生产设备
适用于生产薄膜太阳能电池 (CIGS/CdTe)
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德国新格拉斯科技集团 技术创新
德国新格拉斯科技集团在合理利用资源的基础上为 高效生产流程开发创新技术，其核心竞争力在于真 空薄膜技术、湿法化学工艺、表面技术和热加工等 专业技术。目前已售出超过8000台溅射设备。。
德国新格拉斯科技集团 CIS/CIGS和CdTe太阳能电池的开发者、推动 者和供应商
集团旨在巩固现有核心竞争力的同时开发新的解决 方案，并借此拓展新的业务，将其掌握的自动化技 术、工艺技术和工艺步骤整合技术运用到新的应用 领域。
太阳能电池可以根据其生产工艺和所用材料进行 分类，比如晶硅和薄膜太阳能电池。
德国新格拉斯科技集团在持续发展其现有业务的同 时开发新的市场，提供新的生产解决方案。作为全 球创新技术的领跑者，集团欲将其专有的技术运用 到可再生能源、娱乐、不断增长的移动业务、半导 体和其它消费品行业中。
薄膜太阳能电池的基材为一块大型的玻璃面板， 在板上有一层极薄的1到2 μm的光敏化合物层。 此外，该工艺还需要铜、铟、镓和硒或硫组成的 CIGS、碲化镉（CdTe）或薄硅层。 凭借低光照强度下的优越性能，薄膜太阳能电池能 够在清早和傍晚或多云天气时提供电力，面板对局 部阴影也更具适应性。在强烈的太阳照射下，电池 性能也不会因电池板温度很高而受到过多的影响。 此外，薄膜太阳能电池板表面颜色均匀，具有良好 外观，可以作为设计元素用于建筑的正面或屋顶。
CIGS电池的吸收层由铜、铟、镓、硒和部分硫化合 物组成。这些薄膜电池的实验室效率已超过23 %。 组件效率可达14至17 %，具体取决于组件尺寸。作 为高效太阳能电池技术的开发者，德国新格拉斯集 团是众多先进太阳能电池制造商的首选合作伙伴。 德国新格拉斯科技集团是少数既能为工厂提供CIS/ CIGS薄膜组件和单个设备，又能提供适用于下一代 太阳能电池生产的交钥匙生产线的设备生产商。
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德国新格拉斯科技集团为客户提供CIS/CIGS技术：
在太阳能领域，集团为晶硅和薄膜太阳能电池提供创 新的生产方案，在减少生产成本的同时提高电池的转 换效率。
→→ 符合最高国际标准的生产设备 →→ 稳定的工艺，提供工艺技术和工艺执照 →→ 最高良率和效率 →→ 工程师和操作员的教育和培训 →→ 生产初期支持 →→ 全球售后服务 →→ 未来所需的升级包
作为全球知名的设备生产商，集团致力于将太阳能发 展为更具有可持续性、应用更广泛的可再生能源。 在过去几年中，集团为CIS/CIGS生产重要工艺步骤开 发了新的设备并在生产线上验证了技术，工艺覆盖所 有相关生产步骤：
集团旗下的CIS/CIGS设备已销往全球各地，包括中 国、德国、印度、韩国、美国、新加坡、南非和台湾 的成功使用案例都证明了该工艺的成熟和完善。
→→ 溅射 →→ 蒸发 →→ 用于硒化和硫化的RTP →→ 缓冲层沉积 →→ 湿法化学清洁 德国新格拉斯科技集团将继续扩大其发展伙伴关系， 提供高效且低成本的薄膜太阳能电池生产设备。如 今，我们已成为CIS/CIGS设备的一站式供应商，旗下 的设备覆盖所有相关生产步骤。总的来说，这占据了 建立一家薄膜工厂所需投资金额的70%。集团致力于研 发新的技术以确保其业内领先地位。CIS/CIGS电池的 产量在未来几年将会持续扩大。我们将借机向客户提 供高质量的生产线，在提高电池性能的同时降低生产 成本，进一步提高电池产量。
德国新格拉斯科技集团 为CIS/CIGS电池生产提供一切关键生产步骤
Glass Washing → Wet Cleaning
Si Barrier Layer & Mo Back Coat → Sputtering
德国新格拉斯科技集团 为CdTe电池生产提供关键生产步骤
Scribing P1 → Laser Glass Washing → Wet Cleaning
Precursor → Sputtering
Substrate Inspection
(Buffer Layer Deposition)
