LINEX

LINEX 在线湿法处理设备适用于

PERC - HJT – TOPCon –Tandem 等新型电池的清洁工艺

LINEX 适用于清洁、碱性与酸性蚀刻、单面加工、抛光蚀刻、 去磷硅玻璃和臭氧应用的在线湿法处理设备

PV 技术为世界发电 德国新格拉斯科技集团为晶硅和薄膜高效太阳能电池 平台提供技术解决方案。 德国新格拉斯科技集团为客户提供适用于生产晶硅和

CIGS/CdTe太阳能电池的设备，携手世界各地的电池 制造商共同改进生产工艺，在提高太阳能电池的效率的 同时降低生产成本。电池概念方面的进化，如PERC HJT – TOPCon –Tandem等电池将驱动晶硅太阳能电 池的未来。集团核心技术包括真空薄膜涂层(PECVD, PVD, 蒸发)、表面工程、湿法化学处理和热加工等专有 技术。

LINEX

在线湿法处理设备

未来电池概念：TOPCon太阳能电池 隧道氧化层钝化接触（TOPCon太阳电池）基于覆盖 掺杂硅薄膜的超薄隧道氧化层，具有优良的钝化和接 触性能。到目前为止，该电池效率已达到25.7 %。 德国新格拉斯科技集团为TOPCon高效太阳能电池生产 提供重要生产步骤：在线湿法处理和真空沉积（PVD & PECVD）。

TOPCon Solar Cells

LINEX 在线湿法处理设备 德国新格拉斯科技集团为用于标准及高效电池生产线 的硅晶片湿法处理提供完整的自动化干进/干出解决 方案。 不断完善的工艺管理理念和创新解决方案的集成为新 一代水平式湿法处理设备的开发奠定了基础。

LINEX为在线湿法处理平台，配备水平式硅晶片运 输系统，是对先进的运输系统、可持续的创新工艺模 块与成熟而有效的化学蚀刻和清洁工艺进行的完美结 合。 除了这些成熟的工艺，设备还适用于单面处理、抛光 蚀刻、发射极蚀刻和臭氧处理等新型应用。高度集成 的设计、高产能、高可靠性和低破损率使LINEX获得 世界各地的太阳能电池制造商青睐。

标准性能特征 →→ 可作研发工具，完全集成后为10道设备 →→ 在5道或10道设备中碱化工艺可达90 °C →→ 抛光蚀刻至10 µm →→ 臭氧集成 →→ 晶圆表面介质流动均匀 →→ 线路流动条件一致 →→ 易集成新/附加工艺选项 →→ 最高可达98 %的稼动率 →→ 高产量和最优性能 →→ 低运行成本 →→ 低至0.01 %的破损率 →→ 占地面积小 →→ SSE至5 µm 控制、精确、智能 →→ 采用集成工艺控制的全自动在线湿法处理设备 →→ 紧凑的工艺模块运用了创新介质和工艺管理 →→ 简单牢固的晶片传输系统 →→ 硅晶片表面与加工介质的无暗影接触 →→ 晶片的追踪和厚度测量 安全、洁净、便于使用 →→ 工艺过程可靠、环保、安全 →→ 按照ISO和SEMI标准设计的净化室 →→ 通过工艺介质进行温和晶片运输 →→ 可从各个侧面进入工艺模块

LINEX Final Clean Load

Alkaline/ Additive Ultrasonic

Rinse

Postclean

Rinse

Dry

Unload

LINEX 工艺应用

Advanced Production Methods for Crystalline Solar Cells

最终清洗（单晶硅/多晶硅）： 晶片隔离后用超声波&添加剂清洗硅片

Final Clean LINEX ALTEX

碱性制绒（单晶硅）： 超短工艺时间，出众的美学效果 单面蚀刻 ： 适用于TOPCon应用的a-Si单面蚀刻 单面抛光（单晶硅/多晶硅）： 高达5 µm的酸性或碱性背面抛光 臭氧 ： 先进清洁技术

Load

Alkaline/ Preclean Additive Ultrasonic

Rinse

Postclean Alkaline Tex

Rinse

Dry SINGOZON

Unload Rinse

Dry

Unload

Rinse

Alkaline SINGOZON

Rinse

SINGOZON Dry

Rinse Unload

Dry

Unload

Rinse

SINGOZON

Rinse

Dry

Unload

Rinse

SINGOZON

Rinse

Dry

Unload

ALTEX LINEX DW Load

Preclean DW-Tex

Tex

DW SSE LINEX ALKALINE SSE/PSG Load

DW-Tex Single Side Etching

LINEX SSE/PSG Load

Single Side Etching

LINEX 技术参数 最终清洁

5 道 (Mono)

5 道 (Multi)

产能

5000 wph

5000 wph

速率

3 m/min

3 m/min

占地面积

9800 mm

6400 mm

LINEX ALTEX Mono

5 道*

10 道*

产能

5000 wph

10000 wph

占地面积

15000 mm

17000 mm

LINEX SSE/抛光/PSG

5 道*

10 道

产能

5000 wph

10000 wph

占地面积

9800 mm

9800 mm

* LINEX 臭氧可选

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薄膜沉积

表面工程

热处理

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德国新格拉斯科技集团 – 创新技术 德国新格拉斯科技集团在合理利用资源的基础上研发和组装全新的高效生产 设备，并广泛应用于全球太阳能、半导体、医学技术、消费品和光盘领域。 集团核心竞争力包括涂层技术、表面处理、湿法化学和热加工等多种工艺。

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