정밀광학용 증착 시스템
Beam splitter, BBAR, Band Pass filter, Laser mirror 등과 같은 정밀 박막에 적합한 증착 시스템. OPM 및 IAD를 이용해 재현성과 신뢰성을 확보함.
적용분야 BBAR
Beam Splitter
Camera
BBAR, Edge Filter, NBPF, Band (short/long) Pass filter, IR cut-off filter, Cold Mirror, Laser Mirror
Filter
70 65
정밀제어, 재현성 및 신뢰성
722 723 724
55
Transmittance (%)
725
100
726
50 45 40 35 30
90
25 20 645
646
647
648
649
650
651
652
653
654
655
656
657
658
659
660
661
Wavelength (nm)
80 746 747
70
748
Transmittance (%)
증착된 물질의 질량을 환산해 두께를 제어하는 쿼츠 크리스탈 제어 방식으로는 코팅공정 중에 서 발생하는 여러 변수(진공도, 온도, 증착 레이 트 등)들의 변화로 인한 굴절률의 변화를 실시 간으로 읽어내 제어할 수 없기 때문에, layer가 복잡해지고, layer의 수가 많을수록 제어 정도가 떨어지게 된다. 이러한 문제를 극복하기 위해 한일진공은 자체 개발한 HOMS를 정밀광학 증 착 시스템에 적용했다. HOMS는 공정 중에 발 생하는 변수들의 변화로 인한 박막 특성 및 광 학 두께를 실시간으로 측정, 오차를 보정해 복 잡하고 층수가 많은 코팅공정에 대한 뛰어난 재 현성과 정확성을 확보케 해 준다.
721
60
749 60
750 751
50
40
30
20
10
0 350
400
450
500
550
600
650
700
750 800 850 Wavelength (nm)
900
950
1000
1050
1100
1150
Waveband
380 to 2,000nm (변경 가능함)
Resolution
1nm
Grating
Multiple Grating Turret
Detector
Si Photodiode (VIS), PbS (NIR)
Monitoring
Back Reflectance
Monitor Glass
60 points
Process Control
PC & HOPE
1200