Absorber & Buffer Layer Deposition CdTe → CdTe Coater CdCl2 Deposition → Wet Process
Substrate Inspection
Selen Evaporation → Thermal Evaporation
CIS/CIGS
Interconnect & Encapsulation → Lamination
CdS or. alt. Buffer Deposition → CBD or ILGAR
Scribing P3 → Mechanical → Laser Front Contact → Sputtering
Selenization/ Sulphurization → CISARIS Oven
iZnO → Evaporation & Sputtering Scribing P2 → Mechanical → Laser
SINGULUS TECHNOLOGIES
Activation → Oven Process
Interconnect & Encapsulation → Lamination
CdTe
Scribing P1 → Laser
Scribing P3 → Mechanical → Laser Metal Back Contact → Sputtering
CdCl2 Salt Removal → Wet Cleaning
Primary Back Contact → Wet Process NP Etch Scribing P2 → Mechanical → Laser
SINGULUS TECHNOLOGIES
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VITRUM II 在线湿法设备，用于蚀刻、清洗与单面镀膜
VITRUM II Cover是VITRUM 系列产品中的新工艺设 备，专门用于以单一工序来清洁薄膜太阳能电池的 后侧和边缘部位包裹的涂层。在用刷子和化学品清 洁边缘和后侧的同时，活性层得到了工艺罩的保 护。因此VITRUM II 罩最适用于槽式镀膜工艺过程 之后的清洁，以及对后侧和边缘不需要的覆膜进行 蚀刻，如CdTe 或 CdS。
VITRUM II
在线湿法设备，用于蚀刻、 清洗与单面镀膜
VITRUM II 的模块化设计便于根据CIS、 a-Si 或 CdTe 技术（蚀刻、后侧和衬底边缘蚀刻、清洗以 及单侧覆膜）整合不同工序。
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主要特点 →→ 模块化设计 →→ 最多节省30 %的成本 →→ 更容易的进入维护 →→ 占地面积较小 →→ 使用成本低 →→ 高产能 →→ 高可靠性（架动率> 99 %*） →→ 标准衬底和客户定制的衬底最大达2,600 毫米 →→ 高产能平行载具 →→ 可重复的工艺结果 * 取决于具体应用
VITRUM II为在线湿法工序提供了平台：在一条 CdTe 生产线上，它能执行多道工序，从清洗玻 璃开始，一直到去除后侧覆膜、用滚动滤芯沉积 CdCl2、去除CdCl2以及磷酸硝酸刻蚀。 在生产薄膜硅太阳能电池或CIS/CIGS电池的过 程中，VITRUM能够清洗玻璃以及进行TCO蚀 刻、KCN蚀刻或NH3处理。此外，它还能为长达 2,200 毫米的衬底进行NP、DAE 以及 EDTA 蚀刻。 通过我们新开发的独特温和喷淋工艺，实现了均 匀、可靠而可复制的蚀刻。不仅如此，与在线浸渍 相比，它还具备诸多优势，例如减少工艺体积、节 省能耗和化学品，以及以最小的带药量将工艺速度 提高到5米/分钟。 VITRUM II的设计对各种液体回路采用了类似的管 路系统，并安装了足够空间的安装柜来优化维修工 作。由于生产节拍高,并且采用了模块化概念，很容 易集成到现有生产线中。有了新型VITRUM II，就能 充分降低工艺成本。
VITRUM II Clean →→ 在线清洁设备（2200/1400/600） →→ 预冲洗和单侧刷洗（酸/腐蚀剂） →→ 在线最终冲洗（瀑布式清洗机），无金属 →→ 在线标准冲洗、抛光与刷涂机（玻璃腐蚀） →→ 超声波和兆声波辅助（颗粒去除）
