hóa trong các khu vực có nhiệt độ khác nhau của plasma. Ở vùng 6000 7000K nguyên tử bị kích thích, tồn tại dạng ion và các thành phần cơ bản khác của mẫu. Các ion dƣơng đƣợc tạo thành sau đó đƣợc vận chuyển và phát hiện. Mặc dù các ion âm cũng đƣợc tạo thành trong plasma cùng với các ion dƣơng nhƣng các ion âm đƣợc chuyển khỏi các ion dƣơng và do đó chúng không đƣợc đo. Khi nguyên tố có hơn một đồng vị, ion dƣơng của từng đồng vị đƣợc tạo ra trong plasma, điều đó tạo ra phổ khối khác nhau. Do đó có thể phân tích thành phần đồng vị của các nguyên tố bằng ICP-MS. Sơ đồ khối phổ và các bộ phận chính của máy ICP-MS đƣợc chỉ ra trên hình 1.1. 1- Bộ tạo soi khí;
2- Plasma;
3- Hệ lăng kính;
4- Van ngăn cách giữa vùng chân không cao của phổ kế và vùng ion; 5 - Lăng kính ion;
6- Bộ phân giải khối;
7- Detector
Hình 1.1. Sơ đồ khối của máy ICP-MS 1.4.2. Nguyên tắc của phƣơng pháp ICP-MS Phƣơng pháp phân tích ICP-MS dựa trên nguyên tắc của sự hóa hơi, nguyên tử hóa, ion hóa của các nguyên tố hóa học khi chúng đƣợc đƣa vào môi
17
