LCRハイテスタ 3535

LCR ハイテスタ 3535 LCR HiTESTER 3535

ヘッドアンプユニット

回路素子測定器

LCR ハイテスタ 3535 は、100kHz ∼ 120MHz の広帯域測 定を低価格で可能にした LCR メータです。最速 6ms の高 速測定でコンパレータ機能やロード補正機能、BIN（分類） 測定を備え、チップインダクタ、磁気ヘッド等の高速検査 や研究部門で幅広く使用できます。また、ヘッドアンプユ ニットの脱着が可能で被測定物の近くに置くことで測定リ ードの影響を軽減できます。ディジタル制御による自動平 衡ブリッジ回路の採用により低価格と同時に小型軽量化を 実現しました。

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ヘッドアンプ脱着可能。 ヘッドアンプユニットは本体と脱着できます。本 体∼ヘッドアンプ間はケーブルで接続し、ヘッド アンプを被測定物の近くに設置することで測定リ ードの影響を軽減できます。

3535 本体 接続ケーブル 9678

ヘッドアンプユニット

広範囲な測定周波数

BIN（分類）測定

100kHz ∼ 120MHz の広範囲における周波数帯域を 4 桁 分解能で設定できます。

2 種類の測定項目について最大 10 分類まで、測定値に よるランク分けが容易にできます。

最速 6 ms の高速測定

連続測定

FAST/NORMAL/SLOW/SLOW2 の 4 段階のサンプリン グ速度の切り換えができ、最速約 6ms（｜Z｜表示時）の 高速サンプリングでラインの効率化ができます。 ( 表示パラメータの種類により異なります。 ）

30 通りの測定条件が保存できます。その内から、画面 上にセーブされている測定条件を最大 5 個連続測定がで きます。コンパレータ動作時は、1 台でしかも一連の動 作で、これら条件の AND 出力を得られます。

14 種類のパラメータ測定

ロード補正機能

｜Z｜ ､ ｜Y｜ ､ θ ､ Rp､ Rs(ESR)、G､ X､ B､Lp､ Ls､ Cp ､ Cs ､ D(tan δ )､ Q のパラメータを測定でき、必要 なパラメータをパソコンに取り込む事も可能です。

基準となる試料を測定し、測定値を補正することができ ます。この機能で機器間の測定値を合わせることができ ます。

測定しながら環境設定

30 通りの測定条件をメモリ

測定周波数、測定信号レベルなどの測定条件は測定値を モニタしながら変更でき、事前測定や評価基準の設定に 効果を発揮します。

30 通りのコンパレータ条件を含む測定条件をメモリで き、繰り返し測定が多いラインでの試料切り換え時に敏 速な対応ができます。

測定値のメモリ

4 項目同時測定

最大 200 個の測定値を本体にメモリできます。メモリし たデータは一括でパソコンやプリンタに転送できます。

全パラメータの中から、観測したいパラメータを最大 4 つまで表示できます。

拡大表示機能

相関補正機能

最大 4 つのパラメータ表示を拡大することができ、ライ

下式の補正係数 a、b を設定し、測定値の補正ができます。 補正後のデータ＝ a ×測定データ＋ b

ンなど離れた場所からも測定値を見やすくできます。

プリンタ出力 オプションのプリンタ 9442 で、測定値、コンパレータ 結果、画面のプリントアウトが可能です。

2

ディジタル制御による自動平衡ブリッジ回路。 ■ EXT I/O

トリガ、測定条件のロードが外部からコントロールできま す。また、コンパレータ結果、測定終了などの外部出力が でき、自動化ラインの構築が可能です。 EXT I/O の内容

EXT I/O のシーケンス用タイミングチャート EXT I/O から得られるトリガ（TRIG）、測定終了（EOM）、 コンパレータ結果の各信号で下に示すようなタイミングで シーケンスが構築できます。 ※ 1 αは試料・トリガディレイにより異なります。 ※ 2 測定スピード FAST、アベレージ OFF、Z 測定の場合の参考値

●出 力 ・内部 DC 電源（＋ 5 V 出力） ・コンパレータ結果出力 ・BIN（分類）測定結果出力 ・測定終了信号

●入 力 ・外部 DC 電源（＋ 5 V ∼＋ 24 Ｖを外部機器より電源供給可能） ・外部トリガ信号 ・ロードするパネル番号の選択

コネクタ ・使用コネクタ DDK 製 57RE-40360-730B(D29) ・適合コネクタ DDK 製 57-30360 DDK 製 57-30360R ヒロセ電機社製 RC30-36P その他相当品 AC100 ∼ 240 V のフリー電源

