren, ohne Referenzmessungen. Wir vereinen auf uns 50 Jahre Erfahrung in der Koordinatenmesstechnik und 25 Jahre Erfahrung in der Röntgentechnik und sind daher ein führender Anbieter von zuverlässiger CT-Messtechnik erster Qualität.

Absolute Genauigkeit Das MCT225-Prüfsystem wird mit Genauigkeitsstandards vorkalibriert, die auf das britische National Measurement Institute (NPL) rückführbar und gemäß der Richtlinie VDI/VDE 2630 „Computertomografie in der dimensionellen Messtechnik“ verifiziert sind. Die absolute Genauigkeit garantiert Messgenauigkeit, ohne zeitraubende vergleichende Aufnahmen oder Referenzmessungen durchführen zu müssen. Die Prüfobjekte werden einfach auf einem Drehtisch in der Kabine platziert und gemessen. Verschiedene wichtige Messfunktionen sorgen für Temperaturstabilität und gewährleisten, dass das MCT225 eine eindrucksvollen Genauigkeitsspezifikation von 9+L/50 µm erzielt.

Merkmale

Materialdurchdringung KUNSTSTOFF

170 mm

ALUMINIUM

75 mm

EISEN

15 mm

• Von Nikon Metrology entwickelte Mikrofokus-Röntgenquelle • Temperaturkontrollierte Kabine • Lineare Präzisionsführungen. • Korrektur von Achsenverfahrfehlern. • Flüssigkeitsgekühlte Röntgenquelle. • Hochauflösende optische Wegmesssysteme • Hochauflösender 4 Megapixel-Detektor. • Per Finite-Elemente-Analyse (FEA) optimierter Manipulator.

Weitere geeignete Materialien: STAHL, KERAMIK, KOHLEFASER, HOLZ

Der CT-unterstützte Messprozess

F1 Fahrzeug Mehrteiliges Hydraulikteil

CT-Volumen Rekonstruktion

Dieseleinspritzdüse

Direktvergleich zum CAD-Modell

Schnitt einer Innengeometrie

Messprotokoll Innengeometrie mit Form- und Lagetoleranz

XT V 130C

VIELSEITIGES UND BEDIENERFREUNDLICHES SYSTEM ZUR QUALITÄTSKONTROLLE VON ELEKTRONISCHEN KOMPONENTEN Das XT V 130C ist ein sehr vielseitiges und kostengünstiges Röntgensystem, das in der Elektronikund Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es verfügt über eine 130 kV/10 Watt Röntgenquelle aus dem Hause Nikon Metrology im Open-Tube-Design (offene, einfach zugängliche Röntgenröhre) mit integriertem Hochspannungsgenerator und ein hochauflösendes Bildgebungsverfahren. Durch diverse Upgrades, die sowohl im Herstellerwerk als auch vor Ort stattfinden könnnen, kann der Nutzer das System für seine Anforderungen konfigurieren: ob eine leistungsstärkere Röntgenquelle, ein Drehtisch, Software für die automatisierte Inspektion, ein digitaler Flachbilddetektor oder Integration der zukunftssicheren CT-Technologie.

Anwendungsbereiche • Elektronische und elektrische Komponenten - Prüfung/Auffinden von gebrochenen Verbindungen, erhöhten Lötverbindungen, Leitungsdurchgängen (Wire Sweep), Mikromontagen, Trockenverbindungen, Brücken-/ Kurzschlussbildung, Lunkern, BGA usw. • Bestückte und unbestückte PCBs - Anzeige von Oberflächendefekten, d.h. fehlausgerichteten Teilen, porösen Durchgangslochverbindungen und Brücken - Detailprüfung von Durchgangsleitungen (Vias), Durchkontaktierung und Mehrlagenausrichtung - Wafer-level Chip Scale Packages (WLCSP) - BGA- und CSP-Prüfung - Prüfung von bleifreien Lötverbindungen • Mikrosysteme (Micro-Electro/Opto-Mechanical Systems, MEMS, MOEMS) • Kabel, Leitungssätze, Kunststoffe u.v.m.

Einfacher Zugang zum Prüfbereich

Dank der hervorragenden Vergrößerung kann der Bediener jeden Bereich von Interesse heranzoomen

Merkmale • 20-130 kV Nikon Metrology Mikrofokus-Röntgenröhre mit 2 µmMerkmalserkennung • Messvolumen von 406 x 406 mm • Manipulator mit echtem 75°-Neigungswinkel zur einfachen Prüfung von innenliegenden Merkmalen (Schrägansicht) • Schwenkbare Beladetür für einen einfachen Zugang zum Messvolumen • Einfache Zugänglichkeit der zu wartenden Systemkomponenten

Vorteile • Online-Bedienung mit intuitiver Joystick-Steuerung • Kostengünstige Wartung durch Open-Tube-Technologie (offene Röntgenröhre) • Vollschutzsystem erübrigt das Tragen von Schutzkleidung oder Strahlenschutzplaketten • Geringe Aufstellfläche und niedriges Systemgericht erleichtern die Installation • CT-Option ist möglich

Ein Neigungswinkel von bis zu 75° bietet hinreichende Flexibilität, um Verbindungsfehler schnell aufzuspüren

RÖNTGEN- UND CT-INSPEKTIONSSYSTEME

XT V 160

EIN RÖNTGENINSPEKTIONSSYSTEM DER PREMIUMKLASSE Die Montageverbindungen auf den kompakten und dicht besetzten Leiterplatten (PCBs) von heute werden durch die elektronischen Bauteile selbst verdeckt, sodass die Röntgentechnik die einzig realisierbare Messlösung ist. Der XT V 160 ist ein einfach bedienbares, kostengünstiges PCBPrüfsystem hoher Qualität, das direkt auf den Bedarf von Fertigungsanlagen und Fehleranalyselaboren abgestimmt ist. Im automatischen Betrieb können Objekte in der höchsten Durchsatzrate geprüft werden. Im manuellen Betrieb können die Bediener mithilfe der intuitiven Software und äußerst präzisen Steuerung der Prüfobjekte kleinste innenliegende Schäden und Mängel sichtbar machen und auswerten.

