apex series
안경렌즈 AR 코팅에 최적화된 시스템
안경렌즈에 무반사 코팅 (Anti-Reflection)을 위한 장비로 Rx에서 부터 Stock 렌즈 생산에 최적화된 시스템. 주요 안경렌즈 생산업체로부터 오랜 시간 동 안 검증되었으며, 뛰어난 생산성과 신뢰성을 갖고 있다.
Top Coat Special Coat (ITO)
코팅되지 않은 렌즈는 약 8%의 반사를 일으켜 안경착용자에게 불편함을 유발 한다. 이러한 반사는 간섭효과로 반사 율을 감소시키는 무반사 코팅을 적용 함으로 안경착용자의 시계 및 미적 효 과를 크게 향상시킬 수 있다. 이 무반사 코팅은 고진공 영역에서 매우 얇은 막 을 정밀하게 제어해 다층으로 증착해 서 생산한다.
고진공 증착기 에서 생성됨
AR Coat
Hard (Base) Coat Lens (substrate)
4연속 배치 재현성
뛰어난 재현성, Uniformity, 생산성
코팅 물질별 마스크 적용을 달리해, 물질에 따른 substrate fixture 유효경에 따른 코팅 생산 편차를 최소화 해, 챔버 직경이 1200인 경우, dia. 70 lens를 한 배치에 200개를 코 팅할 수 있다.
3.5 3.0 Reflectance (%)
코팅시스템의 핵심부품 및 구조 등을 최적화 및 안정화시 켜, 프로세스 중 코팅조건 변화를 최소화 시켰으며, HOMS (Hanil Optical Monitoring System)을 채용해, 재현 성을 보다 더 높였다.
4.0
2.5 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0
400
450
500 550 Wavelength (nm)
600
650
빠르고 안정적인 배기 및 내구성 Real Leak 및 문처짐과 같은 문제를 발생하지 않는 구조를 갖고 있으며, 한 배치를 반시간 내에 끝낼 수 있을 정도의 충분한 배기 능력을 갖고 있다.
용이성 (운전, 유지/보수) 완전 자동 장비로 숙련공이 아닐지라도 생산을 쉽게 할 수 있으며, ㈜한일진공이 개발한 통합 공정제 어 software인 HOPE를 활용해 코팅 공정 recipe부터,공정 관리, 코팅 시스템 제어 및 공정 log관리가 자동으로 이루어져 사후관리 및 문제 발생시 원인 추적이 용이하다.
목적 적합성 고객의 투자예산, 사용 목적 (Rx, Stock)에 맞게 코팅 시스템을 최적으로 제작하며, 고객이 생산하고자 하는 코팅 프로세스를 탑재해 납품해, 설치 즉시 양산이 가능하다.
700
Chamber 크기별 생산 capa. 비교 Chamber Size (dia. mm)
800
900
1050
1200
1350
70
100
114
200
244
75
84
92
180
210
80
76
79
144
192
90
104
162
189
Lens size Single Dome
3 Sector Dome
75
54
Model Variation apex 120 D pro 1 1
2
3
Chamber Size (dia.) 080
2
800mm
090
900mm
105
1050mm
120
1200mm
135
1350mm
High vacuum pump D
Diffusion Pump
C
Cryo Pump
T
Turbo Molecular Pump
3
Thickness Control pro
OPM (Optical Powered Monitor)
si
QCM (Quartz Crystal Monitor)
Specification Chamber size
Dia. 800 ~ 1500
Low Vacuum Pumping
Oil Rotary Pump, Mechanical Booster Pump
High Vacuum Pumping
Oil Diffusion Pump (Option: Cryo Pump, TMP), Cryo Cold Trap (Polycold)
Evaporation Source
Electron Beam Source, RHS
Ion Beam Source
End-Hall type
Deposition Control
QCM (Option: OPM)
Substrate Fixture
Optional: Single Dome, Segment Dome (3/4)
Control System
HOPE (process control & monitor – PC system)
더 자세한 정보 및 견적을 원하실 경우 아래 e-mail이나 전화로 연락 주십시오. hanil@vacuum-coater.com