パソコンによる外部コントロール

不用意のタッチによる誤操作を防ぐキーロックキー

RS-232C インタフェース、GP-IB インタフェースを標 準装備し、電源 ON/OFF を除く、3535 本体の機能をす べてパソコン側でコントロールできます。

■ RS-232C インタフェース 伝送方法：通信方式：全二重、同期方式：調歩同期式 伝送速度：9,600、19,200bps データ長：8 ビット パリティ：なし ストップビット：1 ビット デリミタ：CR ＋ LF、CR フォロー制御：なし 接続方法：D-sub9pin オス、リバース結線

GP-IB インタフェース

EXT I/O

RS-232C インタフェース

3535 背面

■ GP-IB インタフェース 準拠規格：IEEE-488.1 1987 IEEE-488.2 1987 の共通コマンド ( 必須 ) が使用可能

測定原理

ディジタル制御による自動平衡ブリッジ回路を採用

第 1 発振器から測定信号を発生し、試料（DUT）に印加します。LOW 端子の電圧を測定し、平衡 状態（LOW 端子の電圧が 0V）になるように第 2 発振器の位相と振幅を制御します。 平衡状態になったときの第 2 発振器の位相 と振幅から DUT のインピーダンス Z、 Rout HIGH LOW Rf 位相角θを求めます。 Zdut 第 1 発振器 第 2 発振器

ブリッジ回路

CPU

振幅・位相制御

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測定しながら測定条件を可変。 タッチパネル採用のやさしい操作 測定環境の設定・変更を ､ すべてタッチパネルで 行います。設定可能なキー項目だけが反転表示さ れ、設定したい項目、あるいは数値を軽くタッチ するだけの対話形式の容易な操作です。しかも設 定画面においても、リアルタイムで測定値が表示 されており、信号を変えながらの測定なども思い のままです。また、任意 4 パラメータの拡大表示 ができ、ラインなど離れた場所からも見やすい表 示に切換えられます。 ※画面例は、3535 の代表的なものを紹介しています。

初期画面 測定画面上で、任意の 4 パラメータの測定 値はもちろん、測定環境が一目瞭然です ｡

パラメータ設定画面へ

メニュー選択画面へ

表示した全パラメータの中から、任意 の 4 つを選択表示できます。

設定項目一覧が表示されるため、設定した い項目を選択し ､ 各設定モードに入ります ｡

測定周波数設定画面 測定レベル設定画面

テンキーと桁ごとに設定する方法があり、周波数あるいはレベルを可変しながらモニ タできます ｡ また、レベル設定では開放電圧、定電流モードの選択ができます。

ロード補正設定画面 測定値を補正する機能で、5 種類の補 正条件を設定できます。

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豊富な機能で多彩な用途に。 BIN（分類）測定

コンパレータ ２種類の測定項目についてコンパレートでき、絶対値 入力・％入力・偏差パーセント ( Δ％ ) 入力ができます。

アプリケーション 設定画面

２種類の測定項目を最大 10 通りに分類することが できます。

連続測定 パネルセーブ機能で保存された測定条件を、ページ 単位で最大 5 条件の連続測定ができます。

拡大表示

スケーリング 測定値に対して補正係数 a 、b を設 定し、補正がかけられます。

表示桁数 各パラメータごとに、測定値の有 効桁数を 3、 4、 5 桁に設定できます。

測定値、コンパレータの判定結果 の拡大表示ができます。

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非接触 IC タグ、 チップインダクタ、 磁気ヘッドの高速検査。 3535 仕様 測

定

項

目 : Z( イ ン ピ ー ダ ン ス )、Y( ア ド ミ タ ン ス )、 Rs( 直列等価抵抗 ESR）、Rp( 並列等価抵抗 )、

分 類（BIN）測 定 : ２種類の測定項目について、10 分類測定 相 関 補 正 機 能 : 補正係数ａとｂを入力し、表示値を補正する [ 補正後の測定値 ] ＝ａ× [ 測定値 ] ＋ｂ