Merkmale • 160 kV Nikon Metrology Röntgenquelle mit Brennfleckgröße im Submikrometerbereich • Echter Neigungswinkel von 75° für die optimale Prüfung von BGAs • Schnelle Datenaufnahme und Bilder hoher Qualität • Große Ablage zum Laden mehrerer Schaltungen • Benutzerdefinierbare Makros zur Automatisierung der Messabläufe • Validierungsstation auf separatem Rechner optional erhältlich

Vorteile • Flexibilität kombiniert in einem einzige System - Interaktive Anzeige - Vollautomatische Röntgenprüfung - CT-Option für die tiefergehende Analyse • Maximale Vergrößerung unter jedem Blickwinkel (bis 75°) • Schneller Betrieb mit intuitiver Benutzeroberfläche und interaktiver Joystick-Steuerung • Kostengünstige Wartung durch Open-Tube-Technologie (offene Röntgenröhre) • Vollschutzsystem, das keine speziellen Schutzvorkehrungen oder Strahlenschutzplaketten erfordert • Kleine Aufstellfläche

Anwendungsbereiche

In allen Kombinationen von Drehungen, Neigungen und Vergrößerungen bleibt der für Sie interessante Bereich (ROI) in der Mitte des Sichtfelds fixiert

• Solder Reflow-Analyse • BGA Analyse • Lunkerberechnung (Solder Void) • Through Hole Vermessung und Untersuchung • Lunkermessung im Mikromontagebereich • Ballbond-Analyse • Stitchbond-Analyse • Mikro BGA/ Chip on Chop-Analyse • Pad Array-Analyse • Erkennung und Analyse von kalten Lötstellen 31

XT V 160 NF Nanofokus-Röntgenprüfung

FÜHREND AUF DEM GEBIET DER ELEKTRONIKPRÜFUNG Das XT V 160 NF ist ein hochpräzises Röntgeninspektionssystem. Es arbeitet mit einem Flachdetektor und macht die Echtzeit-Bildgebung und Analyse von Defekten an Bauteilen und Leiterplatten deutlich einfacher. Dieses technologisch führende Prüfsystem ist mit einer von Nikon entwickelten Nanofokus-Röntgenröhre und einem Präzisionsmanipulator ausgestattet. Es bietet eine bisher unerreichte Leistung im Bereich der Merkmalserkennung. Als solches ist das XT V 160 NF unverzichtbar in der Forschung, Entwicklung und Fertigungsumgebung. Darüber hinaus profitieren Anwender von den geringen Betriebskosten und der hohen Zuverlässigkeit dieses Systems.

Merkmale

Anwendungsbereiche

• Mind. Detailerkennung: <0,1 µm bis zu 6 W Leistung • Top-Genauigkeit durch die Nutzung eines Präzisionsmanipulators mit Schwingungsdämpfung • 3 Megapixel Flachdetektor für hochgenaue Auflösung • Große Öffnung, um mehrere Komponenten oder Leiterplatten sowie 450 mm Wafer zu laden • Produktivitätssteigerung durch Automatisierung und sofortige Erstellung von Messberichten

• Silizium-Durchkontaktierung (TSV) Füllen und Lunker • Erkennung von kalten Lötstellen und Lunkeranalyse bei Cu-Säulen und Mikro-Kontaktierhügeln • BGA-Lunker, Größenmessungen, Erkennung von kalten Lötstellen und Verbindungsfehlern (Head-in-pillow) • Bonddraht-Analyse: Ballbond, Drahtbruch, Wire Sweep, Stitchbond • QFN/QFP-Prüfung, einschl. Pad Array-Analyse

Wafer Level Mikro BGA

Mikro BGA und Durchgangsleitungen (Via Plating)

Automatisierte BGA Lunkeranalyse

Macht kleinste Details sichtbar

Extrem feine Pitch-Bonddrähte

Ballbond-Analyse

MESSINSTRUMENTE

Der Einsatz von Präzisionsmessinstrumenten garantiert Qualitätssicherung auf höchstem Niveau innerhalb des gesamten Produktionsprozesses. Basierend auf der Erfahrung von Nikon im optischen Bereich setzen Videomesssysteme, Messmikroskope, Profilprojektoren und optische Komparatoren neue Standards für die Qualitätsprüfung, selbst für kleinste Messobjekte.

VIDEOMESSSYSTEME MESSMIKROSKOPE PROFILPROJEKTOREN DIGITALE LÄNGENMESSSYSTEME AUTOKOLLIMATOREN

iNEXIV VMA-2520 / VMA-4540 / VMA-6555

MULTISENSORFÄHIGE CNC-VIDEOMESSSYSTEME Unter Einsatz einer optischen Mess- und Bildverarbeitungstechnik prüfen iNEXIV CNC Videomesssysteme automatisch die Maßhaltigkeit verschiedenster Präzisions- und Elektronikteile. Die Bilder der CCD Kamera und die Datenverarbeitung sorgen für eine präzise Kantenerkennung am Messobjekt und ermöglichen die Messung komplexer Formen

iNEXIV VMA-4540

Merkmale • Geringe Aufstellfläche und geringes Systemgewicht von nur 72 kg (VMA-2520) • Verfügbare Messbereiche: - 250 x 200 mm Messweg in XY und 200 mm in Z (VMA-2520) - 450 x 400 mm Messweg in XY und 200 mm in Z (VMA-4540) - 650 x 550 mm Messweg in XY und 200 mm in Z (VMA-6555) • Modernste VMA AutoMeasure-Software • Schneller und hochleistungsfähiger Laser-Autofokus (optional) • Multisensorfähig: optische Messaufnehmer, Laser und schaltende Messtaster

