정밀광학용 증착 시스템
Beam splitter, BBAR, Band Pass filter, Laser mirror 등과 같은 정밀 박막에 적합한 증착 시스템. OPM 및 IAD를 이용해 재현성과 신뢰성을 확보함.
적용분야 BBAR
Beam Splitter
Camera
BBAR, Edge Filter, NBPF, Band (short/long) Pass filter, IR cut-off filter, Cold Mirror, Laser Mirror
Filter
70 65
정밀제어, 재현성 및 신뢰성
722 723 724
55
Transmittance (%)
725
100
726
50 45 40 35 30
90
25 20 645
646
647
648
649
650
651
652
653
654
655
656
657
658
659
660
661
Wavelength (nm)
80 746 747
70
748
Transmittance (%)
증착된 물질의 질량을 환산해 두께를 제어하는 쿼츠 크리스탈 제어 방식으로는 코팅공정 중에 서 발생하는 여러 변수(진공도, 온도, 증착 레이 트 등)들의 변화로 인한 굴절률의 변화를 실시 간으로 읽어내 제어할 수 없기 때문에, layer가 복잡해지고, layer의 수가 많을수록 제어 정도가 떨어지게 된다. 이러한 문제를 극복하기 위해 한일진공은 자체 개발한 HOMS를 정밀광학 증 착 시스템에 적용했다. HOMS는 공정 중에 발 생하는 변수들의 변화로 인한 박막 특성 및 광 학 두께를 실시간으로 측정, 오차를 보정해 복 잡하고 층수가 많은 코팅공정에 대한 뛰어난 재 현성과 정확성을 확보케 해 준다.
721
60
749 60
750 751
50
40
30
20
10
0 350
400
450
500
550
600
650
700
750 800 850 Wavelength (nm)
900
950
1000
1050
1100
1150
Waveband
380 to 2,000nm (변경 가능함)
Resolution
1nm
Grating
Multiple Grating Turret
Detector
Si Photodiode (VIS), PbS (NIR)
Monitoring
Back Reflectance
Monitor Glass
60 points
Process Control
PC & HOPE
1200
IAD를 활용한 band shift 최소화 공정중 전층에 IAD (Ion Assisted Deposition)을 활용 해 박막의 밀도와 접착력을 높여, 증착후 대기에서의 band shift를 최소화 함. 또한 IAD를 활용함으로 통상적인 공정온도보다 낮은 온도에서도 공정진행이 가능함.
Narrow Band Pass Filter
Band Pass Filter 95 90
90 80
Transmittance(%) / Wavelength (nm)
400
Transmittance(%) / Wavelength (nm)
600
500
400
500
600
700
Cold Mirror
Broadband Polarizing Cube BS 90 80 P-Pol S-Pol
100
Reflectance (%) / Wavelength (nm)
Transmittance(%) / Wavelength (nm) 400
500
600
700
800
900
400
700
1,100
Specification Chamber size
Dia. 800 ~ 1800
Low Vacuum Pumping
Oil Rotary Pump (Option: Dry Pump), Mechanical Booster Pump
High Vacuum Pumping
Oil Diffusion Pump (Option: Cryo Pump, TMP), Cryo Cold Trap (Polycold)
Evaporation Source
Electron Beam Source, RHS
Ion Beam Source
Optional: Mark II / RF Ion Source
Heating System
Optional: Halogen Heater / Micro Sheathed Heater
Deposition Control
QCM (Option: OPM)
Substrate Fixture
Optional: Single Dome, Segment Dome, Flat Planetary Fixture
Control System
HOPE (process control & monitor – PC system)
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