G( コンダクタンス )、X( リアクタンス )、B( サセプタンス )、θ ( 位相角 )、Ls( 直列等価

パネルセーブ・ロード : メモリ数；30 通り ロード方法；フロント面のキー操作、外部

インダクタンス）、Lp( 並列等価インダクタ

I/O コネクタ、GP-IB、RS-232C

ンス )、Cs( 直列等価容量 )、Cp( 並列等価容 量 )、Q(Q ファクタ )、D( 損失係数 tan δ )

測 定 値 の メ モ リ : メモリ数：Max.200 個

測 定 周 波 数 : 周波数範囲；100 kHz ∼ 120MHz

測定値を本体にて蓄えて、一括にて測定値を 転送

設定分解能 4 桁分解能（フロントパネル設定時） 100.0 kHz ∼ 1.000 MHz…100Hz ステップ 1.000 MHz ∼ 10.00 MHz…1kHz ステップ

拡 大 表 示 機 能 : 測定値、コンパレータの判定結果の拡大表示 連 続 測 定 : 画面上にセーブされている測定条件を連続 測定

10.00 MHz ∼ 100.0 MHz…10kHz ステップ 100.0 MHz ∼ 120.0 MHz…100kHz ステップ

ブ ザ ー 音 : キー入力時、コンパレータ判定結果（IN、 NG）に応じて、ビープの ON ／ OFF

※ GP-IB、RS-232C では 1Hz 分解能 周波数確度；設定値に対し± 0.005％以下

表示桁数設定機能 : 3、4、5 桁の測定値表示桁数の設定が可能。

出 力 イ ン ピ ー ダ ン ス : 50 Ω± 10 Ω（100kHz 時） 測 定 信 号 レ ベ ル : 開放端子電圧（V）モード

ただしパラメータにより異なる。 ディスプレイ設定機能 : バックライトの ON ／ OFF、電圧・電流

レベル範囲；

モニタ表示の ON ／ OFF が設定可能

5mV ∼ 1V、最大 20mA（∼ 10.00 MHz）

※バックライト OFF 時は表示更新を行わ ない（測定時間の高速化）

5mV ∼ 500mV、最大 10mA （10.01 MHz ∼） 設定分解能；1mV ステップ

プ リ ン タ 機 能 : 測定値および画面のハードコピーの印刷が 可能

設定確度；±（5％＋ 5mV）×（2 ＋ log f）

※ 9442、9444 が必要

但し、f ［MHz］ 定電流（CC）モード レベル範囲； 200μ A ∼ 10mA、 最大 0.5 Ｖ （10.01 MHz ∼）

保 存 温 湿 度 範 囲 : -10 ∼ 55℃、80％ rh 以下、結露なきこと 使 用 場 所 : 高度 2000m まで、室内

設定分解能；10 μ A ステップ

電

200 μ A ∼ 20mA、最大 1 Ｖ（∼ 10.00 MHz）

設定確度；±（10％＋ 50 μ A）×（2 ＋ log f） 但し、f ［MHz］ モ ニ タ 機 能 : モニタ電圧；0.000V ∼ 1.000V モニタ電流；0.000mA ∼ 20.00mA ；0.20 ｍＡ∼ 20.00mA リ ミ ッ ト 機 能 : 電流リミット（V 設定時） 電圧リミット（ＣＣ設定時） ；0.005V ∼ 1.000V 測

定

時

イ ン タ フ ェ ー ス : GP-IB、RS-232C、EXT I/O （標準） 使 用 温 湿 度 範 囲 : 10 ∼ 40℃、80％ rh 以下、結露なきこと

間 : 6ms ± 1ms（代表値） 測定スピード、アベレージなど測定条件により異なる

測 定 ス ピ ー ド : FAST、NORMAL、SLOW、SLOW2 ア ベ レ ー ジ : OFF、2、4、8、16、32、64 ト リ ガ 機 能 : 内部トリガ、外部トリガの設定可能 トリガディレイ機能； 0.01s ∼ 9.99s 分解能 0.01s ロ ー ド 補 正 機 能 : 基準となる試料を測定し、測定値を補正する キ ー ロ ッ ク 機 能 : 背面の専用スイッチにより、パネル面のキー操 作を不可能にする コ ン パ レ ー タ : ２種類の測定項目についてコンパレータ可能 絶対値入力・％入力・偏差パーセント ( Δ％ ) 入力 ※Δ％時は、測定値は基準値からのずれを表示。