Vorteile • Hohe Präzision durch weiße LED-Beleuchtung und den Einsatz von Aluminiumlegierungen in der Konstruktion • Schnelle und präzise Messtischsteuerung für einen höheren Messdurchsatz • Neue Zoomoptik, die 3D-Teilemessungen einfacher macht • Fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen und intelligente Suchfunktionen

iNEXIV VMA-2520

Das iNEXIV VMA-2520 ist ein neues Multisensor-Videomesssystem, das so leicht und kompakt ist, dass es in Fabrikumgebungen auf der Werkbank verwendet werden kann. Aufgrund seiner schnellen, vollautomatischen und hochpräzisen Funktionen eignet es sich ideal für eine Vielzahl von Anwendungen im Bereich industrieller Messung, Prüfung und Qualitätssicherung. Das iNEXIV, das für die Vermessung dreidimensionaler Proben entwickelt wurde, kann Messtaster aufnehmen und wartet mit der neuesten Bildverarbeitungssoftware, der neuen 10x-Zoom-Optik und einer Laser Autofokus-Option auf. Die kostengünstige VMA-4540V/4540 Variante dagegen bietet ein größeres Messvolumen, sodass auch größere und höhere mechanische und elektronische Komponenten geprüft werden können. Während das VMA-4540V ausschließlich für Videomessungen konzipiert ist, kann das VMA-4540 System zusätzlich einen schaltenden Taster aufnehmen. Das VMA-6555 eignet sich für die Vermessung großer Objekte (bis zu 650 x 550 x 200 mm) oder mehrerer kleiner Bauteile gleichzeitig. Es zeichnet sich durch ein optimales Preis-Leistungs-Verhältnis aus. Dies zeigt sich bei der Ausstattung: Der Systemkörper sowie die Führungslager sind identisch zu den High-End-Modellen. Das VMA-6555V ist ausschließlich für Videomessungen konzipiert, während das VMA-6555 System mit einem Taster ausgestattet ist.

Anwendungsbereiche • Mechanische Werkstücke (wie z.B. Metall- und Spritzgussteile) • Elektronische Baugruppen • Gussteile • Spritzgussformen • Medizinprodukte

iNEXIV VMA-6555 Modell mit großem Messbereich

Aluminiumgussteil

MESSINSTRUMENTE

Nexiv VMZ-R

DIE NEUESTEN TECHNOLOGIEN DER RENOMMIERTEN NEXIV-BAUREIHE Die genaue Vermessung von hochentwickelten Produkten (d. h. Smartphones und Tablets) und die extrem schnelle Bildverarbeitungstechnik für die Massenproduktion sind in der Messtechnik zum Standard geworden. Die NEXIV Systeme der nächsten Generation wurden speziell für die schnelle und präzise Maß- und Formkontrolle von hochdichten, mehrschichtigen Elektronikbauteilen entwickelt.

Äußerst präzise und schnelle Messungen

VMZ-R4540

Merkmale • Neuer Laser-Autofokus, entwickelt zum Detektieren der Oberfläche von dünnen, transparenten Werkstoffen. • 4 Modellvarianten optischer Zoomsysteme • Neue 8-segmentige Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln • Steigerung der Messgenauigkeit durch hochauflösendes Wegmesssystem • Das System ist in verschiedenen Größen erhältlich (VMZ-R3020, VMZ-R4540, VMZ-R6555) • Bedienerfreundliche Benutzeroberfläche der Software: Jeder Anwender kann das System einfach bedienen und automatisierte Messprogramme erstellen

Das im Hause Nikon entwickelte Wegmesssystem ermöglicht eine höhere Genauigkeit beim Messen. Außerdem wurde die Gesamtmesszeit dank einer optimierten Bildübertragungstechnik und Änderungen an der Lichtquelle verkürzt.

Flexibilität beim Messen Eine dritte Ringbeleuchtung wartet mit einer erweiterten Kantenerkennungsfunktion auf. Gleichzeitig wurde die Fähigkeit des Systems, transparente Bauteile messen zu können, durch den optimierten TTL (Through The Lens) Laser-Autofokus verbessert.

Größere Bedienerfreundlichkeit Das Gerät ist nun deutlich schneller einsatzbereit, da jetzt mit nur wenigen Schritten Teaching-Dateien erstellt werden können. Das Hauptprogramm wurde durch die neue Funktion der „Anleitungsseite“ verbessert, die Lernprozesse vereinfacht und verständlicher macht.

Neue 8-segmentige Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln Die Auflicht-, Durchlicht- und Ringbeleuchtung arbeitet mit weißen LED-Lichtquellen und bietet Stabilität und Langlebigkeit. Neue Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln für eine präzise Kantenerkennung. VMZ-R3020

VMZ-R6555

Schützende Glasoberfläche Substrat Neuer Laser-Autofokus, entwickelt zum Detektieren der Oberfläche von dünnen, transparenten Werkstoffen. Der neue Sensor erkennt sowohl Ober- als auch Unterseiten.