VITRUM II 蚀刻 →→ 在线蚀刻设备（2200/1400/600） →→ 在线TCO蚀刻机（HCl/HF） →→ 在线 KCN蚀刻机 →→ 在线NP蚀刻机 →→ 在线CuCl2蚀刻机 →→ 在线光刻胶显影剂 →→ 在线CuCl2去除
VITRUM II Cover →→ 在线蚀刻设备 →→ 去除边缘和背面周围包裹的涂层 →→ 活性层保护（液体或蒸气都无法侵袭到 →→ 活性层）
VITRUM II Coat →→ →→ →→ →→ →→
通过软体滚芯进行薄盐膜的在线湿法 沉积（如CdCl2、CuCl2 或 NaCl） 自动过程控制 单侧覆膜 极高的材料利用率
周边设施管理 德国新格拉斯科技集团公司同时还供应： →→ 化学品混合系统 →→ 废水处理 →→ 废气清扫装置 →→ 去离子水
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TENUIS II 适用于CIGS&CdTe薄膜太阳能电池化学缓冲层 沉积工艺的模块化设备
德国新格拉斯科技集团是CIS/CIGS薄膜太阳能电池化 学缓冲层沉积设备的市场领跑者。TENUIS II设备着重 降低生产成本，对CIS/CIGS薄膜太阳能电池生产具有 重大意义。 TENUIS工业生产设备拥有模块化集群系统，占地面积 较少，并能同时对两面衬底进行镀膜。 TENUIS II在调试阶段和量产阶段都具备优势。凭借新 型集群设计，设备在经过简短的安装后就可以开始调 试，并镀第一面衬底。剩余集群可以同时或先后进行 组装。相应地，TENUIS II满足了缩短调试及量产时间 方面日益增长的市场需求。
主要特点 →→ 公认成熟工艺： 极高的电池转换效率和低风险 →→ 已有超过150个工艺组件投入生产（世界领先） →→ 化学品消耗极低 →→ 全自动化在线系统 →→ 单面沉积，包括防止背面污染 →→ 模块化设备（为提高产量而实现轻松升级） →→ 可重复工艺结果 →→ 自动加药和混药系统 →→ 无镉缓冲层沉积
新一代TENUIS设备在生产高性能CIS/CIGS太阳能薄膜 电池方面具有显著的成本优势。对应用和温度的控制 减少了工艺时间，大大提高了生产线的产量。 新设备可以使用备选缓冲层，使用硫化锌来代替硫化 镉。 凭借加药和温度控制方面新颖而独特的理念，集团的 开发人员成功将加工时间缩短了30 %，提高了设备的 生产量。此外，根据工艺调整温度并适时有效的加药 大幅降低了成本。这一新设备不断挖掘薄膜太阳能电 池生产节约成本方面的潜力。
新一代TENUIS设备在生产高性能CIS/CIGS太阳能薄 膜电池方面具有显著的成本优势。此外，根据工艺调 整温度并适时有效的加药大幅降低了生产成本，为节 约薄膜太阳能电池生产成本方面提供了更多可能性。 德国新格拉斯科技集团提供的湿法处理设备适用于研 发、实验室生产及80、150和300MW的全线生产。 为提高生产量，还可以将多个生产设备组合成一个大 型生产综合体。
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CISARIS 硒化反应炉，用于形成理想的CIGS吸收层
CISARIS 反应炉是一种在线快速热处理RTP设 备，用于在大面积玻璃衬底上形成CIGSSe吸收 层。CISARIS由一个装卸站、一个真空密封工艺站 以及一个回转传送带构成，是大规模生产CIS太阳 能组件的理想设备。 CISARIS的主要特点包括高开动率、高机械成品 率、快生产节拍，再加上强大的硒化工艺，根据配 置的不同，能实现年均25 MWp以上的生产能力。
主要特点 →→ 第二代在线硒化加热炉，优化了生产节拍 →→ 对带有金属前驱体涂层（CIG） 的玻璃衬底 进 行快速加热（高达 4 °C/秒） →→ 均匀的气体分布，通过优化进气系统而降低了耗 气量 →→ 可在各种工艺过程阶段引进硫化氢和硒化氢气体 →→ 通过运用优化的红外线辐射器而将大型衬底均匀加 热到 600 °C 以上，从而按要求保证结晶质量 →→ 将衬底均匀冷却，避免玻璃翘曲变形 →→ 在各工艺过程阶段都能实现优异的温度控制（平均 温度变化 < 5 °C） →→ 在大气压强下进行真空工艺处理 →→ 通过抽真空和吹扫循环保证了工艺过程环境中没有 氧气和水蒸气 →→ 先进的维修理念，所有机器部件都能最方便维护 →→ 成熟的安全系统源于可靠的风险管理和安全工程 设计
