plasma

DẠY KÈM QUY NHƠN OFFICIAL 27 Hình 3.1. Đồ thị biểu diễn quan hệ giữa cường độ tín hiệu và tốc độ dòng khí plasma  Khảo sát công suất nguồn RF Việc tiến hành khảo sát năng lượng cao tần cũng thực hiện tương tự như khảo sát tốc độ dòng khí tạo plasma. Tiêm vào máy hỗn hợp chuẩn 7 nguyên tố Li, B, Al, Ni, Zn, Pd, Pt, nồng độ mỗi nguyên tố tương ứng là 100 ppb và điều chỉnh công suất nguồn từ thấp lên cao dần và giữ nguyên các thông số độ sâu mẫu 6,5 mm, tốc độ dòng khí plasma 15,0 L/phút. Kết quả khảo sát ảnh hưởng của công suất nguồn RF đến cường độ tín hiệu của hỗn hợp chuẩn được biểu diễn ở Bảng 3.2 và Hình 3.2. Bảng 3.2. Sự phụ thuộc cường độ tín hiệu của hỗn hợp chuẩn vào công suất nguồn RF STT

Công suất nguồn RF (kW)

90000 80000 Cường độ tín hiệu (c/s) 20000 30000 40000 50000 60000 70000 10000 0

13,0 13,5 14,0 14,5 15,0 15,5 16,0 16,5 17,0

Tốc độ dòng plasma (L/phút) Cường độ tín hiệu (c/s) Li 7 B 11 Al 27 Ni 60 Zn 66 Pd 105 Pt 195

1 1,0 49983 19058 37720 2187 1033 4236 5577 2 1,1 51940 19036 42097 2831 1502 4751 6598 3 1,2 50502 18241 49937 4316 2348 6754 7647 4 1,3 48948 17090 56647 5764 3503 8333 8219 5 1,4 44487 15580 55874 6465 4165 8889 8160

6 1,5 46741 18589 83539 12115 8249 16612 13460

7 1,6 39461 15850 65374 9064 6658 12784 11386 Nhận xét: Cường độ tín hiệu của hai nguyên tố Li và B có xu hướng giảm dần theo giá trị nguồn năng lượng cao tần cung cấp, tuy nhiên, đến giá trị công suất nguồn 1,5

Li B Al Ni Zn Pd Pt