37°

Messabstand: 50 mm

55°

Messabstand: 36 mm

Niedriger Neigungswinkel/langer Messabstand

78°

Messabstand:10 mm

Hoher Neigungswinkel/kurzer Messabstand

Neues 8-segmentige Ringbeleuchtung mit drei Neigungswinkeln für eine optimale Kantenerkennung

Nexiv VMR Serie

HOCHPRÄZISE, AUTOMATISIERTE VIDEOMESSUNGEN Nikon bietet eine umfangreiche Auswahl an Videomesssystemen der NEXIV Serie. Jedes System zeichnet sich durch Nikons weltbekannte optische Qualität und ein robustes Design für hochpräzise Messaufgaben aus. Das automatisierte NEXIV Videomesssystem deckt kleine bis große Messbereiche ab und bietet eine Vielzahl von optischen Konfigurationen. Die großen NEXIV VMR Systeme bieten Messbereiche bis zu 1 200 x 720 mm. Mit diesen Systemen werden u. a. Leiterplatten, Anzeigetafeln und größere Werkstücke, wie z. B. FPD Produkte, geprüft.

Aufgedampfte Muster eines Flachbildschirms (FPD)

Die äußere Ringbeleuchtung vergrößert den Anwendungsbereich

Anwendungsbereiche

Merkmale

• Mechanische Werkstücke (z. B. bearbeitete, gegossene, gestanzte, geätzte und gespritzte Komponenen) • Elektronikbauteile (z. B. MEMS, Prüfkarten, SMD, PCB, Steckverbinder) • Halbleitergehäuse und neueste Packaging-Technologien (z. B. Wafer-Level CSP, Flipchip) • LCD- und Flachbildschirm-Komponenten • Präzisionswerkzeuge und -formen • Medizinprodukte

• Verschiedene Modellvarianten bieten Genauigkeiten im Submikrometerbereich • Die Submikrometer-Genauigkeit wird durch die robuste Systemkonstruktion in Verbindung mit dem Hochvergrößerungsmodul VMR–Z120X erzielt, das einen achtstufigen Zoom mit max. 120-facher Vergrößerung bietet • Modernste VMR AutoMeasure-Software • Schneller und hochgenauer Laser-Autofokus • Software für die 3D-Oberflächenanalyse, Zahnradmessmodul, Echtzeit SPC Software und Drehachse optional erhältlich

Verwandte Produkte NEXIV VMR sind mit verschiedenen Messtischgrößen erhältlich: • NEXIV VMR-1515 (150 x 150 mm) • NEXIV VMR-10080 (1000 x 800 mm) • NEXIV VMR-12072 (1200 x 720 mm)

Vorteile • Intelligente Suchfunktion für hohe Produktivität • Exzellente Kantenerkennung durch fortschrittliche Video-Kantenmesswerkzeuge und Nikons eigenen Kantendetektionsalgorithmus (zum Patent angemeldet) • Schnelle und präzise Messtischsteuerung für einen höheren Messdurchsatz

MESSINSTRUMENTE

KONFOKALES Nexiv System VMZ-K3040

ERSTELLUNG VON 3D MESSUNGEN MITTELS KONFOKALER BILDER Das konfokale NEXIV Videomesssystem, das durch revolutionäre Multifunktionalität besticht, wurde auf Basis der marktführenden Erfahrung von Nikon im Bereich der Opto-Mechatronik (optische, mechanische und elektronische Technologien) entwickelt. Es umfasst konfokale Optiken für die schnelle und genaue Auswertung detaillierter 3D-Oberflächen und eine Hellfeld-Optik mit 15-fachem Zoom. In ein und demselben FOV können gleichzeitig 2D- und Höhenmessungen durchgeführt werden. Das konfokale NEXIV Videomesssystem kommt bei der Prüfung hochkomplexer Strukturen wie Kontaktierungshöhen (Bumps) an Halbleiterbauteilen der neusten Technologie, Prüfkarten, Lasermarkierungen auf Wafern und anderen anspruchsvollen Anwendungen optimal zum Einsatz.

Anwendungsbereiche • Kontaktierungshöhen an Halbleiterbauteilen der neuesten Technologien • Prüfkarten • Optische Präzisionsteile (Mikrolinsen, Kontaktlinsen) • Lasermarkierungen auf Halbleiter-Wafern • MEMS • Drahtbonden

Darüber hinaus wird eine Software für die Online-Kommunikation und ein automatisches 300 mm Wafer Be- und Entladesystem zur Verwendung in Reinräumen für die Halbleiterindustrie angeboten.

Merkmale • Simultane Weitwinkel-Höhenmessungen mit von Nikon entwickelter konfokaler Optik • 2D-Messung mit Hellfeld-Zoomoptik in 15-facher Vergrößerung • Vollständige Kompatibilität für die Prüfung von 300 mm Wafern

In Z aufgenommene konfokale Bilder werden in Echtzeit in Form von 3D Konturgrafiken und tiefenscharfen (EDF – Extended Depth of Focus) Bildern rekonstruiert.

Betrachtung der Waferebenen von oben und 3D-Darstellung (Softwareoption)

Feine Kontaktierungsflecken und Muster auf Substraten

Das speziell für das konfokale Nexiv Videomesssystem entwickelte 300 mm Wafer Be- und Entladesystem macht vollautomatische Messungen möglich.

Messmikroskope der Modellreihen MM-800/400/200

VERBINDEN DIGITALE BILDERFASSUNG UND INDUSTRIELLE MESSTECHNOLOGIE Die Messmikroskope von Nikon überzeugen durch Leistung, Bedienkomfort und eine beispiellose Flexibilität, wenn es um Upgrades und Erweiterungsmöglichkeiten geht. Die MM-400/800 Serie liefert komplette digitale Kontrolle für ein Maximum an Messgenauigkeit in einem stetig in den Anforderungen wachsenden industriellen Umfeld. Messmikroskope sind hervorragend zur Inspektion und Messung von kleinen 2D- und 3D-Messobjekten geeignet. Das MM-200 ist ein kompaktes und leichtgewichtiges Messmikroskop und wird zu einem optimalen PreisLeistungs-Verhältnis angeboten. Testobjekte aus den verschiedensten Industriebereichen, ob aus Metall oder Kunststoff sowie Elektronikbauteile werden mit Präzision und Genauigkeit gemessen. Das Messmikroskop wird hauptsächlich in der Automobil- und Elektronikindustrie eingesetzt.

