90000
AL
70000
Li
60000
B
50000
CI
Al
40000
Ni
30000
Zn
20000
Pd
10000
OF FI
Cường độ tín hiệu (c/s)
80000
Pt
0 13,0
13,5
14,0
14,5
15,0
15,5
16,0
16,5
17,0
Tốc độ dòng plasma (L/phút)
Hình 3.1. Đồ thị biểu diễn quan hệ giữa cường độ tín hiệu và tốc độ dòng khí plasma
NH ƠN
Khảo sát công suất nguồn RF
Việc tiến hành khảo sát năng lượng cao tần cũng thực hiện tương tự như khảo sát tốc độ dòng khí tạo plasma. Tiêm vào máy hỗn hợp chuẩn 7 nguyên tố Li, B, Al, Ni, Zn, Pd, Pt, nồng độ mỗi nguyên tố tương ứng là 100 ppb và điều chỉnh công suất nguồn từ thấp lên cao dần và giữ nguyên các thông số độ sâu mẫu 6,5 mm, tốc độ dòng khí plasma 15,0 L/phút. Kết quả khảo sát ảnh hưởng của công suất nguồn RF đến cường độ tín hiệu của hỗn hợp chuẩn được biểu diễn ở Bảng 3.2 và Hình 3.2.
STT
nguồn RF
Li 7
Ni 60
Zn 66
Pd 105
Pt 195
49983 19058 37720
2187
1033
4236
5577
1
1,0
2 3 4 5
DẠ Y
6 7
B 11
Cường độ tín hiệu (c/s) Al 27
KÈ M
(kW)
QU
Công suất
Y
Bảng 3.2. Sự phụ thuộc cường độ tín hiệu của hỗn hợp chuẩn vào công suất nguồn RF
1,1
51940 19036 42097
2831
1502
4751
6598
1,2
50502 18241 49937
4316
2348
6754
7647
1,3
48948 17090 56647
5764
3503
8333
8219
1,4
44487 15580 55874
6465
4165
8889
8160
1,5
46741 18589 83539 12115
8249
16612
13460
1,6
39461 15850 65374
6658
12784
11386
9064
Nhận xét: Cường độ tín hiệu của hai nguyên tố Li và B có xu hướng giảm dần theo
giá trị nguồn năng lượng cao tần cung cấp, tuy nhiên, đến giá trị công suất nguồn 1,5 27