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CISARIS最近由德国新格拉斯科技集团根据上一代 的硒化反应炉研发而成，是一种成熟而富于创新而 可靠的设备。
CISARIS可以在温度高达600 °C以上 的有毒腐蚀性 气体环境中，对1平方米以上的大型玻璃衬底进行 安全的热加工。出色的加热和冷却速度，再加上在 各加工阶段都能保持优异的温度均匀性，使得生产 高效能太阳能模块所需的理想CIGSSe吸收层得以 形成。
CISARIS
硒化反应炉，用于形成 理想的CIGS吸收层
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垂直运输基材的在线溅射设备 适用于不同应用的模块化设备
VISTARIS溅射设备 德国新格拉斯科技集团为满足光伏产业的需求研发了 VISTARIS设备，这类在线式溅射设备对如今的CIGS & CdTe薄膜电池生产起着重要的作用。凭借先进的工艺 技术，VISTARIS能够在提高薄膜电池效率的同时降低 生产成本。在光伏技术方面，集团开发并制造的镀膜 设备可以镀特殊膜以及不同材料的多层膜。
VISTARIS
适用于不同应用的模块 化设备
以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组成的多 层前驱体涂层为例，该设备的主要优势在于，它可对 太阳能和显示屏产业所需的玻璃衬底进行真空立式镀 膜。此外，还为CIGS/CIS电池生产添加了新的工艺阶 段。
标准性能数据 →→ 集成供电设计 →→ 不需来回运输 →→ 完全垂直定向运输 →→ 独特的运送系统 →→ 在设备同一侧装载和卸载基板 →→ 通过使用旋转圆柱形磁电管实现最大程度使用靶材 →→ 沉积前和沉积中可控制温度 →→ 通过动态阀和/或独立闸室分离气体 →→ 通过改变腔室方向达到最小占地面积 →→ 简易维护，低运行成本 →→ 快速更换靶材，适用于各供应商的靶材 →→ 易于扩大生产 →→ 真空底压：< 1 x 10-6 mbar →→ 标准工艺压力：2 - 5 x10-3 mbar
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HISTARIS
适用于水平基板运输的在线溅射设备 适用于不同应用的模块化设备
HISTARIS适用于水平基板运输的在线溅射设备 德国新格拉斯科技集团旗下的HISTARIS设备是为满足 光伏产业要求而开发的，同时也适用于建筑玻璃、燃料 电池和移动设备等大面积溅射应用。在线溅射设备在当 今光伏行业CIGS & CdTe薄膜太阳能电池生产中占有重 要的地位。 凭借先进的技术，HISTARIS设备能够在提高电池效率 的同时降低生产成本。模块化设计包括配备旋转磁控 管的工艺腔室，可对高性能TCO层或其它几种材料如金
属和金属氧化物进行溅射沉积。预处理模块可添加清 洗或蚀刻工艺。凭借其独特的模块化设计，HISTARIS 设备非常适合具有挑战性的层叠和灵活的混合产品。 以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组成的多 层前驱体涂层为例，该设备的主要优势在于它可应用 于太阳能和显示器行业，对玻璃衬底进行真空水平式 镀膜。标准应用包括减反射层、阻挡层、前驱体层和 Al, Cu, NiV等不同金属层。
适用于R&D应用的实验室设备
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HISTARIS的模块化设计拥有高度灵活性 HISTARIS LAB LOADING UNLOADING
LOAD TMP PROCESS 1 TMP CHAMBER
EXTENSION CHAMBER
HISTARIS STANDARD LOADING
LOAD CHAMBER
EXTENSION CHAMBER
TMP PROCESS 1 TMP
GAS TMP PROCESS 2 TMP SEPARARTION
EXTENSION CHAMBER
LOAD CHAMBER
UNLOADING