MM-800 Messmikroskop

Merkmale

PGA - Einfügestift

Bildergebnis eines optimal ausgeleuchteten Sichtfelds

• Nahtlose Integration von Nikon Digitalkameras und der Nikon Messsoftware E-Max möglich • Leistungsstarke, weiße LED Beleuchtung als Grundausstattung für ein optimal ausgeleuchtetes Sehfeld • Integrierte Schnittstelle vereinfacht die automatisierte Beleuchtung, XYund Z-Verfahrweg können von der Software E-Max aufgenommen werden • Optionaler TTL Laser-Autofokus • Messtische sind bis zu einer Größe von 300 x 200 mm für größere Testobjekte erhältlich

Vorteile CCD

Kunststoffzahnrad

Anwendungsbereiche • Lab-on-a-Chip • MEMS • Kunststofffertigung (z. B. beim Spritzgussverfahren) • Medizinprodukte • Mikroelektronik und Optoelektronik • Mikrotooling • Oberflächenanalyse • Bruch- und Fehleranalyse

• Herausragende geometrische Datenverarbeitung und –sicherung • Benutzerfreundlichkeit durch verschiedene motorisierte Kontrollfunktionen und das ergonomische Design • Aufnahme größerer Messtische durch verstärkten Korpus • Erweiterte Beobachungsverfahren durch den Einsatz von verschiedenen Beleuchtungs- und Lichtquellenoptionen • Optional ist ein vollständig motorisiertes Hochleistungs-Messmikroskop mit digitalen Bildverarbeitungsfunktionen erhältlich

Verwandte Produkte • NEXIV und iNEXIV Videomesssysteme • Mikroskope für industrielle Anwendungen MM-200

MM-400

MESSINSTRUMENTE

Profilprojektoren, digitale Längenmesssysteme, Autokollimatoren

HÖCHSTE PRÄZISION UND LEISTUNG Profilprojektoren Die Profilprojektoren von Nikon wenden das optische Prüfprinzip auf die Inspektion von gefertigten Werkstücken an. Dabei wird die vergrößerte Abbildung des Testobjekts auf die Mattscheibe projiziert. Um allen Kundenanforderungen gerecht zu werden, wird der Profilprojektor mit einer Anzahl an verschiedenen Projektionslinsen geliefert. Jede Linse ist in puncto Vergrößerung, Arbeitsbereich und Sehfeld unterschiedlich.

V-20B

V-12B

Verwandte Produkte Folgende Profilprojektoren stehen zur Auswahl: • V-24B (Durchmesser der Mattscheibe 600 mm, ausgenommen EU) • V-20B (Durchmesser der Mattscheibe 500 mm) • V-12B (Durchmesser der Mattscheibe 300 mm) • Horizon 16E (Durchmesser der Mattscheibe 400 mm, nur USA)

Der V-24B, das Top-Modell unter den Profilprojektoren, bietet mit einem effektiven Durchmesser von 600 mm die größte Mattscheibe. Sein herausragendes Auflichtbild und die hohe Genauigkeit ermöglichen das präzise Messen von Profilen, Oberflächen und größeren Werkstücken. Die Horizon-Reihe der Tisch-Komparatoren in horizontaler Bauweise liefert eine leistungsstarke, zuverlässige Beleuchtung für die Überprüfung und Messung von Oberflächen und Profilen.

Anwendungsbereiche • Profilerstellung (Werkstücke aus Metall oder Kunststoff) • Kontrolle von Oberflächenbeschaffenheiten • Kontrolle von Teilemerkmalen • Bruch- und Fehleranalysen

MF-1001/MF-501 Digimicro Das MF-1001 und das MF-501 sind digitale Mikrometer, die Überprüfungen von Abmessungen, Breite und Tiefe per Kontaktmessung durchführen. Sie weisen eine Messlänge von 100 mm bzw. 50 mm und ihre Genauigkeit bei 20° C beträgt 1 µm. Für erhöhte Stabilität sind die Ständer in Keramik, Stahl oder Granit erhältlich. Ebenso stehen unterschiedlichste Tastspitzenkonfigurationen zur Verfügung, um maximale Vielseitigkeit zu gewährleisten. Digitales Mikrometer MF-1001

Digitales Mikrometer MF-501

6B/6D Autokollimatoren Die Autokollimatoren aus dem Hause Nikon Metrology messen und überprüfen die Parallelität von Endflächen, die Rechtwinkligkeit, Ebenheit oder Geradlinigkeit von Bewegungen (Richtungsprüfungen). Die Dunkelfeld-Ausführung eignet sich ideal für die Messung kleiner, flacher Spiegel. Die Hellfeld-Ausführung bedient sich der legendären Nikon Optik zur Beleuchtung von Oberflächendetails. Anwendungsbereiche: Prüfung von Oberflächenenbenheiten, Fluchtungsprüfung von Komponenten mit reflektierenden Oberflächen (z.B. Pick-Up Linsen von CD Playern) sowie Winkel- und Schrittmessungen von beweglichen Maschinenkomponenten 39

MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN

Als ein weltweit führendes Unternehmen in optischen Technologien fertigt Nikon optische und digitale Mikroskopsysteme mit vielfältigen Einsatzmöglichkeiten, herausragender Leistung und hoher Produktivität.