源 : AC 100 V ∼ 240 V、50 ／ 60 Hz 最 大 定 格 電 力 : 50 VA 寸 法 ･ 質 量 : 約 360W × 130H × 360D mm、8.3 kg 適 合 規 格 : E M C EN61326

EN61000-3-2 EN61000-3-3 安全性 EN61010 汚染度 2

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各種研究開発に。 測定確度・範囲（確度保証期間 6 か月） 確度は Z とθで規定し、その他のパラメータは Z とθから算出します。 Z の確度：Z の確度は次式から算出します。 確度［％］＝基本確度×周波数係数×レベル係数×測定スピード係数×ケーブル長係数×温度係数 θの確度：θの確度は次式から算出します。 確度［°］＝ Z 確度× 0.6 ■ 基本確度 レンジの上側範囲

ヘッドアンプユニット 9700-10 1k Ωレンジ

測定範囲 10kΩ∼ 300kΩ

A ＝ 2.00 B ＝ 0.20

1kΩ∼ 20kΩ 100 Ω∼ 2kΩ

A ＝ 1.00 B ＝ 0.10

)

レンジの下側範囲

(

)

レンジ 基本確度 = A ＋ B × -1 Zm × 10

A ＝ 0.50 B ＝ 0.10

Zm：測定値

100mΩ∼ 100 Ω A ＝ 0.50 B ＝ 0.10 ■ 周波数係数

■ レベル係数

log f ＋ 2 （f ≦ 10MHz） 但し f（MHz） 10 × log f − 7（f ＞ 10MHz） 但し f（MHz）

10 − 3 × log V 但し V（mV）

■ 温度係数

1 ＋ 0.1 ×｜T［℃］− 23［℃］｜

■ 測定スピード係数

(

Zm × 10 = A ＋ B × -1 100k Ωレンジ 基本確度 レンジ

10k Ωレンジ

5 ＋ 150/V（FAST） 但し V（mV） 3 ＋ 100/V（NORMAL） 但し V（mV） 1.5 ＋ 30/V（SLOW） 但し V（mV） 1 （SLOW2）

【測定範囲：参考値】

■ ケーブル長係数

1（0m） 2（2m、9678）

Z・R C※ L※ θ

※

1k Ωレンジ

10k Ωレンジ 100k Ωレンジ

100m Ω∼ 2k Ω

1k Ω∼ 20k Ω 10k Ω∼ 300k Ω

0.66pF ∼ 15.9μF 0.066pF ∼ 1.59nF 4.4fF ∼ 159pF 0.133nH ∼ 3.18mH 1.33μH ∼ 31.8mH 13.3μH ∼ 477mH -180.00°∼ 180.00°

※Ｚの範囲から計算で求めた値です。測定範囲を保証するものではありません。

●測定確度の求め方 コンデンサの基本確度を求める場合 （Cs=100pF） 1k Ωレンジを使用 測定値：Z = 159.33 , θ = − 87.33°で 次の測定条件で測定を行った場合 ･測定周波数 .................. 10 MHz ･測定スピード .............. SLOW2 ･測定信号レベル ........... 500 mV ･ケーブル長 .................. 0 m ･温度 ............................. 24°C

1. 基本確度表から Z の係数 A,B を求め、 Z の基本確度を計算します。

基本確度表からの係数 A,B は、A = 0.50, B = 0.10 159.33 × 10 Z の基本確度 = 0.50 ＋ 0.10 × − 1 ≒ ± 0.559% 1000

2. 測定条件から、その他の係数を求めま

周波数係数 = log(10) ＋ 2 = 3

(

)

す。

レベル係数 = 10 − 3 × log(500) ≒ 1.903 測定スピード係数 = 1 ケーブル長係数 = 1 温度係数 = 1 ＋ 0.1 ×｜24 − 23｜= 1.1

3. Z の確度を求めます。

Z 確度 = 0.559 × 3 × 1.903 × 1 × 1 × 1.1 ≒ ± 3.510%

4. Z の基本確度から、θ の基本確度を 計算します。

θ 確度 = 3.510 × 0.6 = ± 2.106°

5. 基本確度から、Z とθ の取り得る値 の範囲を求めます。 θ は絶対値で求めます。

Zmin = 159.33 × ( 1 − 3.510 / 100 ) ≒ 153.74 Zmax = 159.33 × ( 1 ＋ 3.510 / 100 ) ≒ 164.92 θ min = 87.33 − 2.106 ≒ 85.224° θ max = 87.33 ＋ 2.106 ≒ 89.436°