HISTARIS SPEED LOADING
LOAD CHAMBER
BUFFER CHAMBER
EXTENSION CHAMBER
TMP PROCESS 1 TMP PROCESS 2 TMP
GAS TMP PROCESS 3 TMP PROCESS 4 TMP SEPARARTION
在光伏技术方面，德国新格拉斯科技集团开发并制造的 薄膜沉积设备可以镀特殊膜以及不同材料的多层膜。集 团将生产CIGS & CdTe薄膜太阳能电池的工艺设备提升 到新的生产阶段。 HISTARIS设备采用在线式工艺，通过专门设计的承载 器或直接在定制的滚筒驱动系统上传输基板。装载和 卸载可选不同的自动化模式。
EXTENSION CHAMBER
BUFFER CHAMBER
LOAD CHAMBER
UNLOADING
HISTARIS主要特征 →→ 模块化机械概念 →→ 集成供电设计 →→ 水平基板运输 —— 配备/不配备承载器 →→ 通过使用旋转圆柱形磁电管实现最大程度使用靶材 →→ 高沉积率 →→ 沉积前和沉积中可对温度进行控制 →→ 通过动态阀和/或独立闸室分离气体 →→ 维护简单，低生产成本 →→ 快速更换靶材，适用于各供应商的靶材 →→ 真空底压：‹ 1 x 10-6 mbar →→ 标准工艺压力：2 - 5 x10-3 mbar
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SELENIUS蒸发设备 用于CIGS/CIS薄膜太阳能电池的真空蒸镀设备
用于薄膜太阳能的真空蒸镀设备
主要特征
该真空蒸镀设备用于CIGS 相关材料的热蒸镀。 具体应用于CIGS 薄膜太阳能电池中铜-铟-镓-硒层 的沉积。该真空蒸镀设备由传输系统、多个加热/ 冷却站和沉积腔体组成。它能提供尖端的热沉积技 术，该技术材料利用率高，膜层厚度非常均匀。 该设备融合稼动率和机械良率高的特点，可谓最佳 最灵活的生产平台。
→→ 高产能 →→ 模块化腔室设计 →→ 布局可灵活多变，以满足不同客户的生产需求 →→ 独特的腔室设计，确保蒸发源利用率最大 化（腔室壁上沉积最小化） →→ 较快的沉淀速度和较高的工艺重复性 →→ 极佳的流体均匀性 →→ 方便快速的蒸镀源补充/更换 →→ 温度均匀性优良 →→ 基片预加热功能 →→ 实时监控流量和温度
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智能解决方案 适用于高科技基础设施
设施必须符合场地要求，才能满足现代高新高产能生 产线的需求。为此，德国新格拉斯科技集团为以下先 进技术设施设计、建造并提供生产相关的设备和服务。 →→ 能源/光伏 →→ 生命科学 →→ 医药&化学 →→ 半导体 →→ 表面工程 在上述应用领域，我们可以为客户提供高质量的EPC 解决方案（工程、采购和建设），在遵守国际和当地 法规、尊重人类和环境安全的前提下，满足对耗件和 设备质量及数量的要求。
咨询及规划 →→ 场地评估&选择 →→ 可行性研究 →→ 场地总体规划 →→ 规划和概念设计研究 →→ 总体研究&模拟 →→ 工艺技术和设备评估 →→ 可持续性分析和能源型效率审计 →→ 成本和进度模型 →→ CoO计算
设计和工程 →→ 所有工程学科的基础、初步和详细设计 →→ 设备系统集成 →→ 空间管理 →→ 建筑信息模型 →→ 许可、代码&环境规范 →→ 价值工程&优化成本 →→ 早期组合包研发 →→ 协助获取许可证 →→ 工程、施工和总承包(EPCM & EPC)
（预）施工和项目管理 →→ 商务管理 →→ 设计管理 →→ 空间管理 →→ 工程管理 →→ 合同管理 →→ 启动&调试 →→ 完工资料 →→ 保修管理 →→ 工程、施工和总承包(EPCM & EPC)
安装、服务、维修 →→ 工艺设备服务 →→ 持续的框架服务 →→ 设施系统优化&基准化分析 →→ 工作包安装 →→ 技术人员 →→ 工程、施工和总承包(EPCM & EPC)
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湿法化学
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