STEREOMIKROSKOPE MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN PORTABLE MIKROSKOPE RASTERELEKTRONENMIKROSKOPE SOFTWARE

MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN

Umfassende Auswahl an Stereomikroskopen

EIN MEILENSTEIN FÜR DIE STEREOMIKROSKOPIE Die SMZ25 und SMZ18 Mikroskope revolutionieren die Stereomikroskopie. Die Vorteile: ein einzigartiger Vergrößerungsbereich, eine extrem leistungsfähige Optik, Bedienerfreundlichkeit und hohe Flexibilität durch den modularen Aufbau. Die neue SMZ-Serie bietet eine große Funktionsvielfalt – von einfachen stereoskopischen Bildern bis hin zu komplexesten Beobachtungsverfahren in beispielloser Qualität.

Merkmale • Weltweit höchster Zoombereich (25:1 - SMZ25) und höchste Auflösung in der SMZ-Serie (SMZ25) • Motorisierter Fokus und Zoom (SMZ25) • Extrem klare Bilder mit Fluoreszenz oder normaler Beleuchtung • Einfach zu bedienende LED DIA Basis mit OCC Beleuchtung (die Methode der „Schrägbeleuchtung“ wurde von Nikon entwickelt)

Injektionsnadel

Leiterplatte (Hellfeld)

Leiterplatte (Fluoreszenz)

Uhrwerk

Das Stereomikroskop SMZ1270/SMZ1270i bietet den höchsten Zoomfaktor seiner Klasse. Das SMZ800N verfügt über eine herausragende Optik und hohe Bedienerfreundlichkeit. Diese Stereomikroskope bestechen sowohl durch eine exzellente optische Performance mit weitem Vergrößerungsbereich, großem Zoombereich und hohem Auflösungsvermögen als auch Bedienkomfort. Die Bildbrillanz und verbesserte Bedienbarkeit ist Anwendern in vielen Bereichen – von medizinischen bis hin zu industriellen Anwendungen – von Nutzen.

SMZ800N

SMZ1270i

SMZ745T

Nikon Metrology bietet eine umfangreiche Auswahl an Stereomikroskopen mit vielfältigen Funktionen, vom kostengünstigen, ergonomischen Modell bis hin zur Variante für komplexe Untersuchungen. Folgende Modelle stehen zur Auswahl: • SMZ 25/18 • SMZ 1270i/1270/800N • SMZ 745/745T • SMZ 660 • SMZ 445/460 • SMZ-5/SMZ-2 41

Industrielle Mikroskope der Eclipse Serie

OPTISCHE UND TECHNOLOGISCHE INNOVATION DER SPITZENKLASSE Nikon Metrology bietet eine umfangreiche Auswahl an Industriemikroskopen für vielfältige Anwendungsbereiche, von Modellen in Grundausstattung bis zu äußerst hoch entwickelten Systemen für High-End-Prüfungen. Die Eclipse Serie umfasst optische und digitale Mikroskope, die sich durch vielseitige Einsatzmöglichkeiten, Leistungsfähigkeit und Produktivität auszeichnen.

Eclipse LV100ND

Eclipse LV150N

Die kompakte Eclipse LV100N Serie bietet eine unübertroffene Optik und Ergonomie Nikon Mikroskope der Eclipse Serie sind berühmt für ihre scharfen und kontrastreichen Bilder. Das LV100N liefert hellere Bilder bei geringerem Stromverbrauch und wirkt aufgrund der verminderten Wärmeabstrahlung der temperaturinduzierten Defokussierung entgegen.

LV150N für industrielle Prüfanwendungen Die Mikroskope der Eclipse LV150 Serie liefern hervorragende Ergebnisse bei der Prüfung von Halbleitern, Flachbildschirmen, IC Gehäusen, elektronischen Substraten, Werkstoffen, medizinischen Geräten und zahlreichen anderen Objekten.

L200N für die Prüfung von 200 mm Wafern und Masken Eclipse L200N

Eclipse L300N

In Verbindung mit dem CFI60-2, der legendären Optik aus dem Hause Nikon, und dem neuesten Beleuchtungssystem, bieten die Mikroskope dieser Baureihe hellere, kontrastreichere Bilder. Die L200 Serie ist besonders für die Inspektion von Wafern, Photomasken und Substraten geeignet.

L300N für die fehlerfreie Prüfung von großvolumigen LCDs und Wafern Konfiguriert für 300 mm Wafer- und Maskeninspektion, erfüllt die Eclipse L300 Serie auch die Anforderungen für die Endkontrolle von Flachbildschirmen. Die L300 Baureihe ist mit der bewährten Nikon CFI60-2 Optik ausgestattet und bietet höchste Auflösung und Kontrast sowie bestmögliche Transmission. Eclipse MA200

Wafer-Einspannsystem NWL200

Inverses, metallurgisches Mikroskop Eclipse MA200 / MA100 Das MA200 ist ein inverses, metallurgisches Mikroskop, das für die digitale Bildgebung und ergonomische Effizienz optimiert wurde. Dank seiner einzigartigen Boxenkonstruktion sind alle wichtigen Elemente leicht zugänglich: das Prüfobjekt auf dem Messtisch, der Objektivrevolver, die Filter und Schieber. Das System benötigt etwa 1/3 weniger Aufstellfläche als ein herkömmliches Modell. Das Eclipse MA100/MA100L ist ein kompaktes, inverses Mikroskop für Prüfungen mit Hellfeld und einfacher Polarisation.

NWL200 Wafer Loader System für IC Prüfmikroskope Die neuen Kameras der „Digital Sight“ DS-Serie von Nikon sind die ersten Mikroskop-Kameras, die mit dem Nikon CMOS-Bildsensor im FX-Format, der Bilder mit einer Auflösung von 16 Megapixel erfasst, ausgestattet sind.

Der NWL200 Wafer Loader kann Wafer mit einer Dicke von 100 Mikrometer aufnehmen. Mit einem neuen Einspannsystem können die NWL200 Systeme zuverlässige Ladevorgänge ausführen und eignen sich für die Inspektion von Halbleitern der nächsten Generation.