6. Z とθ の範囲から、Cs の取り得る範 囲を求めます。

Csmin = 1 ÷ ( Zmax × ω × sin θ max ) ≒ 96.509pF ... − 3.491% Csmax = 1 ÷ ( Zmin × ω × sin θ min ) ≒ 103.883pF ... 3.883% ω = 2 ×π× f f は測定周波数 [Hz] よって Cs の基本確度は -3.491% ∼ 3.883% となります。

X=Zsin θ、Cs=1 ／ω X

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オプション

ヘッドアンプユニット 9700-10 測定範囲：100m Ω∼ 300k Ω（3 レンジ）

（電極下面用）

接続ケーブル 9678 ケーブル長：2m

SMD テストフィクスチャ 9677

SMD テストフィクスチャ 9699

使用可能周波数：DC ∼ 120 MHz 測定可能資料寸法：3.5 ± 0.5mm 寸法：約 103W × 37.1H × 47.6Dmm 質量：約 135g ※ 3535 と組合せ使用では CE マークに対応しません。

使用可能周波数：DC ∼ 120 MHz 測定可能資料寸法：幅；1.0 ∼ 4.0mm 高さ；1.5mm 以下 寸法：約 100.5W × 28.6H × 40.0Dmm 質量：約 125g

プリンタ 9442 印字方式：感熱シリアルドット方式 紙幅 / 印字スピード：112 mm/52.5 cps 電源：AC アダプタ 9443、または付属のニッケル水素 電池（9443 にてフル充電で 約 3000 行印字可能） 寸法：約 160W × 67H × 170D mm 質量：約 580 g

SMD テストフィクスチャ直結

※プリンタ 9442 接続には、接続ケーブル 9444 および AC アダプタが必要です。

■価 格 LCR ハイテスタ 3535 ￥1,100,000 （税込￥1,155,000） ●必須オプション

ヘッドアンプ、テストフィクスチャは本体には付属されていません。 オプションのヘッドアンプ、テストフィクスチャを選択してください。 ヘッドアンプユニットは使用本体との組合せ校正が必要です。

ヘッドアンプユニット 9700-10

（税込価格） ¥120,000 （¥126,000）

●オプション SMD テストフィクスチャ 9677

（税込価格） ￥95,000（ ¥99,750）

SMD テストフィクスチャ 9699

￥115,000（¥120,750）

AC アダプタ 9443-01（プリンタ用、日本用） ￥11,000（¥11,550）

接続ケーブル 9678

￥100,000（¥105,000）

AC アダプタ 9443-02（プリンタ用、EU 用）

プリンタ 9442

（税込価格） ￥57,000（¥59,850） ￥11,000（¥11,550）

RS-232C ケーブル 9637（9 ピン -9 ピン / クロス 1.8m)…￥1,500（

¥1,575）

AC アダプタ 9443-03（プリンタ用、アメリカ用） ￥11,000（¥11,550）

RS-232C ケーブル 9638（9 ピン -25 ピン / クロス 1.8m) …￥1,800（

¥18,90）

接続ケーブル 9444（プリンタ用）

￥8,000（ ¥8,400）

記録紙 1196（25 m、10 巻）

￥7,800（ ¥8,190）

GP-IB 接続ケーブル 9151-02（2 m）

￥28,000（ ¥29,400）

GP-IB 接続ケーブル 9151-04（4 m）

￥30,000（ ¥31,500） ■ご購入時に成績表および校正証明書を希望されるお客さまは、別途ご発注をお願いいたします。

北関東（営）TEL 048-266-8161 FAX 048-269-3842 〒333-0847 埼玉県川口市芝中田 2-23-24

お問い合わせは…

横 浜（営）TEL 045-470-2400 FAX 045-470-2420 〒222-0033 横浜市港北区新横浜 2-13-6

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※このカタログの記載内容は 2007 年 12 月 17 日現在のものです。 ※本カタログ記載の仕様、価格等はお断りなく改正・改訂することがありますが、ご了承願います。 ※お問い合わせは最寄りの営業所または本社販売企画課（TEL 0268-28-0560 FAX 0268-28-0569 E-mail : info@hioki.co.jp）までお願いいたします。 ※輸出に関するお問い合わせは外国営業課（TEL 0268-28-0562 FAX 0268-28-0568 E-mail : os-com@hioki.co.jp）までお願いいたします。

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