ACE amortisseurs miniatures intègrent la production de semi-conducteurs

DES AMORTISSEURS MINIATURES INTÈGRENT LA PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEURS

L’industrie des semi-conducteurs travaille de plus en plus à la production de circuits de commutation intégrés plus petits, plus efficaces, plus rapides et plus économiques. Face aux avancées de la microélectronique, les exigences imposées aux systèmes de manutention chargés du transport propre et sûr des plaquettes sont toujours plus élevées. Dans le cadre d’une application sur mesure, dix amortisseurs miniatures d’ACE Stoßdämpfer protègent tous les axes linéaires.

La photolithographie est une technologie clé dans la fabrication des composants microélectroniques et circuits de commutation, ainsi que dans la production des microsystèmes. Cette technologie consiste à transférer le motif d’un photomasque sur une plaquette à l’aide d’une fine couche de résine photosensible.

La demande pour les microprocesseurs et puces mémoires étant très forte et la diminution du risque de chute étant primordiale dans la production des plaquettes, bon nombre de fabricants de puces travaillent avec leurs propres fournisseurs de systèmes de manutention. Ces derniers équipent leurs systèmes de composants standard de haute qualité et éprouvés pour les entraînements, les contrôles de vitesse et les axes linéaires.

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Détail : Les solutions sur mesure d’ACE sont testées de manière approfondie sur le banc d’essai ©ACE

Les solutions sur mesure d’ACE sont testées de manière approfondie sur le banc d’essai ©ACE

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La gamme de solutions d’amortissement d’ACE

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ACE Stoßdämpfer GmbH a été contacté dans le but de protéger au mieux ces axes à l’aide de composants mécaniques robustes. Le spécialiste de l’amortisseur de la ville allemande de Langenfeld offre notamment des solutions sur mesure. Une équipe d’ingénieurs expérimentés d’ACE développe ces solutions précisément selon les exigences des fabricants de semi-conducteurs. Une solution a ainsi été conçue à l’aide d’un logiciel spécial, puis testée sur le banc d’essai d’ACE. Résultat : tous les axes de production sont bien protégés, ce qui évite tout dommage durant la manipulation.

Conception, simulation, banc d’essai : de l’amortisseur standard au modèle sur mesure

Dans le cadre de la production de puces, des axes extrêmement précis et sans friction ont été installés dans un système de manutention. Le fabricant imposait que les axes X et Y et l’axe central ne soient exposés qu’aux forces maximales admissibles en cas de collision, afin d’être sûr à 100 % que le système n’est pas endommagé. Les trois axes devaient donc être équipés ici de trois types d’amortisseurs miniatures différents de la gamme d’ACE.

Pour l’axe Y, quatre amortisseurs miniatures à filetage M20 ont été utilisés ; pour l’axe X, les quatre mêmes amortisseurs miniatures, mais avec un filetage M18 ont été utilisés ; et pour l’axe central, ce sont deux amortisseurs miniatures avec un filetage M25. Les ingénieurs d’ACE ont également reçu des informations sur la force de réaction maximale en cas de collision. Au niveau de l’axe Y, les paramètres par amortisseur étaient par exemple : masse, m = 95,85 kg et vitesse, v = 1,08 m/s, ce qui correspond à une énergie cinétique de 55,90 Nm. La force de réaction maximale autorisée pour cet axe était 5 700 Nm. Dans une deuxième phase, le département R&D d’ACE a simulé, sur la base de ces informations, le schéma de perçage correspondant pour les types d’amortisseurs miniatures adaptés. Cela a permis de ralentir l’énergie et la vitesse de façon homogène sur toute la longueur de course de 14 mm et ainsi de ramener la force de réaction maximale à 5 300 Nm environ.

Grâce à des pièces mécaniques, ACE est également parvenu à respecter les valeurs spécifiées afin d’offrir la meilleure protection possible des deux autres axes. Lors d’une troisième et dernière étape, les amortisseurs miniatures, fabriqués sur mesure sur la base de la simulation, ont été livrés au client, à l’issue de tests approfondis. Les dix amortisseurs miniatures d’ACE protègent désormais les trois axes de déplacement d’un système de manutention utilisé dans le cadre de la production de plaquettes.

Les amortisseurs miniatures à autoréglage d’ACE