Verwandte Produkte • Modulbauweise, erweiterbar mit zahlreichem Zubehör wie z.B. verschiedene Kontrastverfahren, Linsen, Messtischen, Wafer Loadern, ganz auf die Bedürfnisse der Messaufgabe zugeschnitten • Auswahl an speziellen Mikroskopvarianten für spezifische Inspektionsaufgaben (Polarisation und metallurgische Nutzung) • Motorisierte Objektivrevolver und digitale Bildbearbeitung sind optional erhältlich

MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN

Mikroskopsysteme der BW-S/D Serie für die Weißlichtinterferometerie

HOCHGENAUE VERTIKALE AUFLÖSUNG VON 1 PICOMETER Mikroskope der BW-S/D Serie eignen sich für die schnelle und präzise Messung von Oberflächenprofilen mit Höhenunterschieden vom Subnanobereich bis hin zu Millimetern. BW-Modelle sind in Kombination mit den optischen Mikroskopen LV150N, MM800, L300N, CM10 erhältlich.

VLSI Standard-Schritthöhe: 8 nm

Konfigurationen

Planarer SiC Wafer

Piezo-Antrieb Einzellinse C-Mount-Adapter CCD Kamera Computer Kompakt-Mikroskop CM Serie

Messmikroskop MM Serie

Optisches Mikroskop Optisches Mikroskop LV Serie L Serie

Piezo-Antrieb Objektivrevolver

NeoScope – das leistungsstarke Table-Top REM

DIE EINFACHHEIT OPTISCHER MIKROSKOPIE UND LEISTUNG EINES RASTERELEKTRONENMIKROSKOPS (REM) IN EINEM SYSTEM Das neue JCM-6000Plus „NeoScope“TM ist ein multifunktionales Table-Top Rasterelektronenmikroskop, das über Touchscreen bedienbar ist. Es stellt die Antwort auf die zunehmend wechselnden Anforderungen von Anwendern weltweit dar. Mit der hohen Auflösung und der ausgezeichneten Tiefenschärfe des leistungsstarken REMs ist das NeoScope in der Lage, eine schnelle Fehleranalyse von Proben zu liefern. NeoScope REM

Kieselalgen

Schaum

Funktionen wie Auto Fokus, Auto Kontrast und Auto Helligkeit machen das NeoScope einfach zu bedienen. Proben können in weniger als drei Minuten eingeführt und analysiert werden. Die Probe muss in den meisten Fällen vorher nicht präpariert werden. Voreingestellte Settings können leicht wiederverwendet werden, um eine schnelle Automation des Inspektionsprozesses der verschiedenen Proben zu gewährleisten. Das NeoScope ermöglicht zwei verschiedene Betriebsmodi: Hochvakuum und Niedervakuum und bietet drei Einstellungen für die Betriebsspannung (5 kV, 10 kV, 15 kV). 43

Digitales Mikroskop ShuttlePix

EIN HANDGEFÜHRTES MIKROSKOP MIT DER MOBILITÄT UND BEDIENERFREUNDLICHKEIT EINER DIGITALKAMERA Das ShuttlePix P-400Rv versetzt Sie in die Lage, überall Bilder aufzunehmen, selbst an Orten, an denen der Einsatz eines Mikroskops bisher unvorstellbar war. Das ShuttlePix ist mit einer Nikon-Optik ausgestattet, die höchste Bildschärfe garantiert und die Bequemlichkeit einer Digitalkamera bietet. Mit dem 20-fachen optischen Zoom, einer bis zu 400-fachen Vergrößerung und der 4-segmentigen LED-Ringbeleuchtung können äußerst detailtreue Bilder unter allen Lichtverhältnissen geliefert werden. Und das ist nicht alles! Sie können das ShuttlePix Mikroskop auch als digitales Tischsystem einsetzen. Das tragbare Mikroskop wurde für verschiedenste industrielle Anwendungen konzipiert, bei denen eine präzise Bildaufzeichnung und -prüfung gefragt ist.

Anwendungsbereiche

Merkmale

• Industrieteile und Werkstoffe • Pipelines und Konstruktionen • Auto-, Boots- und Flugzeugmotoren sowie Fahrwerke • Leiterplatte • Pressteile • Restaurierung und Konservierung von Kunstgegenständen • Forensische Forschung

• 20- bis 400-facher Zoombereich über niedrige bis hohe Vergrößerungsstufen (20-facher optischer Zoom) • Integrierte 4-segmentige LED-Ringbeleuchtung • Verwendung als Tischsystem mit motorisierter Z-Achse und Mikroskopsteuerung per Touchscreen • Stativ mit motorisierter Z-Achse und integriertem Controller für die Erstellung von tiefenscharfen Bildern (EDF) • Speicherung von Bildern im TIFF und JPEG Format über USBAnschluss oder SD-Karte • Zubehörset

Verwandte Produkte • Motorisiertes Stativ • Verschiedene Objektträger (verfahrbar, neigbar usw.) • Touchscreen

Vorteile

Scharfe Bilder mit einem Knopfdruck im Innen- und Außenbereich, gleich unter welchen Lichtverhältnissen

Verwendung als Tischsystem mit motorisierter Z-Achse und Mikroskopsteuerung per Touchscreen

Gussmetall

• Scharfe Bilder mit einem Knopfdruck im Innen- und Außenbereich, gleich unter welchen Lichtverhältnissen • Ergonomisches, handgeführtes Mikroskop in Nikon OptikQualität • Mehrzweckgerät für den Einsatz im Außenbereich und Labor • Betrieb des ShuttlePix ohne spezielle Vorkenntnisse oder Erfahrungen in der Mikroskopie • Eine spezielle Anwendungssoftware unterstützt die grafische Analyse und Berichterstellung

Wandriss

Leiterplatte

Gemälde

MIKROSKOPE FÜR INDUSTRIELLE ANWENDUNGEN

SOFTWARE - ÜBERBLICK Software NIS-Elements Bildanalyse und Bilddatenbanken, Steuerung von Mikroskop-Systemen Die Software NIS-Elements von Nikon setzt neue Standards für den Mikroskopmarkt, da sie in der Lage ist, Mikroskope, Kameras, Zubehör und Peripheriegeräte mit automatisierter Intelligenz und leistungsfähigen Funktionen für die Archivierung, Analyse und Visualisierung von Bildern zu verbinden. Die intuitive Bedieneroberfläche der Software vereinfacht Arbeitsabläufe und beschleunigt die Bilderfassungsrate. Gleichzeitig bietet sie vielfältige Funktionen wie Stitching (Zusammenfügen von Einzelbildern), Objektzählung und Volumendarstellung.

Software AutoMeasure (Messinstrumente) Benutzerfreundliche Software für automatisierte Messungen AutoMeasure verfügt über ein intuitives Hilfemenü, eine anpassbare Benutzeroberfläche, einen Anwendungs- und Programmiermodus und ist in verschiedenen Landessprachen erhältlich. Die AutoMeasure Software wird auf den iNexiv VMA, Nexiv VMR und Nexiv VMZ-R Videomesssystemen betrieben.

Datenverarbeitungssoftware E-Max (Messinstrumente) FOV (Field-of-View) Messungen mit fortschrittlicher digitaler Bildverarbeitungstechnologie Die E-Max Messsoftware bietet die neueste Bildverarbeitungstechnologie. Sie wird für eine Vielzahl an Messaufgaben eingesetzt und kann in Verbindung mit Messmikroskopen und Profilprojektoren betrieben werden.

UNSERE VISION: VOLLER KUNDENSUPPORT Nikon Metrology bietet Messtechniklösungen gemäß ISO 9001/2000 und UKAS für unterschiedlichste Branchen und führende Kunden in einem globalen Markt und bedient sich dabei eines weltweiten Netzwerks von hervorragend ausgebildeten Messtechnikexperten. Die komplette Bandbreite des Kundendienstes umfasst den Helpdesk-Support, Schulungen, Wartungsprogramme, Nachrüstmöglichkeiten und Auftragsarbeiten, sodass unsere Kunden den maximalen Gewinn aus ihren Nikon Metrology-Lösungen erzielen oder ihre Messproblematiken in kürzester Zeit lösen können. HELPDESK Direkthilfe – die Fähigkeiten und das technische Fachwissen, um Ihre Anwendungs-/Softwareprobleme durch spezielle Helpdesk-Techniker zu lösen. MESSTECHNIK PRODUKTSCHULUNGEN/SEMINARE Wissensdatenbank – Basierend auf langjähriger Erfahrung führt unser Fachpersonal bei uns im Haus oder vor Ort beim Kunden Software- und Hardwareschulungen und Seminare für Anfänger und Fortgeschrittene durch. PROGRAMMIERBERATUNG Operative Unterstützung – hochqualifizierte Techniker liefern Werkstückprogramme oder Beratung beim Programmieren. Durch dieses Fachwissen können Sie die Zeiten für Ihre Produktprüfung verringern. WARTUNG UND KALIBRIERUNG Kundendienst – das Personal, die modernste Technologie und Logistik, um die Zuverlässigkeit, Laufzeit und Leistungsfähigkeit Ihres Systems zu maximieren. LOHNMESSUNGEN Nikon Metrology bietet Lohnmessungen verschiedenster Art an. Das umfassende Produktportfolio enthält das richtige Werkzeug für jede Messaufgabe des Kunden. Zusätzlich zu Nikon Metrology eigenen Messdienstleistungen verfügt Nikon Metrology über ein ausgedehntes Netz an Nikon Metrology-Kundendienstzentren, die von Nikon Metrology für Lohnmessungen zertifiziert wurden.

• Mit UKAS-zertifizierten KMGs im Submikronbereich in temperaturkontrollierter Umgebung können Werkstücke aller Art und Größe gemessen werden. • Messungen mit Laserscantechnik für Prüfungen des Teils gegen CAD oder die Flächenrückführung. • Röntgen- oder CT-Messungen für Elektronik- oder industrielle Bauteile

AUF- UND NACHRÜSTUNGEN Mit der Nachrüstung durch ein modernes Steuerungssystem von Nikon Metrology, die leistungsstarke DMIS-konforme Messsoftware Camio oder CMM-Manager oder durch einen neuen Nikon Metrology Scanner kann die Leistung, Lebensdauer und Genauigkeit vorhandener KMGs oft verbessert werden. Passend für all Ihre derzeitigen und künftigen Bedürfnisse steht Ihnen ein komplettes Angebot an Hardware-Upgrades zur Verfügung. SOFTWARE-UPGRADES Aufgrund der schnellen Entwicklung der KMG-Messsoftware kann es gut sein, dass KMGs mit veralteter Software arbeiten, die seinerzeit entweder von Nikon Metrology oder als Teil Ihres vorhandenen KMG-Systems geliefert wurde Nikon Metrology rüstet Ihr KMG mit der neuesten, bedienerfreundlichen 3D-Messsoftware Camio oder CMM-Manager nach: Entweder über die Nikon MetrologySteuerungstechnologie, die Unterstützung handelsüblicher Protokolle oder die herstellerneutrale Schnittstelle I++ DME. Ganz gleich, ob Sie manuelle oder CNC-KMGs einsetzen, Nikon Metrology verfügt über eine umfangreiche Auswahl an Softwareprodukten, die zur Unterstützung Ihrer Programmier- und Berichtsanwendungen entwickelt wurden.

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